Silikon karbid örtük,SiC örtüyü kimi tanınan, kimyəvi buxar çökdürmə (CVD), fiziki buxar çökdürmə (PVD) və ya termal püskürtmə kimi üsullarla səthlərə bir silikon karbid qatının tətbiqi prosesinə aiddir. Bu silisium karbid keramika örtüyü müstəsna aşınma müqaviməti, istilik sabitliyi və korroziyadan qorunma təmin etməklə müxtəlif substratların səth xüsusiyyətlərini artırır. SiC yüksək ərimə nöqtəsi (təxminən 2700 ℃), həddindən artıq sərtlik (Mohs şkalası 9), əla korroziya və oksidləşmə müqaviməti və müstəsna ablasyon performansı da daxil olmaqla görkəmli fiziki və kimyəvi xüsusiyyətləri ilə tanınır.
Sənaye Tətbiqlərində Silikon Karbid Kaplamasının Əsas Faydaları
Bu xüsusiyyətlərinə görə silisium karbid örtüyü aerokosmik, silah avadanlıqları və yarımkeçiricilərin emalı kimi sahələrdə geniş istifadə olunur. Ekstremal mühitlərdə, xüsusən də 1800-2000 ℃ diapazonunda SiC örtüyü əla istilik sabitliyi və ablativ müqavimət nümayiş etdirir, bu da onu yüksək temperatur tətbiqləri üçün ideal edir. Bununla belə, silisium karbid tək başına bir çox tətbiqlər üçün lazım olan struktur bütövlüyünə malik deyil, buna görə də komponentin gücündən ödün vermədən unikal xüsusiyyətlərindən istifadə etmək üçün örtük üsullarından istifadə olunur. Yarımkeçirici istehsalında silikon karbidlə örtülmüş elementlər MOCVD proseslərində istifadə olunan avadanlıq daxilində etibarlı qorunma və performans sabitliyini təmin edir.
Silikon karbid örtükünün hazırlanması üçün ümumi üsullar
Ⅰ● Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD) Silikon Karbid Kaplaması
Bu üsulda, SiC örtükləri, substratları reaksiya kamerasına yerləşdirməklə əmələ gəlir, burada metiltriklorosilan (MTS) prekursor kimi çıxış edir. Nəzarət olunan şəraitdə (adətən 950-1300°C və mənfi təzyiq) MTS parçalanmaya məruz qalır və silikon karbid səthə çökür. Bu CVD SiC örtük prosesi, yarımkeçirici və aerokosmik sektorlarda yüksək dəqiqlikli tətbiqlər üçün ideal olan, mükəmməl yapışma ilə sıx, vahid örtük təmin edir.
Ⅱ● Prekursor Çevrilmə Metodu (Polimer Emprenye və Piroliz – PIP)
Digər effektiv silisium karbid sprey örtük yanaşması, əvvəlcədən işlənmiş nümunənin keramika prekursor məhluluna batırılmasını nəzərdə tutan prekursorun çevrilməsi üsuludur. Emprenye çənini tozsoranla təmizlədikdən və örtüyə təzyiq etdikdən sonra nümunə qızdırılır və bu, soyuduqdan sonra silisium karbid örtüyünün əmələ gəlməsinə səbəb olur. Bu üsul vahid örtük qalınlığı və artan aşınma müqaviməti tələb edən komponentlər üçün əlverişlidir.
Silikon karbid örtüyünün fiziki xüsusiyyətləri
Silikon karbid örtükləri onları tələbkar sənaye tətbiqləri üçün ideal hala gətirən xüsusiyyətlər nümayiş etdirir. Bu xüsusiyyətlərə aşağıdakılar daxildir:
İstilik keçiriciliyi: 120-270 W/m·K
Termal Genişlənmə əmsalı: 4,3 × 10^(-6)/K (20~800℃-də)
Elektrik müqaviməti: 10^5– 10^6Ω·sm
Sərtlik: Mohs şkalası 9
Silikon Karbid Kaplama Tətbiqləri
Yarımkeçiricilər istehsalında, MOCVD və digər yüksək temperatur prosesləri üçün silikon karbid örtüyü həm yüksək temperatura davamlılıq, həm də sabitlik təklif etməklə reaktorlar və həssas qurğular kimi kritik avadanlıqları qoruyur. Aerokosmik və müdafiə sənayesində silisium karbid keramika örtükləri yüksək sürətli təsirlərə və korroziyalı mühitlərə tab gətirməli olan komponentlərə tətbiq olunur. Bundan əlavə, silisium karbid boya və ya örtüklər sterilizasiya prosedurları altında davamlılıq tələb edən tibbi cihazlarda da istifadə edilə bilər.
Niyə Silisium Karbid Kaplama Seçilir?
Komponentlərin ömrünü uzatmaqda sübut edilmiş rekorda malik silisium karbid örtükləri bənzərsiz davamlılıq və temperatur sabitliyi təmin edərək, onları uzunmüddətli istifadə üçün sərfəli edir. Silikon karbidlə örtülmüş səthi seçməklə sənayelər texniki xidmət xərclərinin azaldılmasından, avadanlığın etibarlılığından və təkmilləşdirilmiş əməliyyat səmərəliliyindən faydalanır.
Niyə VET ENERGY-ni seçməlisiniz?
VET ENERGY, Çində silisium karbid örtük məhsullarının peşəkar istehsalçısı və fabrikidir. Əsas SiC örtük məhsulları arasında silikon karbid keramika örtük qızdırıcısı,CVD Silikon Karbid Kaplama MOCVD Susseptor, CVD SiC örtüklü MOCVD Qrafit Daşıyıcı, SiC örtüklü qrafit baza daşıyıcıları, Yarımkeçiricilər üçün Silikon Karbid örtüklü Qrafit Substrat,SiC Örtüyü/örtülmüş Qrafit Substrat/Yarımkeçiricilər üçün Tabla, CVD SiC örtüklü karbon-karbon kompozit CFC qayıq qəlibi. VET ENERGY yarımkeçirici sənayesi üçün qabaqcıl texnologiya və məhsul həlləri təqdim etməyə sadiqdir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olacağımıza ürəkdən ümid edirik.
Göndərmə vaxtı: Sentyabr-02-2023