أهداف الاخرقتستخدم بشكل رئيسي في صناعات الإلكترونيات والمعلومات، مثل الدوائر المتكاملة، وتخزين المعلومات، وشاشات الكريستال السائل، وذاكرات الليزر، وأجهزة التحكم الإلكترونية، وما إلى ذلك. ويمكن استخدامها أيضًا في مجال طلاء الزجاج، وكذلك في مقاومة التآكل المواد، مقاومة درجات الحرارة العالية للتآكل، منتجات الديكور الراقية وغيرها من الصناعات.
يعد الرش أحد الأساليب الرئيسية لتحضير مواد الأغشية الرقيقة.ويستخدم الأيونات الناتجة عن مصادر الأيونات لتسريعها وتجميعها في الفراغ لتشكيل حزم أيونية طاقة عالية السرعة، وقصف السطح الصلب، وتبادل الطاقة الحركية بين الأيونات وذرات السطح الصلب. تترك الذرات الموجودة على السطح الصلب المادة الصلبة وتترسب على سطح الركيزة. المادة الصلبة المقذوفة هي المادة الخام لترسيب الأغشية الرقيقة عن طريق الرش، وهو ما يسمى هدف الرش. تم استخدام أنواع مختلفة من مواد الأغشية الرقيقة المتناثرة على نطاق واسع في دوائر أشباه الموصلات المتكاملة، ووسائط التسجيل، وشاشات العرض المسطحة، وطلاءات أسطح قطع العمل.
من بين جميع الصناعات التطبيقية، تتمتع صناعة أشباه الموصلات بمتطلبات الجودة الأكثر صرامة لأفلام الرش المستهدفة. تُستخدم أهداف الرش المعدنية عالية النقاء بشكل أساسي في تصنيع الرقاقات وعمليات التعبئة والتغليف المتقدمة. بأخذ تصنيع الرقائق كمثال، يمكننا أن نرى أنه من رقاقة السيليكون إلى الشريحة، فإنه يحتاج إلى المرور عبر 7 عمليات إنتاج رئيسية، وهي الانتشار (العملية الحرارية)، والطباعة الحجرية الضوئية (الطباعة الحجرية الضوئية)، والحفر (الحفر)، زرع الأيونات (IonImplant)، ونمو الأغشية الرقيقة (ترسيب العزل الكهربائي)، والتلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP)، والتعدين (التعدين) تتوافق العمليات واحدة تلو الأخرى. يتم استخدام هدف الاخرق في عملية "التمعدن". يتم قصف الهدف بجزيئات عالية الطاقة بواسطة معدات ترسيب الأغشية الرقيقة ومن ثم يتم تشكيل طبقة معدنية ذات وظائف محددة على رقاقة السيليكون، مثل الطبقة الموصلة والطبقة الحاجزة. انتظر. بما أن عمليات أشباه الموصلات بأكملها متنوعة، فإن هناك حاجة إلى بعض المواقف العرضية للتحقق من وجود النظام بشكل صحيح، لذلك نطالب ببعض أنواع المواد الوهمية في مراحل معينة من الإنتاج للتأكد من التأثيرات.
وقت النشر: 17 يناير 2022