Qrafit material tələblərinin yarımkeçirici sənaye tələbləri xüsusilə yüksəkdir, qrafitin incə hissəcik ölçüsü yüksək dəqiqliyə, yüksək temperatura davamlılığa, yüksək gücə, kiçik itkiyə və digər üstünlüklərə malikdir, məsələn: sinterlənmiş qrafit məhsulları kalıbı.Yarımkeçirici sənayedə istifadə olunan qrafit avadanlığının (qızdırıcılar və onların sinterlənmiş kalıpları daxil olmaqla) təkrar isitmə və soyutma proseslərinə tab gətirməsi tələb olunduğundan, qrafit avadanlığının xidmət müddətini uzatmaq üçün adətən istifadə olunan qrafit materiallarının sabit performansa malik olması tələb olunur. və istiliyədavamlı təsir funksiyası.
01 Yarımkeçirici kristalların böyüməsi üçün qrafit aksesuarları
Yarımkeçirici kristalların yetişdirilməsi üçün istifadə olunan bütün proseslər yüksək temperatur və korroziyalı mühitdə işləyir. Kristal böyüməsi sobasının isti zonası adətən istiliyədavamlı və korroziyaya davamlı yüksək təmizlikli qrafit komponentləri ilə təchiz olunur, məsələn, qızdırıcı, tige, izolyasiya silindri, bələdçi silindr, elektrod, pota tutucusu, elektrod qozu və s.
Kristal istehsal cihazlarının bütün qrafit hissələrini fərdi və ya dəstlərdə və ya müştəri tələblərinə uyğun olaraq müxtəlif ölçülü qrafit hissələrini istehsal edə bilərik. Məhsulların ölçüsü yerində ölçülə bilər və hazır məhsulların kül tərkibi daha az ola bilər5ppm-dən çox.
02 Yarımkeçirici epitaksiya üçün qrafit aksesuarları
Epitaksial proses monokristal substratdakı substratla eyni qəfəs quruluşuna malik bir kristal material təbəqəsinin böyüməsinə aiddir. Epitaksial prosesdə vafli qrafit diskə yüklənir. Qrafit diskin performansı və keyfiyyəti vaflinin epitaksial təbəqəsinin keyfiyyətində mühüm rol oynayır. Epitaksial istehsal sahəsində çoxlu ultra yüksək təmizlikli qrafit və SIC örtüklü yüksək təmizlikli qrafit baza lazımdır.
Yarımkeçirici epitaksiya üçün şirkətimizin qrafit bazası geniş tətbiq sahəsinə malikdir, sənayedə ən çox istifadə olunan avadanlıqların əksəriyyətinə uyğun ola bilər və yüksək təmizliyə, vahid örtükə, əla xidmət müddətinə və yüksək kimyəvi müqavimətə və istilik sabitliyinə malikdir.
03 İon implantasiyası üçün qrafit aksesuarları
İon implantasiyası bor, fosfor və arsenin plazma şüasının müəyyən bir enerjiyə qədər sürətləndirilməsi və daha sonra səth təbəqəsinin maddi xüsusiyyətlərini dəyişdirmək üçün vafli materialın səth qatına vurulması prosesinə aiddir. İon implantasiya qurğusunun komponentləri əla istilik müqavimətinə, istilik keçiriciliyinə, ion şüasının yaratdığı daha az korroziyaya və az miqdarda çirklənməyə malik yüksək təmizlikli materiallardan hazırlanmalıdır. Yüksək təmizlikli qrafit tətbiq tələblərinə cavab verir və ion implantasiya avadanlığının uçuş borusu, müxtəlif yarıqlar, elektrodlar, elektrod qapaqları, borular, şüa terminatorları və s. üçün istifadə oluna bilər.
Biz yalnız müxtəlif ion implantasiya maşınları üçün qrafit qoruyucu örtüyü təmin edə bilməz, həm də müxtəlif spesifikasiyaların yüksək korroziyaya davamlılığına malik yüksək təmizlikli qrafit elektrodları və ion mənbələrini təmin edə bilərik. Tətbiq olunan modellər: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM və digər avadanlıqlar. Bundan əlavə, biz uyğun keramika, volfram, molibden, alüminium məhsulları və örtülmüş hissələri də təmin edə bilərik.
04 Qrafit izolyasiya materialları və s
Yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında istifadə olunan istilik izolyasiya materiallarına qrafit bərk keçə, yumşaq keçə, qrafit folqa, qrafit kağızı və qrafit ip daxildir.
Bütün xammallarımız müştərinin tələblərinə uyğun olaraq kəsilə bilən və ya bütövlükdə satıla bilən idxal olunan qrafitdir.
Karbon-karbon qabı günəş monokristal silisium və polikristal silisium hüceyrələrinin istehsalı prosesində film örtüyü üçün daşıyıcı kimi istifadə olunur. İş prinsipi belədir: silikon çipi CFC qabına daxil edin və film örtüyünü emal etmək üçün soba borusuna göndərin.
