إعادة بلورتهاسيراميك كربيد السيليكون (RSiC).منطقةمادة سيراميك عالية الأداء. نظرًا لمقاومته الممتازة لدرجات الحرارة العالية، ومقاومة الأكسدة، ومقاومة التآكل والصلابة العالية، فقد تم استخدامه على نطاق واسع في العديد من المجالات، مثل تصنيع أشباه الموصلات، وصناعة الخلايا الكهروضوئية، وأفران درجة الحرارة العالية، والمعدات الكيميائية. مع الطلب المتزايد على المواد عالية الأداء في الصناعة الحديثة، يتعمق البحث والتطوير لسيراميك كربيد السيليكون المعاد بلورته.
1. تكنولوجيا تحضيرسيراميك كربيد السيليكون المعاد بلورته
تكنولوجيا إعداد إعادة بلورتهاسيراميك كربيد السيليكونيتضمن بشكل رئيسي طريقتين: تلبيد المسحوق وترسيب البخار (CVD). من بينها، طريقة تلبيد المسحوق هي تلبيد مسحوق كربيد السيليكون تحت بيئة ذات درجة حرارة عالية بحيث تشكل جزيئات كربيد السيليكون بنية كثيفة من خلال الانتشار وإعادة البلورة بين الحبوب. تتمثل طريقة الترسيب البخاري في ترسيب كربيد السيليكون على سطح الركيزة من خلال تفاعل البخار الكيميائي عند درجة حرارة عالية، وبالتالي تشكيل طبقة كربيد السيليكون عالية النقاء أو الأجزاء الهيكلية. هاتين التقنيتين لهما مزاياهما الخاصة. طريقة تلبيد المسحوق مناسبة للإنتاج على نطاق واسع ولها تكلفة منخفضة، في حين أن طريقة ترسيب البخار يمكن أن توفر نقاء أعلى وبنية أكثر كثافة، وتستخدم على نطاق واسع في مجال أشباه الموصلات.
2. خصائص الموادسيراميك كربيد السيليكون المعاد بلورته
السمة المميزة لسيراميك كربيد السيليكون المعاد بلورته هي أدائه الممتاز في البيئات ذات درجات الحرارة المرتفعة. درجة انصهار هذه المادة تصل إلى 2700 درجة مئوية، ولها قوة ميكانيكية جيدة عند درجات الحرارة العالية. بالإضافة إلى ذلك، يتمتع كربيد السيليكون المعاد بلورته أيضًا بمقاومة ممتازة للأكسدة ومقاومة للتآكل، ويمكن أن يظل مستقرًا في البيئات الكيميائية القاسية. لذلك، تم استخدام سيراميك RSiC على نطاق واسع في مجالات الأفران ذات درجة الحرارة العالية، والمواد المقاومة للحرارة ذات درجة الحرارة العالية، والمعدات الكيميائية.
بالإضافة إلى ذلك، يتمتع كربيد السيليكون المعاد بلورته بموصلية حرارية عالية ويمكنه توصيل الحرارة بشكل فعال، مما يجعله ذا قيمة تطبيقية مهمة فيمفاعلات MOCVDومعدات المعالجة الحرارية في تصنيع رقائق أشباه الموصلات. تضمن الموصلية الحرارية العالية ومقاومة الصدمات الحرارية التشغيل الموثوق للمعدات في ظل الظروف القاسية.
3. مجالات تطبيق سيراميك كربيد السيليكون المعاد بلورته
تصنيع أشباه الموصلات: في صناعة أشباه الموصلات، يتم استخدام سيراميك كربيد السيليكون المعاد بلورته لتصنيع الركائز والدعامات في مفاعلات MOCVD. نظرًا لمقاومتها لدرجات الحرارة العالية، ومقاومة التآكل، والتوصيل الحراري العالي، يمكن لمواد RSiC الحفاظ على أداء مستقر في بيئات التفاعل الكيميائي المعقدة، مما يضمن جودة وإنتاجية رقائق أشباه الموصلات.
صناعة الخلايا الكهروضوئية: في صناعة الخلايا الكهروضوئية، يتم استخدام RSiC لتصنيع الهيكل الداعم لمعدات نمو البلورات. نظرًا لأن نمو البلورات يجب أن يتم عند درجة حرارة عالية أثناء عملية تصنيع الخلايا الكهروضوئية، فإن المقاومة الحرارية لكربيد السيليكون المعاد بلورته تضمن التشغيل المستقر على المدى الطويل للمعدات.
الأفران ذات درجة الحرارة العالية: يستخدم سيراميك RSiC أيضًا على نطاق واسع في الأفران ذات درجة الحرارة العالية، مثل بطانات ومكونات أفران التفريغ، وأفران الصهر وغيرها من المعدات. إن مقاومتها للصدمات الحرارية ومقاومة الأكسدة تجعلها واحدة من المواد التي لا يمكن الاستغناء عنها في الصناعات ذات درجات الحرارة العالية.
4. الاتجاه البحثي لسيراميك كربيد السيليكون المعاد بلورته
مع تزايد الطلب على المواد عالية الأداء، أصبح الاتجاه البحثي لسيراميك كربيد السيليكون المعاد بلورته واضحًا تدريجيًا. وسوف تركز البحوث المستقبلية على الجوانب التالية:
تحسين نقاء المواد: من أجل تلبية متطلبات النقاء الأعلى في مجالات أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية، يستكشف الباحثون طرقًا لتحسين نقاء RSiC من خلال تحسين تقنية ترسيب البخار أو إدخال مواد خام جديدة، وبالتالي تعزيز قيمة تطبيقها في هذه المجالات عالية التقنية. .
تحسين البنية المجهرية: من خلال التحكم في ظروف التلبيد وتوزيع جزيئات المسحوق، يمكن تحسين البنية المجهرية لكربيد السيليكون المعاد بلورته بشكل أكبر، وبالتالي تحسين خواصه الميكانيكية ومقاومته للصدمات الحرارية.
المواد المركبة الوظيفية: من أجل التكيف مع بيئات الاستخدام الأكثر تعقيدًا، يحاول الباحثون دمج RSiC مع مواد أخرى لتطوير مواد مركبة ذات خصائص متعددة الوظائف، مثل المواد المركبة القائمة على كربيد السيليكون المعاد بلورتها ذات مقاومة أعلى للتآكل والتوصيل الكهربائي.
5. الاستنتاج
باعتباره مادة عالية الأداء، تم استخدام سيراميك كربيد السيليكون المعاد بلورته على نطاق واسع في العديد من المجالات نظرًا لخصائصه الممتازة في درجات الحرارة العالية ومقاومة الأكسدة ومقاومة التآكل. سوف تركز الأبحاث المستقبلية على تحسين نقاء المواد، وتحسين البنية المجهرية، وتطوير المواد الوظيفية المركبة لتلبية الاحتياجات الصناعية المتزايدة. ومن خلال هذه الابتكارات التكنولوجية، من المتوقع أن يلعب سيراميك كربيد السيليكون المعاد بلورته دورًا أكبر في مجالات التكنولوجيا المتقدمة.
وقت النشر: 24 أكتوبر 2024