የሲሲ ሽፋን ግራፋይት MOCVD Wafer ተሸካሚዎች፣ ግራፋይት ጥርጣሬዎች ለሲሲ ኤፒታክሲ,
ካርቦን ተጠርጣሪዎችን ያቀርባል, ግራፋይት epitaxy susceptors, ግራፋይት ድጋፍ substrates, MOCVD Susceptor, ሲሲ ኤፒታክሲ, Wafer Susceptors,
የእኛ በሲሲ-የተሸፈኑ ግራፋይት ጥርጣሬዎች ልዩ ጥቅሞች እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ፣ ተመሳሳይ ሽፋን እና በጣም ጥሩ የአገልግሎት ሕይወት ያካትታሉ። በተጨማሪም ከፍተኛ የኬሚካል መከላከያ እና የሙቀት መረጋጋት ባህሪያት አላቸው.
ለሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች የግራፋይት ንጣፍ የሲሲ ሽፋን የላቀ ንፅህና ያለው እና ከባቢ አየርን ኦክሳይድ የመቋቋም ችሎታ ያለው ክፍል ይፈጥራል።
CVD SiC ወይም CVI SiC በቀላል ወይም ውስብስብ የንድፍ ክፍሎች ግራፋይት ላይ ይተገበራል። ሽፋን በተለያየ ውፍረት እና በጣም ትልቅ በሆኑ ክፍሎች ላይ ሊተገበር ይችላል.
ባህሪያት፡
· እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም
· እጅግ በጣም ጥሩ የአካል ድንጋጤ መቋቋም
· እጅግ በጣም ጥሩ የኬሚካል መቋቋም
· ልዕለ ከፍተኛ ንጽሕና
· በተወሳሰበ ቅርጽ መገኘት
· በኦክሳይዲንግ ከባቢ አየር ስር ጥቅም ላይ ሊውል የሚችል
ማመልከቻ፡-
የመሠረት ግራፋይት ቁሳቁስ የተለመዱ ባህሪዎች
ግልጽ ጥግግት፡ | 1.85 ግ / ሴሜ 3 |
የኤሌክትሪክ መቋቋም; | 11 μΩm |
ተለዋዋጭ ጥንካሬ; | 49 MPa (500kgf/ሴሜ 2) |
የባህር ዳርቻ ጥንካሬ; | 58 |
አመድ፡ | <5 ፒፒኤም |
የሙቀት መቆጣጠሪያ; | 116 ዋ/ኤምኬ (100 kcal/mhr-℃) |
ካርቦን ተጠርጣሪዎችን ያቀርባልእና የግራፋይት ክፍሎች ለሁሉም የአሁኑ ኤፒታክሲ ሬአክተሮች። የእኛ ፖርትፎሊዮ ለተግባራዊ እና ለኤልፒኢ ክፍሎች የበርሜል ተንጠልጣይ፣ የ LPE፣ CSD እና Gemini ክፍሎች የፓንኬክ ተንጠልጣይ፣ እና ነጠላ-ዋፈር ተንጠልጣይ ለተግባር እና ለኤኤስኤም ክፍሎች።ጠንካራ ሽርክናዎችን ከዋና የኦሪጂናል ዕቃ አምራቾች፣የቁሳቁስ እውቀት እና የማምረቻ ዕውቀት፣SGL ጋር በማጣመር ያካትታል። ለመተግበሪያዎ በጣም ጥሩውን ንድፍ ያቀርባል.