فهم تلوث رقائق أشباه الموصلات وإجراءات التنظيف

عندما يكون المني لأخبار الأعمال، فإن فهم مدى تعقيد تصنيع أشباه الموصلات أمر ضروري. تعتبر رقائق أشباه الموصلات عنصرا حاسما في هذه الصناعة، ولكنها غالبا ما تواجه التلوث من الشوائب المتنوعة. يمكن أن تؤثر هذه الملوثات، بما في ذلك الذرة والمواد العضوية وأيون العناصر المعدنية والأكسيد، على عملية التصنيع.

الجسيماتمثل البوليمر وحفر الشوائب التي تعتمد على القوة الجزيئية للامتصاص على سطح الرقاقة، تؤثر على الطباعة الضوئية للجهاز.الشوائب العضويةمثل زيت الجلد البشري وزيت الآلة الذي يشكل فيلمًا على الرقاقة، يعيق التنظيف.أيونات العناصر المعدنيةمثل الحديد والألومنيوم غالبا ما تتم إزالتها من خلال تكوين مركب أيوني من العناصر المعدنية.أكاسيدتعرقل عملية التصنيع ويتم إزالتها عادةً عن طريق نقعها في حمض الهيدروفلوريك المخفف.

الطرق الكيميائيةتستخدم عادة لتنظيف ورعشة رقاقة أشباه الموصلات. تسود تقنية التنظيف الكيميائي للرطوبة مثل الغمر بالمحلول والفرك الميكانيكي. توفر طريقة التنظيف الأسرع من الصوت والمضخمة الصوت طرقًا فعالة لإزالة الشوائب. التنظيف الكيميائي الجاف، بما في ذلك تكنولوجيا البلازما ومرحلة الغاز، يلعب أيضًا وظيفة في عمليات تنظيف رقائق أشباه الموصلات.