متطلبات صناعة أشباه الموصلات من متطلبات مواد الجرافيت مرتفعة بشكل خاص، وحجم الجسيمات الدقيقة من الجرافيت لديه دقة عالية، ومقاومة درجات الحرارة العالية، وقوة عالية، وفقدان صغير ومزايا أخرى، مثل: قالب منتجات الجرافيت الملبد.نظرًا لأن معدات الجرافيت المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات (بما في ذلك السخانات وقوالبها الملبدة) مطلوبة لتحمل عمليات التسخين والتبريد المتكررة، من أجل إطالة عمر خدمة معدات الجرافيت، يُطلب عادةً أن تتمتع مواد الجرافيت المستخدمة بأداء مستقر ووظيفة تأثير مقاومة للحرارة.
01 ملحقات الجرافيت لنمو بلورات أشباه الموصلات
جميع العمليات المستخدمة لنمو بلورات أشباه الموصلات تعمل تحت درجة حرارة عالية وبيئة قابلة للتآكل. عادة ما تكون المنطقة الساخنة لفرن النمو البلوري مجهزة بمكونات جرافيت عالية النقاء مقاومة للحرارة والتآكل، مثل السخان، البوتقة، أسطوانة العزل، أسطوانة التوجيه، القطب الكهربائي، حامل البوتقة، صمولة القطب الكهربائي، إلخ.
يمكننا تصنيع جميع أجزاء الجرافيت لأجهزة إنتاج الكريستال، والتي يمكن توفيرها بشكل فردي أو في مجموعات، أو أجزاء الجرافيت المخصصة بأحجام مختلفة وفقًا لمتطلبات العملاء. يمكن قياس حجم المنتجات في الموقع، ويمكن أن يكون محتوى الرماد في المنتجات النهائية أقلمن 5 جزء في المليون.
02 ملحقات الجرافيت لطبقة أشباه الموصلات
تشير العملية الفوقي إلى نمو طبقة من مادة بلورية مفردة لها نفس ترتيب الشبكة مثل الركيزة الموجودة على الركيزة البلورية المفردة. في العملية الفوقي، يتم تحميل الرقاقة على قرص الجرافيت. يلعب أداء وجودة قرص الجرافيت دورًا حيويًا في جودة الطبقة الفوقية للرقاقة. في مجال الإنتاج الفوقي، هناك حاجة إلى الكثير من الجرافيت عالي النقاء وقاعدة الجرافيت عالية النقاء مع طلاء SIC.
تحتوي قاعدة الجرافيت الخاصة بشركتنا لطبقة أشباه الموصلات على مجموعة واسعة من التطبيقات، ويمكن أن تتطابق مع معظم المعدات شائعة الاستخدام في الصناعة، وتتميز بنقاء عالي، وطلاء موحد، وعمر خدمة ممتاز، ومقاومة كيميائية عالية وثبات حراري.
03 ملحقات الجرافيت لزراعة الأيونات
يشير زرع الأيونات إلى عملية تسريع شعاع البلازما من البورون والفوسفور والزرنيخ إلى طاقة معينة، ثم حقنها في الطبقة السطحية من مادة الرقاقة لتغيير خصائص مادة الطبقة السطحية. يجب أن تكون مكونات جهاز زرع الأيونات مصنوعة من مواد عالية النقاء مع مقاومة ممتازة للحرارة، وموصلية حرارية، وتآكل أقل ناتج عن شعاع الأيونات ومحتوى منخفض من الشوائب. يلبي الجرافيت عالي النقاء متطلبات التطبيق، ويمكن استخدامه لأنبوب الطيران، والشقوق المختلفة، والأقطاب الكهربائية، وأغطية الأقطاب الكهربائية، والقنوات، ووحدات إنهاء الشعاع، وما إلى ذلك من معدات زرع الأيونات.
لا يمكننا توفير غطاء حماية من الجرافيت لمختلف آلات زرع الأيونات فحسب، بل يمكننا أيضًا توفير أقطاب جرافيت عالية النقاء ومصادر أيونية ذات مقاومة عالية للتآكل بمواصفات مختلفة. الموديلات القابلة للتطبيق: Eaton، Azcelis، Quatum، Varian، Nissin، AMAT، LAM وغيرها من المعدات. بالإضافة إلى ذلك، يمكننا أيضًا توفير منتجات السيراميك والتنغستن والموليبدينوم والألومنيوم والأجزاء المطلية المتطابقة.
04 المواد العازلة من الجرافيت وغيرها
تشتمل مواد العزل الحراري المستخدمة في معدات إنتاج أشباه الموصلات على اللباد الصلب من الجرافيت واللباد الناعم ورقائق الجرافيت وورق الجرافيت وحبل الجرافيت.
جميع المواد الخام لدينا هي من الجرافيت المستورد، والذي يمكن قطعه وفقًا للحجم المحدد لمتطلبات العميل أو بيعه ككل.
يتم استخدام صينية الكربون-الكربون كحامل لتغليف الفيلم في عملية إنتاج خلايا السيليكون أحادية البلورة الشمسية وخلايا السيليكون متعددة البلورات. مبدأ العمل هو: أدخل شريحة السيليكون في صينية CFC وأرسلها إلى أنبوب الفرن لمعالجة طلاء الفيلم.
