MOCVD epitaksial böyüməsi üçün RTP/RTA SiC örtük daşıyıcısı

Qısa təsvir:

VET Energy RTP/RTA SiC örtük daşıyıcısı uzun müddət ərzində ardıcıl və etibarlı performans təmin etmək üçün nəzərdə tutulmuş yüksək performanslı məhsuldur. Super yaxşı istilik müqavimətinə və istilik vahidliyinə, yüksək təmizliyə, eroziyaya qarşı müqavimətə malikdir və onu vafli emal tətbiqləri üçün mükəmməl həll edir.


  • Mənşə yeri:Çin
  • Kristal strukturu:FCCβ mərhələsi
  • Sıxlıq:3,21 q/sm
  • Sərtlik:2500 Vickers
  • Taxıl ölçüsü:2 ~ 10μm
  • Kimyəvi Saflıq:99.99995%
  • İstilik tutumu:640J·kq-1·K-1
  • Sublimasiya temperaturu:2700 ℃
  • Feleksual Gücü:415 Mpa (RT 4 Nöqtəli)
  • Gəncin Modulu:430 Gpa (4pt əyilmə, 1300℃)
  • Termal Genişlənmə (CTE):4.5 10-6K-1
  • İstilik keçiriciliyi:300(W/MK)
  • Məhsul təfərrüatı

    Məhsul Teqləri

    RTP/RTA üçün SiC Örtük Daşıyıcısı Yarımkeçiricilərin istehsalı proseslərində istifadə olunan Sürətli Termal Emal və Tavlama adlı əsas komponentdir, biz patentləşdirilmiş texnologiyamızdan silisium karbid daşıyıcısını son dərəcə yüksək təmizliyə, yaxşı örtük vahidliyinə və əla xidmət müddətinə malik etmək üçün istifadə edirik. həmçinin yüksək kimyəvi müqavimət və termal sabitlik xüsusiyyətləri.

    Məhsullarımızın xüsusiyyətləri:

    1. 1700 ℃-ə qədər yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti.
    2. Yüksək təmizlik və istilik vahidliyi
    3. Əla korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.

    4. Yüksək sərtlik, kompakt səth, incə hissəciklər.
    5. Daha uzun xidmət müddəti və daha davamlıdır

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    CVD SiC-nin əsas fiziki xassələriörtük

    性质 / Əmlak

    典型数值 / Tipik Dəyər

    晶体结构 / Kristal Struktur

    FCC β fazası多晶,主要为(111)取向

    密度 / Sıxlıq

    3,21 q/sm³

    硬度 / Sərtlik

    2500 维氏硬度(500g yük)

    晶粒大小 / Taxıl Ölçüsü

    2 ~ 10μm

    纯度 / Kimyəvi Saflıq

    99.99995%

    热容 / İstilik tutumu

    640 J·kq-1·K-1

    升华温度 / Sublimasiya temperaturu

    2700 ℃

    抗弯强度 / Bükülmə Gücü

    415 MPa RT 4 nöqtəli

    杨氏模量 / Gəncin Modulu

    430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃

    导热系数 / ThermalKeçiricilik

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Termal Genişlənmə (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy, SiC örtüyü, TaC örtüyü, şüşə karbon örtüyü, pirolitik karbon örtüyü və s. kimi müxtəlif örtüklərə malik fərdiləşdirilmiş qrafit və silisium karbid məhsullarının əsl istehsalçısıdır, yarımkeçiricilər və fotovoltaik sənaye üçün müxtəlif fərdiləşdirilmiş hissələri təmin edə bilər.

    Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat institutlarından gəlir, sizin üçün daha peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.

    Biz davamlı olaraq daha qabaqcıl materiallarla təmin etmək üçün qabaqcıl prosesləri inkişaf etdiririk və örtüklə substrat arasındakı əlaqəni daha sıx və qopmağa daha az meylli edə bilən eksklüziv patentləşdirilmiş texnologiya işləyib hazırlamışıq.

    Fabrikimizə baş çəkməyinizi ürəkdən salamlayıram, gəlin daha çox müzakirə edək!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Əvvəlki:
  • Sonrakı:

  • WhatsApp Onlayn Söhbət!