İon bombardmanının qeyri-bərabərliyi
Quruaşındırmaadətən fiziki və kimyəvi təsirləri birləşdirən prosesdir, burada ion bombardmanı mühüm fiziki aşındırma üsuludur. zamanıaşındırma prosesi, ionların düşmə bucağı və enerji paylanması qeyri-bərabər ola bilər.
Yan divarın müxtəlif mövqelərində ionların düşmə bucağı fərqli olarsa, ionların yan divarda aşındırma təsiri də fərqli olacaqdır. İon düşmə bucaqları daha böyük olan ərazilərdə ionların yan divarda aşındırma effekti daha güclü olur ki, bu da bu sahədə yan divarın daha çox həkk olunmasına və yan divarın əyilməsinə səbəb olur. Bundan əlavə, ion enerjisinin qeyri-bərabər paylanması da oxşar təsirlər yaradacaqdır. Daha yüksək enerjili ionlar materialları daha effektiv şəkildə çıxara bilər, nəticədə uyğunsuzluq yaranıraşındırmayan divarın müxtəlif mövqelərdə dərəcələri, bu da öz növbəsində yan divarın əyilməsinə səbəb olur.
Fotorezistin təsiri
Fotorezist quru aşındırmada maska rolunu oynayır, həkk edilməsi lazım olmayan sahələri qoruyur. Bununla belə, fotorezist həm də aşındırma prosesi zamanı plazma bombardmanı və kimyəvi reaksiyalardan təsirlənir və onun performansı dəyişə bilər.
Fotorezistin qalınlığı qeyri-bərabərdirsə, aşındırma prosesi zamanı sərfiyyat dərəcəsi uyğun gəlmirsə və ya fotorezist ilə substrat arasındakı yapışma müxtəlif yerlərdə fərqlidirsə, aşındırma prosesində yan divarların qeyri-bərabər qorunmasına səbəb ola bilər. Məsələn, daha incə fotorezist və ya daha zəif yapışma olan sahələr əsas materialı daha asan həkk edə bilər və bu yerlərdə yan divarların əyilməsinə səbəb ola bilər.
Substrat materialının xüsusiyyətlərində fərqlər
Oyulmuş substrat materialının özü fərqli xüsusiyyətlərə malik ola bilər, məsələn, müxtəlif kristal oriyentasiyaları və müxtəlif bölgələrdə dopinq konsentrasiyaları. Bu fərqlər aşındırma sürətinə və aşındırma seçiciliyinə təsir edəcəkdir.
Məsələn, kristal silisiumda, silisium atomlarının müxtəlif kristal oriyentasiyalarda düzülüşü fərqlidir və onların reaktivliyi və aşındırma qazı ilə aşındırma sürəti də fərqli olacaqdır. Aşınma prosesi zamanı material xassələrindəki fərqlərin səbəb olduğu müxtəlif aşındırma dərəcələri müxtəlif yerlərdə yan divarların aşındırma dərinliyini uyğunsuz edəcək və nəticədə yan divarın əyilməsinə gətirib çıxaracaq.
Avadanlıqla bağlı amillər
Aşınma avadanlığının performansı və vəziyyəti də aşındırma nəticələrinə mühüm təsir göstərir. Məsələn, reaksiya kamerasında plazmanın qeyri-bərabər paylanması və elektrodun qeyri-bərabər aşınması kimi problemlər aşındırma zamanı vafli səthində ion sıxlığı və enerji kimi parametrlərin qeyri-bərabər paylanmasına səbəb ola bilər.
Bundan əlavə, avadanlığın qeyri-bərabər temperatur nəzarəti və qaz axınındakı kiçik dalğalanmalar da aşındırma vahidliyinə təsir göstərərək yan divarın əyilməsinə səbəb ola bilər.
Göndərmə vaxtı: 03 dekabr 2024-cü il