تعتبر مكونات الجرافيت عالية النقاء ضرورية لالعمليات في صناعة أشباه الموصلات، LED والطاقة الشمسية. تتراوح عروضنا من المواد الاستهلاكية من الجرافيت للمناطق الساخنة التي تنمو فيها البلورات (السخانات، ومستقبلات البوتقة، والعزل)، إلى مكونات الجرافيت عالية الدقة لمعدات معالجة الرقائق، مثل مستقبلات الجرافيت المطلية بكربيد السيليكون لـ Epitaxy أو MOCVD. وهنا يأتي دور الجرافيت المتخصص لدينا: يعد الجرافيت المتوازن ضروريًا لإنتاج طبقات أشباه الموصلات المركبة. ويتم إنشاء هذه الطبقات في "المنطقة الساخنة" تحت درجات حرارة شديدة أثناء ما يسمى بعملية التنضيد، أو MOCVD. يتكون الحامل الدوار الذي يتم طلاء الرقاقات عليه في المفاعل من الجرافيت المتوازن المغطى بكربيد السيليكون. فقط هذا الجرافيت النقي والمتجانس يلبي المتطلبات العالية في عملية الطلاء.
Tالمبدأ الأساسي لنمو الرقاقة الفوقي LED هو: على ركيزة (أساسًا الياقوت، وSiC، وSi) يتم تسخينها إلى درجة حرارة مناسبة، يتم نقل المادة الغازية InGaAlP إلى سطح الركيزة بطريقة خاضعة للرقابة لإنتاج فيلم بلوري واحد محدد. في الوقت الحاضر، تعتمد تكنولوجيا نمو الرقاقة الفوقية LED بشكل أساسي ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي.
مادة الركيزة الفوقي LEDهو حجر الزاوية في التطور التكنولوجي لصناعة الإضاءة أشباه الموصلات. تحتاج المواد الأساسية المختلفة إلى تكنولوجيا مختلفة لنمو الرقاقة الفوقية LED وتكنولوجيا معالجة الرقائق وتكنولوجيا تغليف الأجهزة. تحدد المواد الأساسية مسار تطوير تكنولوجيا الإضاءة بأشباه الموصلات.
خصائص اختيار المواد الأساسية للرقاقة الفوقية LED:
1. تحتوي المادة الفوقي على نفس البنية البلورية أو ما شابه ذلك مع الركيزة، وعدم تطابق ثابت شبكي صغير، وبلورة جيدة وكثافة عيب منخفضة
2. خصائص واجهة جيدة، تساعد على نواة المواد الفوقي والتصاق قوي
3. لديها استقرار كيميائي جيد وليس من السهل أن تتحلل وتتآكل في درجة الحرارة والجو للنمو الفوقي
4. الأداء الحراري الجيد، بما في ذلك التوصيل الحراري الجيد وعدم التطابق الحراري المنخفض
5. الموصلية الجيدة، يمكن تحويلها إلى هيكل علوي وسفلي 6، أداء بصري جيد، والضوء المنبعث من الجهاز المُصنع أقل امتصاصًا بواسطة الركيزة
7. خواص ميكانيكية جيدة وسهولة معالجة الأجهزة بما في ذلك التخفيف والتلميع والقطع
8. السعر المنخفض.
9. حجم كبير. وبشكل عام، يجب ألا يقل القطر عن 2 بوصة.
10. من السهل الحصول على ركيزة ذات شكل منتظم (ما لم تكن هناك متطلبات خاصة أخرى)، وشكل الركيزة المشابه لفتحة صينية المعدات الفوقي ليس من السهل تشكيل تيار دوامي غير منتظم، وذلك للتأثير على الجودة الفوقي.
11. على أساس عدم التأثير على الجودة الفوقية، يجب أن تلبي قابلية تصنيع الركيزة متطلبات معالجة الرقائق والتعبئة اللاحقة قدر الإمكان.
من الصعب جدًا أن يلبي اختيار الركيزة الجوانب الأحد عشر المذكورة أعلاه في نفس الوقت. لذلك، في الوقت الحاضر، لا يمكننا التكيف إلا مع البحث والتطوير وإنتاج أجهزة باعثة للضوء لأشباه الموصلات على ركائز مختلفة من خلال تغيير تكنولوجيا النمو الفوقي وتعديل تكنولوجيا معالجة الأجهزة. هناك العديد من المواد الأساسية لأبحاث نيتريد الغاليوم، ولكن هناك ركيزتان فقط يمكن استخدامهما في الإنتاج، وهما الياقوت Al2O3 وكربيد السيليكونركائز كربيد السيليكون.
وقت النشر: 28 فبراير 2022