Yarımkeçirici epitaksial soba üçün silisium karbid epitaksial təbəqə qabı

Qısa təsvir:

VET Energy Silikon Karbid Epitaksial Vərəq Tablası uzun müddət ərzində ardıcıl və etibarlı performans təmin etmək üçün nəzərdə tutulmuş yüksək performanslı məhsuldur. Super yaxşı istilik müqavimətinə və istilik vahidliyinə, yüksək təmizliyə, eroziyaya qarşı müqavimətə malikdir və onu vafli emal tətbiqləri üçün mükəmməl həll edir.


Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

SiC-induktorları1
SiC-induktorları2

Silikon karbid təbəqə qabı müxtəlif yarımkeçirici istehsal proseslərində istifadə olunan əsas komponentdir. Biz son dərəcə yüksək təmizliyə, yaxşı örtük vahidliyinə və əla xidmət müddətinə, eləcə də yüksək kimyəvi müqavimətə və istilik sabitliyinə malik silisium karbid təbəqə qabını hazırlamaq üçün patentləşdirilmiş texnologiyamızdan istifadə edirik.

VET Energy, SiC, Tac, pirolitik karbon, şüşə karbon və s. kimi müxtəlif örtüklü fərdiləşdirilmiş qrafit və silisium karbid məhsullarının əsl istehsalçısıdır, yarımkeçiricilər və fotovoltaik sənaye üçün müxtəlif fərdiləşdirilmiş hissələri təmin edə bilər. Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat institutlarından gəlir, sizin üçün daha peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.

Biz davamlı olaraq daha qabaqcıl materiallarla təmin etmək üçün qabaqcıl prosesləri inkişaf etdiririk və örtüklə substrat arasındakı əlaqəni daha sıx və qopmağa daha az meylli edə bilən eksklüziv patentləşdirilmiş texnologiya işləyib hazırlamışıq.

Məhsullarımızın xüsusiyyətləri:

1. 1700 ℃-ə qədər yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti.
2. Yüksək təmizlik və istilik vahidliyi
3. Əla korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.

4. Yüksək sərtlik, kompakt səth, incə hissəciklər.
5. Daha uzun xidmət müddəti və daha davamlıdır

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC-nin əsas fiziki xassələriörtük

性质 / Əmlak

典型数值 / Tipik Dəyər

晶体结构 / Kristal Struktur

FCC β fazası多晶,主要为(111)取向

密度 / Sıxlıq

3,21 q/sm³

硬度 / Sərtlik

2500 维氏硬度(500g yük)

晶粒大小 / Taxıl Ölçüsü

2 ~ 10μm

纯度 / Kimyəvi Saflıq

99.99995%

热容 / İstilik tutumu

640 J·kq-1·K-1

升华温度 / Sublimasiya temperaturu

2700 ℃

抗弯强度 / Bükülmə Gücü

415 MPa RT 4 nöqtəli

杨氏模量 / Gəncin Modulu

430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃

导热系数 / ThermalKeçiricilik

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termal Genişlənmə (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Fabrikimizə baş çəkməyinizi ürəkdən salamlayıram, gəlin daha çox müzakirə edək!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Əvvəlki:
  • Sonrakı:

  • WhatsApp Onlayn Söhbət!