Silisium karbid nozziləri elektron yarımkeçirici istehsalında mühüm rol oynayır. Yarımkeçirici istehsalında tez-tez yaş kimyəvi müalicə üçün istifadə olunan mayeləri və ya qazları püskürtmək üçün istifadə olunan bir cihazdır. Sic nozzle yüksək temperatur müqaviməti, korroziyaya davamlılıq və aşınma müqavimətinin üstünlüklərinə malikdir, buna görə də elektron yarımkeçirici istehsal sənayesində geniş istifadə edilmişdir.
Elektron yarımkeçirici istehsalında, silisium karbid burunları tez-tez örtük və təmizləmə proseslərində istifadə olunur. Məsələn, fotolitoqrafiya prosesində silisium karbid məhlulu incə naxış yaratmaq üçün fotorezist məhlulu silisium vaflisinə səpmək üçün istifadə olunur. Silikon karbid nozzle vahid püskürtmə xüsusiyyətlərinə malik olduğundan, silikon vaflinin səthində fotorezistin vahid paylanmasını təmin edə bilər və bununla da istehsalın səmərəliliyini və məhsulun keyfiyyətini yaxşılaşdırır.
Bundan əlavə, silisium karbid burunları təmizləmə proseslərində tez-tez istifadə olunur. Yarımkeçiricilərin istehsalı zamanı səth çirklərini və çirkləndiriciləri təmizləmək üçün silikon vafliləri təmizləmək lazımdır. Silikon karbid ucluqları yüksək sürətli hava və ya kimyəvi məhlulları püskürtməklə, çirkləndiriciləri effektiv şəkildə təmizləyərək və istehsal prosesinin etibarlılığını və dayanıqlığını artıraraq silisium vaflilərinin səthini təmizləyə bilər.
Elektron yarımkeçiricilər istehsal edən müəssisələr üçün düzgün silisium karbid nozzini seçmək çox vacibdir. Hər şeydən əvvəl, silikon karbid nozzle istehsal prosesində yüksək temperatur mühitinin öhdəsindən gəlmək üçün son dərəcə yüksək temperatur müqavimətinə malik olmalıdır. İkincisi, korroziyaya davamlılıq da vacibdir, çünki istehsal prosesində güclü turşular və əsaslar kimi bəzi kimyəvi maddələr istifadə olunur. Bundan əlavə, aşınma müqaviməti də nəzərə alınır, çünki istifadə zamanı nozzle sürtünməyə və aşınmaya məruz qalır.
Silikon karbid burunlarının işini yaxşılaşdırmaq üçün istehsalçılar adətən bəzi qabaqcıl istehsal üsullarından istifadə edirlər. Məsələn, ucluqlar fiziki və kimyəvi xassələrinin sabitliyini təmin etmək üçün yüksək təmizlikli silisium karbid materiallarından hazırlanır. Bundan əlavə, dəqiq emal və səth müalicəsi vasitəsilə silisium karbid nozzinin çiləmə effekti və xidmət müddəti yaxşılaşdırıla bilər.
Bir sözlə, silisium karbid burunları elektron yarımkeçirici istehsalında mühüm rol oynayır. Onlar yüksək temperatur, korroziya və aşınma müqavimətinin üstünlüklərinə malikdir və sprey maye və ya qazın təmizlənməsi proseslərində istifadə edilə bilər. Elektron yarımkeçiricilər istehsal edən müəssisələr düzgün silisium karbid nozzini seçməli və istehsal prosesinin səmərəliliyini və məhsulun keyfiyyətini artırmaq üçün qabaqcıl istehsal texnologiyasını qəbul etməlidirlər.
Silisium karbid nozziləri elektron yarımkeçirici istehsalında mühüm rol oynayır. Onlar yüksək temperatur, korroziya və aşınma müqavimətinin üstünlüklərinə malikdir və sprey maye və ya qazın təmizlənməsi proseslərində istifadə edilə bilər. Fotolitoqrafiya prosesində silisium karbid məhlulu fotorezist məhlulunu silisium vaflisinə bərabər şəkildə səpərək istehsal səmərəliliyini və məhsulun keyfiyyətini artıra bilər. Təmizləmə prosesində silisium karbid nozzle yüksək sürətli hava axını və ya kimyəvi məhlul püskürtməklə silisium vaflisinin səthini təmizləyə, çirkləndiriciləri təmizləyə və istehsal prosesinin etibarlılığını və sabitliyini yaxşılaşdıra bilər. Elektron yarımkeçiricilər istehsal edən müəssisələr düzgün silisium karbid nozzini seçməli və istehsal prosesinin səmərəliliyini və məhsulun keyfiyyətini artırmaq üçün qabaqcıl istehsal texnologiyasını qəbul etməlidirlər.
Göndərmə vaxtı: 11 dekabr 2023-cü il