Buxar fazasının epitaksiyası (VPE) prosesi zamanı postamentin rolu substratı dəstəkləmək və böyümə prosesi zamanı vahid istiləşməni təmin etməkdir. Müxtəlif növ postamentlər müxtəlif böyümə şəraiti və material sistemləri üçün uyğundur. Aşağıda buxar fazasında tez-tez istifadə olunan postament növlərindən bəziləri verilmişdirepitaksiya:
Barel postamenti
Barrel postamentləri ümumiyyətlə üfüqi və ya əyilmiş buxar fazalı epitaksiya sistemlərində istifadə olunur. Onlar substratı tuta və qazın substratın üzərindən axmasına imkan verə bilər ki, bu da vahid epitaksial böyüməyə nail olmağa kömək edir.
Disk formalı postament (şaquli postament)
Disk formalı postamentlər, substratın şaquli olaraq yerləşdirildiyi şaquli buxar fazalı epitaksiya sistemləri üçün uyğundur. Bu dizayn, substrat və suseptor arasındakı əlaqə sahəsini azaltmağa kömək edir, bununla da istilik itkisini və potensial çirklənməni azaldır.
Üfüqi qəbuledici
Horizontal susseptorlar buxar fazasının epitaksiyasında daha az rast gəlinir, lakin üfüqi istiqamətdə epitaksial böyüməyə imkan vermək üçün bəzi spesifik böyümə sistemlərində istifadə edilə bilər.
Monolitik epitaksial reaksiya həssaslığı
Monolitik epitaksial reaksiya həssaslığı yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqələrin böyüməsi üçün uyğun olan daha dəqiq temperatur nəzarətini və daha yaxşı istilik izolyasiyasını təmin edə bilən bir substrat üçün nəzərdə tutulmuşdur.
Məhsul haqqında məlumat və məsləhət üçün vebsaytımıza xoş gəlmisiniz.
Veb saytımız: https://www.vet-china.com/
Göndərmə vaxtı: 30 iyul 2024-cü il