Yüksək təmizlikli qrafit komponentləri çox vacibdiryarımkeçirici, LED və günəş sənayesində proseslər. Təkliflərimiz kristal böyüyən isti zonalar üçün qrafit istehlak materiallarından (qızdırıcılar, pota qəbulediciləri, izolyasiya), vafli emal avadanlığı üçün yüksək dəqiqlikli qrafit komponentlərinə, məsələn, Epitaxy və ya MOCVD üçün silikon karbidlə örtülmüş qrafit tutuculara qədərdir. Burada bizim xüsusi qrafitimiz işə düşür: izostatik qrafit mürəkkəb yarımkeçirici təbəqələrin istehsalı üçün əsasdır. Bunlar epitaksiya və ya MOCVD prosesi adlanan zaman həddindən artıq temperatur altında “isti zonada” əmələ gəlir. Reaktorda vaflilərin örtüldüyü fırlanan daşıyıcı silisium karbidlə örtülmüş izostatik qrafitdən ibarətdir. Yalnız bu çox təmiz, homojen qrafit örtük prosesində yüksək tələblərə cavab verir.
TLED epitaksial vafli böyümənin əsas prinsipidir: müvafiq temperatura qədər qızdırılan bir substratda (əsasən sapfir, SiC və Si) InGaAlP qaz halında olan material xüsusi monokristal filmi yetişdirmək üçün idarə olunan şəkildə substratın səthinə daşınır. Hal-hazırda, LED epitaksial gofretin böyümə texnologiyası əsasən üzvi metal kimyəvi buxar çöküntüsünü qəbul edir.
LED epitaksial substrat materialıyarımkeçirici işıqlandırma sənayesinin texnoloji inkişafının təməl daşıdır. Fərqli substrat materialları fərqli LED epitaksial vafli böyümə texnologiyasına, çip emal texnologiyasına və cihaz qablaşdırma texnologiyasına ehtiyac duyur. Substrat materialları yarımkeçirici işıqlandırma texnologiyasının inkişaf marşrutunu müəyyən edir.
LED epitaksial vafli substrat materialının seçiminin xüsusiyyətləri:
1. Epitaksial material substratla eyni və ya oxşar kristal quruluşa malikdir, kiçik qəfəs sabit uyğunsuzluğu, yaxşı kristallik və aşağı qüsur sıxlığı
2. Epitaksial materialların nüvələşməsinə və güclü yapışmasına kömək edən yaxşı interfeys xüsusiyyətləri
3. Yaxşı kimyəvi sabitliyə malikdir və epitaksial böyümənin temperaturu və atmosferində parçalanmaq və korroziya etmək asan deyil.
4. Yaxşı istilik keçiriciliyi və aşağı istilik uyğunsuzluğu da daxil olmaqla yaxşı istilik performansı
5. Yaxşı keçiricilik, yuxarı və aşağı strukturda edilə bilər 6, yaxşı optik performans və hazırlanmış cihaz tərəfindən yayılan işıq substrat tərəfindən daha az udulur
7. İncəlmə, cilalama və kəsmə daxil olmaqla cihazların yaxşı mexaniki xüsusiyyətləri və asan işlənməsi
8. Aşağı qiymət.
9. Böyük ölçü. Ümumiyyətlə, diametri 2 düymdən az olmamalıdır.
10. Normal formalı substratı (digər xüsusi tələblər olmadıqda) əldə etmək asandır və epitaksial avadanlığın tray deliyinə bənzər substrat forması epitaksial keyfiyyətə təsir etmək üçün qeyri-müntəzəm burulğan cərəyanı yaratmaq asan deyil.
11. Epitaksial keyfiyyətə təsir etməmək şərti ilə, substratın emal qabiliyyəti mümkün qədər sonrakı çip və qablaşdırma emalı tələblərinə cavab verməlidir.
Substratın seçilməsi üçün yuxarıda göstərilən on bir aspektə eyni vaxtda cavab vermək çox çətindir. Buna görə də, hazırda biz yalnız epitaksial böyümə texnologiyasının dəyişdirilməsi və cihazın emal texnologiyasının tənzimlənməsi yolu ilə müxtəlif substratlarda yarımkeçirici işıq yayan cihazların R&D və istehsalına uyğunlaşa bilərik. Qallium nitridin tədqiqatı üçün bir çox substrat materialı var, lakin istehsal üçün istifadə edilə bilən yalnız iki substrat var, yəni sapfir Al2O3 və silisium karbidSiC substratları.
Göndərmə vaxtı: 28 fevral 2022-ci il