طلاء كربيد السيليكون،يشير مصطلح طلاء SiC، المعروف عادةً باسم طلاء SiC، إلى عملية وضع طبقة من كربيد السيليكون على الأسطح من خلال طرق مثل ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، أو ترسيب البخار الفيزيائي (PVD)، أو الرش الحراري. يعمل طلاء السيراميك من كربيد السيليكون على تحسين الخصائص السطحية لمختلف الركائز من خلال توفير مقاومة استثنائية للتآكل، والاستقرار الحراري، والحماية من التآكل. يُعرف SiC بخصائصه الفيزيائية والكيميائية المتميزة، بما في ذلك نقطة انصهار عالية (حوالي 2700 درجة مئوية)، والصلابة الشديدة (مقياس Mohs 9)، والمقاومة الممتازة للتآكل والأكسدة، وأداء الاجتثاث الاستثنائي.
الفوائد الرئيسية لطلاء كربيد السيليكون في التطبيقات الصناعية
بسبب هذه الميزات، يتم استخدام طلاء كربيد السيليكون على نطاق واسع في مجالات مثل الفضاء الجوي، ومعدات الأسلحة، ومعالجة أشباه الموصلات. في البيئات القاسية، خاصة ضمن نطاق 1800-2000 درجة مئوية، يُظهر طلاء SiC ثباتًا حراريًا ملحوظًا ومقاومة للتآكل، مما يجعله مثاليًا لتطبيقات درجات الحرارة العالية. ومع ذلك، يفتقر كربيد السيليكون وحده إلى السلامة الهيكلية اللازمة للعديد من التطبيقات، لذلك يتم استخدام طرق الطلاء للاستفادة من خصائصه الفريدة دون المساس بقوة المكونات. في تصنيع أشباه الموصلات، توفر العناصر المطلية بكربيد السيليكون حماية موثوقة واستقرارًا في الأداء داخل المعدات المستخدمة في عمليات MOCVD.
الطرق الشائعة لتحضير طلاء كربيد السيليكون
Ⅰ● ترسيب الأبخرة الكيميائية (CVD) طلاء كربيد السيليكون
في هذه الطريقة، يتم تشكيل طلاءات SiC عن طريق وضع ركائز في غرفة التفاعل، حيث يعمل ميثيل ثلاثي كلوروسيلان (MTS) كمقدمة. في ظل ظروف خاضعة للرقابة - عادة 950-1300 درجة مئوية وضغط سلبي - يخضع MTS للتحلل، ويتم ترسيب كربيد السيليكون على السطح. تضمن عملية طلاء CVD SiC طلاءًا كثيفًا وموحدًا مع التصاق ممتاز، وهو مثالي للتطبيقات عالية الدقة في قطاعات أشباه الموصلات والفضاء.
Ⅱ● طريقة تحويل السلائف (تشريب البوليمر والتحلل الحراري – PIP)
أسلوب آخر فعال لطلاء رذاذ كربيد السيليكون هو طريقة تحويل السلائف، والتي تتضمن غمر العينة المعالجة مسبقًا في محلول السلائف الخزفي. بعد تفريغ خزان التشريب وضغط الطلاء، يتم تسخين العينة، مما يؤدي إلى تكوين طلاء كربيد السيليكون عند التبريد. تُفضل هذه الطريقة للمكونات التي تتطلب سماكة طلاء موحدة ومقاومة تآكل محسنة.
الخصائص الفيزيائية لطلاء كربيد السيليكون
تتميز طلاءات كربيد السيليكون بخصائص تجعلها مثالية للتطبيقات الصناعية الصعبة. تشمل هذه الخصائص:
الموصلية الحرارية: 120-270 واط/م·ك
معامل التمدد الحراري: 4.3 × 10^(-6)/ك (عند 20 ~ 800 درجة مئوية)
المقاومة الكهربائية: 10 ^5– 10 ^6أوم · سم
الصلابة: مقياس موس 9
تطبيقات طلاء كربيد السيليكون
في تصنيع أشباه الموصلات، يعمل طلاء كربيد السيليكون لعمليات MOCVD وغيرها من العمليات ذات درجات الحرارة العالية على حماية المعدات الحيوية، مثل المفاعلات والمستقبلات، من خلال توفير مقاومة درجات الحرارة العالية والاستقرار. في مجال الطيران والدفاع، يتم تطبيق الطلاءات الخزفية من كربيد السيليكون على المكونات التي يجب أن تتحمل التأثيرات عالية السرعة والبيئات المسببة للتآكل. علاوة على ذلك، يمكن أيضًا استخدام طلاء أو طلاءات كربيد السيليكون في الأجهزة الطبية التي تتطلب المتانة في ظل إجراءات التعقيم.
لماذا تختار طلاء كربيد السيليكون?
مع سجل مثبت في إطالة عمر المكونات، توفر طبقات كربيد السيليكون متانة لا مثيل لها وثباتًا في درجة الحرارة، مما يجعلها فعالة من حيث التكلفة للاستخدام على المدى الطويل. من خلال اختيار سطح مطلي بكربيد السيليكون، تستفيد الصناعات من انخفاض تكاليف الصيانة، وتعزيز موثوقية المعدات، وتحسين الكفاءة التشغيلية.
لماذا تختار الطاقة البيطرية؟
VET ENERGY هي شركة متخصصة في تصنيع ومصنع منتجات طلاء كربيد السيليكون في الصين. تشمل منتجات طلاء SiC الرئيسية سخان طلاء السيراميك من كربيد السيليكون،CVD طلاء كربيد السيليكون MOCVD Susceptor, حامل جرافيت MOCVD مع طلاء CVD SiC, حاملات قاعدة الجرافيت المطلية بـ SiC، كربيد السيليكون المطلي بالجرافيت الركيزة لأشباه الموصلات،طلاء SiC/ركيزة من الجرافيت المطلي/صينية لأشباه الموصلات, قالب قارب CFC مركب من الكربون والكربون المطلي بـ CVD SiC. تلتزم VET ENERGY بتوفير التكنولوجيا المتقدمة وحلول المنتجات لصناعة أشباه الموصلات. نأمل مخلصين أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
وقت النشر: 02 سبتمبر 2023