የሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ ሽፋን ማሞቂያ

ቬት-ቻይናሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክሽፋን እጅግ በጣም ጠንካራ እና ለመልበስ መቋቋም የሚችል ከፍተኛ አፈፃፀም ያለው የመከላከያ ሽፋን ነው።ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ)እጅግ በጣም ጥሩ የኬሚካል ዝገት መቋቋም እና ከፍተኛ ሙቀት መረጋጋትን የሚሰጥ ቁሳቁስ። እነዚህ ባህሪያት በሴሚኮንዳክተር ምርት ውስጥ ወሳኝ ናቸው, ስለዚህየሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ ሽፋንበሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ቁልፍ ክፍሎች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል.

የቬት-ቻይና ልዩ ሚናሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክበሴሚኮንዳክተር ምርት ውስጥ ሽፋን እንደሚከተለው ነው-

የመሳሪያውን ዘላቂነት ማሻሻል;የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ሽፋን የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ሽፋን ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬ እና የመልበስ መከላከያ በጣም ጥሩ የሆነ የገጽታ ጥበቃን ይሰጣል። በተለይም ከፍተኛ ሙቀት ባለው እና በጣም በሚበላሹ የሂደት አካባቢዎች ውስጥ እንደ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (ሲቪዲ) እና የፕላዝማ ኢቲንግ ሽፋኑ የመሳሪያውን ወለል በኬሚካል መሸርሸር ወይም በአካላዊ ማልበስ ምክንያት እንዳይጎዳ ውጤታማ በሆነ መንገድ ይከላከላል ፣ በዚህም የአገልግሎት ህይወቱን በከፍተኛ ሁኔታ ያራዝመዋል። መሳሪያውን እና በተደጋጋሚ መተካት እና ጥገና ምክንያት የሚከሰተውን የእረፍት ጊዜ መቀነስ.

የሂደቱን ንፅህና ማሻሻል;በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ, ጥቃቅን ብክለት የምርት ጉድለቶችን ሊያስከትል ይችላል. የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ሽፋን ኬሚካላዊ አለመመጣጠን በአስከፊ ሁኔታዎች ውስጥ ተረጋግቶ እንዲቆይ ያስችለዋል, ቁሱ ቅንጣቶችን ወይም ቆሻሻዎችን እንዳይለቁ ይከላከላል, በዚህም የሂደቱን የአካባቢ ንፅህና ያረጋግጣል. ይህ በተለይ እንደ PECVD እና ion implantation ያሉ ከፍተኛ ትክክለኛነትን እና ከፍተኛ ንፅህናን ለሚጠይቁ የማምረት ደረጃዎች በጣም አስፈላጊ ነው።

የሙቀት አስተዳደርን ያሻሽሉ;እንደ ፈጣን የሙቀት ማቀነባበሪያ (RTP) እና ኦክሳይድ ሂደቶች ከፍተኛ ሙቀት ባለው ሴሚኮንዳክተር ሂደት ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ሽፋን ከፍተኛ የሙቀት መጠን በመሣሪያው ውስጥ ወጥ የሆነ የሙቀት ስርጭት እንዲኖር ያስችላል። ይህ የሙቀት ጭንቀትን እና በሙቀት መለዋወጥ ምክንያት የሚከሰተውን የቁሳቁስ መበላሸትን ለመቀነስ ይረዳል, በዚህም የምርት ትክክለኛነትን እና ወጥነትን ያሻሽላል.

ውስብስብ የሂደት አካባቢዎችን ይደግፉ;እንደ ICP etching እና PSS etching ሂደቶችን የመሳሰሉ ውስብስብ የከባቢ አየር መቆጣጠሪያን በሚጠይቁ ሂደቶች ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ሽፋን መረጋጋት እና ኦክሳይድ የመቋቋም ችሎታ መሳሪያው ለረጅም ጊዜ በሚሠራበት ጊዜ የተረጋጋ አፈፃፀም እንዲቆይ ያደርገዋል, ይህም የቁሳቁስ መበላሸት ወይም የመሳሪያ ጉዳት አደጋን ይቀንሳል. ወደ አካባቢያዊ ለውጦች.