أثناء عملية تنضيد مرحلة البخار (VPE)، يتمثل دور القاعدة في دعم الركيزة وضمان تسخين موحد أثناء عملية النمو. أنواع مختلفة من الركائز مناسبة لظروف النمو وأنظمة المواد المختلفة. فيما يلي بعض أنواع الركائز شائعة الاستخدام في مرحلة البخارنفوق:
قاعدة برميل
تُستخدم قواعد البرميل بشكل شائع في أنظمة الطور البخاري الأفقي أو المائل. يمكنهم الاحتفاظ بالركيزة والسماح للغاز بالتدفق فوق الركيزة، مما يساعد على تحقيق نمو فوقي موحد.
قاعدة على شكل قرص (قاعدة عمودية)
تعتبر الركائز على شكل قرص مناسبة لأنظمة الطور البخاري الرأسي، حيث يتم وضع الركيزة عموديًا. يساعد هذا التصميم على تقليل منطقة الاتصال بين الركيزة والمستقبل، وبالتالي تقليل فقدان الحرارة والتلوث المحتمل.
قابلية أفقية
المستقبلات الأفقية أقل شيوعًا في مرحلة البخار، ولكن يمكن استخدامها في بعض أنظمة النمو المحددة للسماح بالنمو الفوقي في الاتجاه الأفقي.
متجانسة رد الفعل الفوقي
تم تصميم مُستقبل التفاعل الفوقي المتجانس لركيزة واحدة، والتي يمكن أن توفر تحكمًا أكثر دقة في درجة الحرارة وعزلًا حراريًا أفضل، ومناسبًا لنمو الطبقات الفوقي عالية الجودة.
مرحبا بكم في موقعنا على الانترنت للحصول على معلومات المنتج والتشاور.
موقعنا على الانترنت: https://www.vet-china.com/
وقت النشر: 30 يوليو 2024