Müasir C, N, B və digər oksid olmayan yüksək texnologiyalı odadavamlı xammal, atmosfer təzyiqi ilə sinterlənmiş silisium karbid geniş, iqtisadi, zımpara və ya odadavamlı qum olduğunu söyləmək olar. Saf silisium karbid rəngsiz şəffaf kristaldır. Beləliklə, silikon karbidin material quruluşu və xüsusiyyətləri nədir?
Atmosfer təzyiqi altında sinterlənmiş silisium karbid
Atmosfer təzyiqi ilə sinterlənmiş silisium karbidinin material quruluşu:
Sənayedə istifadə edilən atmosfer təzyiqi ilə sinterlənmiş silisium karbid çirklərin növünə və tərkibinə görə açıq sarı, yaşıl, mavi və qara rəngdədir və təmizliyi fərqli və şəffaflığı fərqlidir. Silikon karbid kristal quruluşu altı sözlü və ya almaz formalı plutonium və kub plutonium-sic bölünür. Plutonium-sic kristal strukturunda karbon və silisium atomlarının fərqli yığılma sırasına görə müxtəlif deformasiyalar əmələ gətirir və 70-dən çox deformasiya növü aşkar edilmişdir. beta-SIC 2100-dən yuxarı alfa-SIC-ə çevrilir. Silikon karbidin sənaye prosesi müqavimət sobasında yüksək keyfiyyətli kvars qumu və neft koksu ilə təmizlənir. Təmizlənmiş silisium karbid blokları müxtəlif hissəcik ölçüsü məhsulları istehsal etmək üçün əzilir, turşu əsaslı təmizlənir, maqnitlə ayrılır, süzülür və ya su seçir.
Atmosfer təzyiqi ilə sinterlənmiş silisium karbidinin material xüsusiyyətləri:
Silikon karbid yaxşı kimyəvi sabitliyə, istilik keçiriciliyinə, istilik genişlənmə əmsalı, aşınma müqavimətinə malikdir, buna görə də aşındırıcı istifadə ilə yanaşı, bir çox istifadə var: Məsələn, silisium karbid tozu turbin çarxının və ya silindr blokunun daxili divarına örtülmüşdür. aşınma müqavimətini yaxşılaşdıra və ömrünü 1-2 dəfə artıra bilən xüsusi bir proses. İstiliyədavamlı, kiçik ölçülü, yüngül çəki, yüksək dərəcəli odadavamlı materiallardan yüksək möhkəmlik, enerji səmərəliliyi çox yaxşıdır. Aşağı dərəcəli silisium karbid (təxminən 85% SiC daxil olmaqla) polad istehsalı sürətini artırmaq və poladın keyfiyyətini yaxşılaşdırmaq üçün kimyəvi tərkibə asanlıqla nəzarət etmək üçün əla deoksidləşdiricidir. Bundan əlavə, atmosfer təzyiqi ilə sinterlənmiş silisium karbid də silikon karbon çubuqlarının elektrik hissələrinin istehsalında geniş istifadə olunur.
Silisium karbid çox sərtdir. Morse sərtliyi 9,5, dünyanın sərt almazından (10) sonra ikinci yerdədir, əla istilik keçiriciliyinə malik yarımkeçiricidir, yüksək temperaturda oksidləşməyə müqavimət göstərə bilir. Silikon karbid ən azı 70 kristal növünə malikdir. Plutonium-silikon karbid 2000-dən yuxarı temperaturda əmələ gələn və altıbucaqlı kristal quruluşa (vurtzitə bənzər) malik olan ümumi izomerdir. Atmosfer təzyiqi altında sinterlənmiş silisium karbid
Yarımkeçirici sənayedə silisium karbidinin tətbiqi
Silisium karbid yarımkeçirici sənaye zənciri əsasən silisium karbid yüksək təmizlikli toz, tək kristal substrat, epitaksial təbəqə, güc komponentləri, modul qablaşdırma və terminal tətbiqlərini əhatə edir.
1. Tək kristal substrat Tək kristal substrat yarımkeçirici dəstəkləyici material, keçirici material və epitaksial böyümə substratıdır. Hazırda SiC monokristalının böyümə üsullarına fiziki buxar ötürmə üsulu (PVT üsulu), maye faza üsulu (LPE üsulu) və yüksək temperaturda kimyəvi buxar çökmə üsulu (HTCVD üsulu) daxildir. Atmosfer təzyiqi altında sinterlənmiş silisium karbid
2. Epitaksial təbəqə Silikon karbid epitaksial təbəqə, silisium karbid təbəqəsi, silisium karbid substratı üçün müəyyən tələblərə malik olan substrat kristalı ilə eyni istiqamətdə olan tək kristal film (epitaxial təbəqə). Praktik tətbiqlərdə geniş diapazonlu yarımkeçirici cihazların demək olar ki, hamısı epitaksial təbəqədə istehsal olunur və silikon çipin özü yalnız GaN epitaksial təbəqəsinin substratı da daxil olmaqla substrat kimi istifadə olunur.
3. Yüksək təmizlikdə silisium karbid tozu Yüksək təmizlikdə silisium karbid tozu PVT üsulu ilə silisium karbid monokristalının böyüməsi üçün xammaldır və məhsulun saflığı silisium karbid tək kristalının böyümə keyfiyyətinə və elektrik xüsusiyyətlərinə birbaşa təsir göstərir.
4. Güc qurğusu yüksək temperatur, yüksək tezlik və yüksək səmərəlilik xüsusiyyətlərinə malik olan silisium karbid materialından hazırlanmış geniş diapazonlu gücdür. Cihazın işləmə formasına görə, SiC enerji təchizatı cihazı əsasən bir güc diodunu və bir elektrik açarı borusunu ehtiva edir.
5. Terminal Üçüncü nəsil yarımkeçirici tətbiqlərində silisium karbid yarımkeçiriciləri qallium nitridi yarımkeçiricilərə tamamlayıcı olma üstünlüyünə malikdir. SiC cihazlarının yüksək konversiya səmərəliliyi, aşağı istilik xüsusiyyətləri, yüngül çəkisi və digər üstünlükləri sayəsində aşağı axın sənayesinin tələbi artmaqda davam edir və SiO2 cihazlarını əvəz etmək tendensiyası var.
Göndərmə vaxtı: 16 iyun 2023-cü il