VET EnerjiPECVD prosesi qrafit daşıyıcısı PECVD (plazma ilə gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökmə) prosesi üçün hazırlanmış yüksək keyfiyyətli istehlak materialıdır. Bu qrafit daşıyıcısı yüksək təmizlikli, yüksək sıxlıqlı qrafit materialından hazırlanmışdır, əla yüksək temperatur müqavimətinə, korroziyaya davamlılığa, ölçülü sabitliyə və digər xüsusiyyətlərə malikdir, nazik filmin vahidliyini və düzlüyünü təmin etmək üçün PECVD prosesi üçün sabit daşıyıcı platforma təmin edə bilər. çökmə.
PECVD prosesi üçün qrafit daşıyıcıları aşağıdakı xüsusiyyətlərə malikdir:
▪ Yüksək təmizlik: çox aşağı çirklilik, filmin çirklənməsinin qarşısını alır və film keyfiyyətini təmin edir.
▪ Yüksək sıxlıq: yüksək sıxlıq, yüksək mexaniki qüvvə, yüksək temperatur və yüksək təzyiqli PECVD mühitinə tab gətirə bilir.
▪ Yaxşı ölçü sabitliyi: yüksək temperaturda kiçik ölçülü dəyişmə, prosesin sabitliyini təmin edir.
▪ Əla istilik keçiriciliyi: vaflinin həddindən artıq istiləşməsinin qarşısını almaq üçün istiliyi effektiv şəkildə ötürür.
▪ Güclü korroziyaya davamlılıq: müxtəlif aşındırıcı qazlar və plazma ilə eroziyaya qarşı dura bilir.
▪ Fərdi xidmət: müxtəlif ölçülü və formalı qrafit daşıyıcıları müştəri ehtiyaclarına uyğun olaraq fərdiləşdirilə bilər.
SGL-dən qrafit materialı:
| Tipik parametr: R6510 | |||
| indeks | Test standartı | Dəyər | Vahid |
| Orta taxıl ölçüsü | ISO 13320 | 10 | μm |
| Kütləvi sıxlıq | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | q/sm3 |
| Açıq gözeneklilik | DIN66133 | 10 | % |
| Orta məsamə ölçüsü | DIN66133 | 1.8 | μm |
| keçiricilik | DIN 51935 | 0,06 | sm²/s |
| Rockwell sərtliyi HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Xüsusi elektrik müqaviməti | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bükülmə gücü | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Sıxılma gücü | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young modulu | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termal genişlənmə (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| İstilik keçiriciliyi (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
O, xüsusi olaraq G12 böyük ölçülü vafli emalını dəstəkləyən yüksək səmərəli günəş batareyası istehsalı üçün nəzərdə tutulmuşdur. Optimallaşdırılmış daşıyıcı dizaynı ötürmə qabiliyyətini əhəmiyyətli dərəcədə artırır, daha yüksək gəlir dərəcələri və aşağı istehsal xərclərinə imkan verir.
| Maddə | Növ | Nömrə vafli daşıyıcısı |
| PEVCD Grephite qayıq - 156 seriyası | 156-13 qrefit qayıq | 144 |
| 156-19 qrefit qayıq | 216 | |
| 156-21 qrefit qayıq | 240 | |
| 156-23 qrafit qayıq | 308 | |
| PEVCD Grephite qayıq - 125 seriyası | 125-15 qrefit qayıq | 196 |
| 125-19 qrefit qayıq | 252 | |
| 125-21 qfit qayıq | 280 |
