SiC ilə örtülmüşdürYarımkeçiricilər üçün qrafit substrat,Silisium karbid örtük,MOCVD Həssaslığı,
Qrafit substrat, Yarımkeçiricilər üçün qrafit substrat, MOCVD Həssaslığı, Silikon Karbid Kaplama,
SiC ilə örtülmüş qrafit tutucularımızın xüsusi üstünlüklərinə son dərəcə yüksək təmizlik, homogen örtük və əla xidmət müddəti daxildir. Onlar həmçinin yüksək kimyəvi müqavimət və termal sabitlik xüsusiyyətlərinə malikdirlər.
SiC örtüyüYarımkeçiricilər üçün qrafit substrattətbiqləri yüksək təmizliyə və oksidləşdirici atmosferə qarşı müqavimətə malik bir hissə istehsal edir.
CVD SiC və ya CVI SiC sadə və ya mürəkkəb dizayn hissələrinin Qrafitinə tətbiq olunur. Kaplama müxtəlif qalınlıqlarda və çox böyük hissələrə tətbiq oluna bilər.
Xüsusiyyətlər:
· Əla Termal Zərbə Müqaviməti
· Əla Fiziki Zərbə Müqaviməti
· Əla Kimyəvi Müqavimət
· Super Yüksək Saflıq
· Kompleks formada mövcudluq
· Oksidləşdirici atmosfer altında istifadə edilə bilər
Əsas Qrafit Materialının Tipik Xüsusiyyətləri:
Görünən sıxlıq: | 1,85 q/sm3 |
Elektrik müqaviməti: | 11 μΩm |
Bükülmə Gücü: | 49 MPa (500kgf/sm2) |
Sahil sərtliyi: | 58 |
Kül: | <5ppm |
İstilik keçiriciliyi: | 116 Vt/mK (100 kkal/mhr-℃) |
Karbon bütün cari epitaksiya reaktorları üçün suseptorlar və qrafit komponentləri təmin edir. Portfelimizə tətbiq olunan və LPE qurğuları üçün çəllək tutucuları, LPE, CSD və Əkizlər bölmələri üçün pancake reseptorları və tətbiqi və ASM vahidləri üçün tək vafli ləvazimatları daxildir. Aparıcı OEM-lər, material təcrübəsi və istehsal nou-hau ilə güclü tərəfdaşlığı birləşdirərək, SGL tətbiqiniz üçün optimal dizaynı təklif edir.
Daha çox məhsul