RTP/RTA SiC ሽፋን ተሸካሚ ለMOCVD ኤፒታክሲያል እድገት

አጭር መግለጫ፡-

VET Energy RTP/RTA SiC Coating Carrier ለረዥም ጊዜ ተከታታይ እና አስተማማኝ አፈጻጸምን ለማቅረብ የተነደፈ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው ምርት ነው። እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቋቋም እና የሙቀት ተመሳሳይነት ፣ ከፍተኛ ንፅህና ፣ የአፈር መሸርሸርን የመቋቋም ችሎታ አለው ፣ ይህም ለ wafer ማቀነባበሪያ መተግበሪያዎች ፍጹም መፍትሄ ያደርገዋል።


  • የትውልድ ቦታ:ቻይና
  • ክሪስታል መዋቅር;FCCβ ደረጃ
  • ጥግግት:3.21 ግ / ሴሜ
  • ጥንካሬ;2500 Vickers
  • የእህል መጠን;2 ~ 10 ማይክሮን
  • የኬሚካል ንፅህና;99.99995%
  • የሙቀት አቅም;640J·kg-1·K-1
  • Sublimation ሙቀት;2700 ℃
  • Felexural ጥንካሬ;415 Mpa (RT 4-ነጥብ)
  • የወጣት ሞዱሉስ;430 ጂፒኤ (4pt መታጠፍ፣ 1300 ℃)
  • የሙቀት መስፋፋት (ሲቲኢ)4.5 10-6 ኪ-1
  • የሙቀት መቆጣጠሪያ;300 (ወ/MK)
  • የምርት ዝርዝር

    የምርት መለያዎች

    SiC Coating Carrier ለ RTP/RTA በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ ፈጣን የሙቀት ማቀነባበሪያ እና አኒሊንግ ተብሎ የሚጠራው ቁልፍ አካል ነው ፣የእኛ የፈጠራ ባለቤትነት ቴክኖሎጂን በመጠቀም የሲሊኮን ካርቦዳይድ ተሸካሚውን እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ፣ ጥሩ ሽፋን ያለው ተመሳሳይነት እና እጅግ በጣም ጥሩ የአገልግሎት ሕይወት ፣ እንዲሁም ከፍተኛ የኬሚካል መከላከያ እና የሙቀት መረጋጋት ባህሪያት.

    የእኛ ምርቶች ባህሪያት:

    1. ከፍተኛ የሙቀት መጠን ኦክሳይድ መቋቋም እስከ 1700 ℃.
    2. ከፍተኛ ንፅህና እና የሙቀት ተመሳሳይነት
    3. እጅግ በጣም ጥሩ የዝገት መቋቋም: አሲድ, አልካሊ, ጨው እና ኦርጋኒክ reagents.

    4. ከፍተኛ ጥንካሬ, የታመቀ ገጽ, ጥቃቅን ቅንጣቶች.
    5. ረጅም የአገልግሎት ሕይወት እና የበለጠ ዘላቂ

    ሲቪዲ SiC薄膜基本物理性能

    የሲቪዲ ሲሲ መሰረታዊ አካላዊ ባህሪያትሽፋን

    性质 / ንብረት

    典型数值 / የተለመደ እሴት

    晶体结构 / ክሪስታል መዋቅር

    FCC β ደረጃ多晶፣主要为(111) 取向

    密度 / ጥግግት

    3.21 ግ/ሴሜ³

    硬度 / ጥንካሬ

    2500 ግ (500 ግ ጭነት)

    晶粒大小 / እህል SiZe

    2 ~ 10 ማይክሮን

    纯度 / የኬሚካል ንፅህና

    99.99995%

    热容 / የሙቀት አቅም

    640 ኪ.ግ-1· ኬ-1

    升华温度 / Sublimation የሙቀት

    2700 ℃

    抗弯强度 / ተለዋዋጭ ጥንካሬ

    415 MPa RT 4-ነጥብ

    杨氏模量 / የወጣት ሞዱሉስ

    430 ጂፒኤ 4 ፒት መታጠፍ፣ 1300 ℃

    导热系数 / ቴርማኤልምግባር

    300 ዋ · ሜትር-1· ኬ-1

    热膨胀系数 የሙቀት መስፋፋት (ሲቲኢ)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    VET ኢነርጂ እንደ ሲሲ ሽፋን ፣ ታሲ ሽፋን ፣ ብርጭቆ የካርቦን ሽፋን ፣ ፒሮሊቲክ የካርቦን ሽፋን ፣ ወዘተ ያሉ የተለያዩ ሽፋን ያላቸው ብጁ ግራፋይት እና የሲሊኮን ካርቦዳይድ ምርቶች እውነተኛ አምራች ነው ፣ ለሴሚኮንዳክተር እና ለፎቶቮልታይክ ኢንዱስትሪ የተለያዩ ብጁ ክፍሎችን ማቅረብ ይችላል።

    የእኛ የቴክኒክ ቡድን ከከፍተኛ የሀገር ውስጥ የምርምር ተቋማት የመጣ ነው, ለእርስዎ የበለጠ ሙያዊ የቁሳቁስ መፍትሄዎችን ሊያቀርብልዎ ይችላል.

    እኛ በቀጣይነት የላቁ ሂደቶችን በማዳበር የላቁ ቁሶችን እናቀርባለን እና ልዩ የፈጠራ ባለቤትነት ያለው ቴክኖሎጂ ሠርተናል፣ይህም በሽፋኑ እና በተቀባዩ መካከል ያለውን ትስስር የበለጠ ጥብቅ እና ለመጥፋት የተጋለጠ ያደርገዋል።

    ፋብሪካችንን እንድትጎበኙ በአክብሮት እንኳን ደህና መጣችሁ ፣ የበለጠ እንወያይ!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • ቀዳሚ፡
  • ቀጣይ፡-

  • WhatsApp የመስመር ላይ ውይይት!