ما هو طلاء سيك؟ – الطاقة البيطرية

كربيد السيليكونهو مركب صلب يحتوي على السيليكون والكربون، ويوجد في الطبيعة كمعدن مويسانيتي نادر للغاية. يمكن ربط جزيئات كربيد السيليكون معًا عن طريق التلبيد لتكوين سيراميك شديد الصلابة، والذي يستخدم على نطاق واسع في التطبيقات التي تتطلب متانة عالية، خاصة في عملية أشباه الموصلات.

الهيكل المادي للSiC

ما هو طلاء SiC؟

طلاء SiC عبارة عن طلاء كربيد السيليكون كثيف ومقاوم للاهتراء مع مقاومة عالية للتآكل والحرارة والتوصيل الحراري الممتاز. يُستخدم هذا الطلاء عالي النقاء من SiC بشكل أساسي في صناعات أشباه الموصلات والإلكترونيات لحماية حاملات الرقاقات والقواعد وعناصر التسخين من البيئات المسببة للتآكل والتفاعلية. طلاء SiC مناسب أيضًا لأفران التفريغ وتسخين العينات في البيئات ذات الفراغ العالي والتفاعل والأكسجين.

سطح طلاء SiC عالي النقاء

ما هي عملية طلاء SiC؟

يتم ترسيب طبقة رقيقة من كربيد السيليكون على سطح الركيزة باستخدامالأمراض القلبية الوعائية (ترسيب البخار الكيميائي). يتم إجراء الترسيب عادةً عند درجات حرارة تتراوح بين 1200-1300 درجة مئوية ويجب أن يكون سلوك التمدد الحراري لمادة الركيزة متوافقًا مع طلاء SiC لتقليل الضغط الحراري.

هيكل كريستالي لفيلم CVD

هيكل كريستالي لطبقة طلاء سي في دي

تنعكس الخصائص الفيزيائية لطلاء SiC بشكل أساسي في مقاومته لدرجات الحرارة العالية والصلابة ومقاومة التآكل والتوصيل الحراري.

المعلمات المادية النموذجية عادة ما تكون كما يلي:

صلابة: يتميز طلاء SiC عادةً بصلابة فيكرز في نطاق 2000-2500 جهد عالي، مما يمنحه مقاومة عالية للغاية للتآكل والصدمات في التطبيقات الصناعية.

كثافة: تبلغ كثافة طلاءات SiC عادةً 3.1-3.2 جم / سم مكعب. تساهم الكثافة العالية في القوة الميكانيكية ومتانة الطلاء.

الموصلية الحرارية: تتمتع طلاءات SiC بموصلية حرارية عالية، عادةً في حدود 120-200 واط / م ك (عند 20 درجة مئوية). وهذا يمنحها موصلية حرارية جيدة في البيئات ذات درجات الحرارة المرتفعة ويجعلها مناسبة بشكل خاص لمعدات المعالجة الحرارية في صناعة أشباه الموصلات.

نقطة الانصهار: يتمتع كربيد السيليكون بنقطة انصهار تبلغ حوالي 2730 درجة مئوية ويتمتع بثبات حراري ممتاز عند درجات الحرارة القصوى.

معامل التمدد الحراري: تتمتع طلاءات SiC بمعامل خطي منخفض للتمدد الحراري (CTE)، عادةً في نطاق 4.0-4.5 ميكرومتر/mK (في 25-1000 درجة مئوية). وهذا يعني أن استقرار الأبعاد ممتاز عند وجود اختلافات كبيرة في درجات الحرارة.

مقاومة التآكل: تعتبر طلاءات SiC مقاومة للغاية للتآكل في البيئات الحمضية والقلوية والمؤكسدة القوية، خاصة عند استخدام الأحماض القوية (مثل HF أو HCl)، ومقاومتها للتآكل تتجاوز بكثير مقاومة المواد المعدنية التقليدية.

يمكن تطبيق طلاءات SiC على المواد التالية:

جرافيت متساوي النقاء عالي النقاء (منخفض CTE)
التنغستن
الموليبدينوم
كربيد السيليكون
نيتريد السيليكون
مركبات الكربون الكربونية (CFC)

تُستخدم المنتجات المطلية بـ SiC بشكل شائع في المجالات التالية:

إنتاج شرائح LED
إنتاج البولي سيليكون
أشباه الموصلاتنمو الكريستال
السيليكون وكربيد الفوقية
المعالجة الحرارية للويفر والنقش

لماذا تختار الطاقة البيطرية؟

VET Energy هي شركة رائدة ومبتكرة ورائدة في منتجات طلاء SiC في الصين، وتشمل منتجات طلاء SiC الرئيسيةحامل الرقاقة مع طلاء SiC، المغلفة كربيد السيليكونقابل الفوقي, حلقة جرافيت مطلية بـ SiC, أجزاء نصف القمر مع طلاء SiC, مركب الكربون والكربون المطلي بـ SiC, قارب من الرقاقة المطلي بـ SiC, سخان مطلي بـ SiCوما إلى ذلك. تلتزم شركة VET Energy بتزويد صناعة أشباه الموصلات بأحدث التقنيات وحلول المنتجات، كما تدعم خدمات التخصيص. ونحن نتطلع بصدق إلى أن نكون شريكك على المدى الطويل في الصين.