Püskürtmə hədəfləriəsasən elektronika və informasiya sənayesində, məsələn, inteqral sxemlər, məlumatların saxlanması, maye kristal displeylər, lazer yaddaşları, elektron idarəetmə cihazları və s. kimi istifadə olunur. Onlar həmçinin şüşə örtüyü sahəsində, eləcə də aşınmaya davamlı olaraq istifadə edilə bilər. materiallar, yüksək temperaturda korroziyaya davamlılıq, yüksək səviyyəli dekorativ məhsullar və digər sənayelər.
Püskürtmə nazik təbəqə materiallarının hazırlanması üçün əsas üsullardan biridir.Yüksək sürətli enerji ion şüaları yaratmaq, bərk səthi bombalamaq və ionlar və bərk səth atomları arasında kinetik enerji mübadiləsi aparmaq üçün vakuumda sürətləndirmək və birləşmək üçün ion mənbələri tərəfindən yaradılan ionlardan istifadə edir. Bərk səthdəki atomlar bərki tərk edir və substratın səthinə yerləşdirilir. Bombardman edilmiş bərk cisim püskürtmə yolu ilə nazik təbəqələrin çökdürülməsi üçün xammaldır ki, bu da püskürtmə hədəfi adlanır. Müxtəlif növ püskürən nazik film materialları yarımkeçirici inteqral sxemlərdə, qeyd daşıyıcılarında, düz panelli displeylərdə və iş parçasının səthi örtüklərində geniş istifadə edilmişdir.
Bütün tətbiq sənayeləri arasında yarımkeçiricilər sənayesi hədəf püskürən filmlər üçün ən ciddi keyfiyyət tələblərinə malikdir. Yüksək təmizlikli metal püskürtmə hədəfləri əsasən vafli istehsalında və qabaqcıl qablaşdırma proseslərində istifadə olunur. Çip istehsalını nümunə götürsək, görə bilərik ki, silikon vaflidən çipə qədər 7 əsas istehsal prosesindən keçməlidir, yəni diffuziya (Termal Proses), Foto-litoqrafiya (Foto-litoqrafiya), Etch (Etch), İon implantasiyası (IonImplant), nazik təbəqənin böyüməsi (dielektrik çökmə), kimyəvi mexaniki cilalama (CMP), metallaşma (Metallaşma) Proseslər bir-bir uyğun gəlir. Püskürtmə hədəfi "metallaşma" prosesində istifadə olunur. Hədəf nazik film çökdürmə avadanlığı ilə yüksək enerjili hissəciklərlə bombalanır və sonra silikon vafli üzərində keçirici təbəqə, maneə təbəqəsi kimi xüsusi funksiyaları olan metal təbəqə əmələ gəlir. Gözləyin. Bütün yarımkeçiricilərin prosesləri müxtəlif olduğundan, sistemin düzgün mövcudluğunu yoxlamaq üçün bəzi təsadüfi vəziyyətlər tələb olunur, ona görə də effektləri təsdiqləmək üçün istehsalın müəyyən mərhələlərində bəzi növ dummy materialları tələb edirik.
Göndərmə vaxtı: 17 yanvar 2022-ci il