Dual-Damascene هي تقنية معالجة تستخدم لتصنيع الوصلات المعدنية في الدوائر المتكاملة. إنه تطور إضافي لعملية دمشق. من خلال التشكيل من خلال الثقوب والأخاديد في نفس الوقت وفي نفس خطوة العملية وملئها بالمعدن، يتم تحقيق التصنيع المتكامل للوصلات المعدنية.
لماذا سميت دمشق؟
مدينة دمشق هي عاصمة سوريا، وتشتهر السيوف الدمشقية بحدتها وملمسها الرائع. يتطلب الأمر نوعًا من عملية الترصيع: أولاً، يتم نقش النموذج المطلوب على سطح الفولاذ الدمشقي، ويتم ترصيع المواد المعدة مسبقًا بإحكام في الأخاديد المحفورة. بعد الانتهاء من البطانة، قد يكون السطح غير مستوٍ قليلاً. سيقوم الحرفي بتلميعه بعناية لضمان النعومة الشاملة. وهذه العملية هي النموذج الأولي لعملية دمشق المزدوجة للرقاقة. أولاً، يتم نقش الأخاديد أو الثقوب في الطبقة العازلة، ثم يتم ملئها بالمعدن. بعد التعبئة، ستتم إزالة المعدن الزائد بواسطة cmp.
وتشمل الخطوات الأساسية للعملية الدمشقية المزدوجة ما يلي:
▪ ترسيب الطبقة العازلة:
وضع طبقة من المواد العازلة، مثل ثاني أكسيد السيليكون (SiO2)، على أشباه الموصلاترقاقة.
▪ الطباعة الحجرية الضوئية لتحديد النمط:
استخدم الطباعة الحجرية الضوئية لتحديد نمط الممرات والخنادق الموجودة على الطبقة العازلة.
▪النقش:
نقل نمط الممرات والخنادق إلى الطبقة العازلة من خلال عملية الحفر الجافة أو الرطبة.
▪ ترسيب المعادن:
إيداع المعادن، مثل النحاس (Cu) أو الألومنيوم (Al)، في الممرات والخنادق لتشكيل وصلات معدنية.
▪ التلميع الميكانيكي الكيميائي:
تلميع ميكانيكي كيميائي للسطح المعدني لإزالة المعدن الزائد وتسوية السطح.
بالمقارنة مع عملية تصنيع الربط المعدني التقليدي، تتمتع العملية الدمشقية المزدوجة بالمزايا التالية:
▪خطوات عملية مبسطة:ومن خلال تشكيل الممرات والخنادق في نفس الوقت في نفس خطوة العملية، يتم تقليل خطوات العملية ووقت التصنيع.
▪تحسين كفاءة التصنيع:ونظرًا لتقليل خطوات العملية، يمكن للعملية الدمشقية المزدوجة تحسين كفاءة التصنيع وتقليل تكاليف الإنتاج.
▪تحسين أداء الوصلات المعدنية:يمكن للعملية الدمشقية المزدوجة أن تحقق ترابطات معدنية أضيق، وبالتالي تحسين تكامل وأداء الدوائر.
▪تقليل السعة الطفيلية والمقاومة:باستخدام مواد عازلة منخفضة k وتحسين هيكل الوصلات المعدنية، يمكن تقليل السعة الطفيلية والمقاومة، مما يحسن سرعة وأداء استهلاك الطاقة للدوائر.
وقت النشر: 25 نوفمبر 2024