Kimyəvi buxarın çökməsi (CVD) silikonun səthində bərk təbəqənin çökməsi prosesinə aiddirgofretqaz qarışığının kimyəvi reaksiyası ilə. Müxtəlif reaksiya şərtlərinə görə (təzyiq, prekursor) müxtəlif avadanlıq modellərinə bölünə bilər.
Bu iki cihaz hansı proseslər üçün istifadə olunur?
PECVD(Plazma Təkmilləşdirilmiş) avadanlığı ən çox istifadə edilən və ən çox istifadə edilən OX, Nitride, metal gate, amorf karbon və s.; LPCVD (Aşağı Güc) adətən Nitride, poly, TEOS-da istifadə olunur.
Prinsip nədir?
PECVD- plazma enerjisi ilə CVD-ni mükəmməl birləşdirən proses. PECVD texnologiyası aşağı təzyiq altında proses kamerasının katodunda (yəni nümunə qabı) parıltı boşalmasına səbəb olmaq üçün aşağı temperaturlu plazmadan istifadə edir. Bu parıldayan boşalma və ya digər istilik cihazı nümunənin temperaturunu əvvəlcədən müəyyən edilmiş səviyyəyə qaldıra bilər və sonra idarə olunan bir miqdarda proses qazı təqdim edə bilər. Bu qaz bir sıra kimyəvi və plazma reaksiyalarına məruz qalır və nəhayət, nümunənin səthində bərk təbəqə əmələ gətirir.
LPCVD - Aşağı təzyiqli kimyəvi buxar çökməsi (LPCVD) reaktorda reaksiya qazının iş təzyiqini təxminən 133Pa və ya daha az azaltmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur.
Hər birinin xüsusiyyətləri hansılardır?
PECVD - Plazma enerjisi və CVD-ni mükəmməl birləşdirən proses: 1) Aşağı temperaturda işləmə (avadanlığın yüksək temperaturun zədələnməsinin qarşısını almaq); 2) Sürətli film böyüməsi; 3) Materiallar haqqında seçici deyil, OX, Nitride, metal gate, amorf karbon hamısı böyüyə bilər; 4) Resepti ion parametrləri, qaz axını sürəti, temperatur və film qalınlığı vasitəsilə tənzimləyə bilən in-situ monitorinq sistemi mövcuddur.
LPCVD - LPCVD tərəfindən qoyulmuş nazik filmlər daha yaxşı addım örtüyünə, yaxşı tərkibə və quruluşa nəzarətə, yüksək çökmə sürətinə və çıxışa malik olacaq. Bundan əlavə, LPCVD daşıyıcı qaz tələb etmir, buna görə də hissəciklərin çirklənməsi mənbəyini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır və nazik təbəqənin çökməsi üçün yüksək əlavə dəyərli yarımkeçirici sənayelərdə geniş istifadə olunur.
Dünyanın hər yerindən gələn hər hansı bir müştərini daha çox müzakirə etmək üçün bizi ziyarət etmək üçün xoş gəlmisiniz!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Göndərmə vaxtı: 24 iyul 2024-cü il