በኋላዋፈርበቀድሞው ሂደት ውስጥ አልፏል, የቺፕ ዝግጅቱ ተጠናቅቋል, እና ቺፖችን በቫፈር ላይ ለመለየት መቁረጥ እና በመጨረሻም ማሸግ ያስፈልጋል. የዋፈርለተለያዩ ውፍረትዎች ለዋፋዎች የተመረጠው የመቁረጥ ሂደት እንዲሁ የተለየ ነው-
▪ዋፈርስከ 100um በላይ ውፍረት ያለው ውፍረት በአጠቃላይ በቢላዎች የተቆራረጡ ናቸው;
▪ዋፈርስከ 100um ባነሰ ውፍረት በአጠቃላይ በሌዘር የተቆራረጡ ናቸው. ሌዘር መቆራረጥ የመቧጨር እና የመቧጨር ችግሮችን ሊቀንስ ይችላል, ነገር ግን ከ 100um በላይ በሚሆንበት ጊዜ, የምርት ቅልጥፍና በጣም ይቀንሳል;
▪ዋፈርስከ 30 ሚሜ ያነሰ ውፍረት በፕላዝማ የተቆረጠ ነው. የፕላዝማ መቆረጥ ፈጣን እና የቫፈርን ገጽታ አይጎዳውም, በዚህም ምርቱን ያሻሽላል, ነገር ግን ሂደቱ የበለጠ የተወሳሰበ ነው;
በቫፈር መቁረጫ ሂደት ውስጥ, ደህንነቱ የተጠበቀ "singling" ለማረጋገጥ አንድ ፊልም በቅድሚያ በቫፈር ላይ ይተገበራል. ዋናዎቹ ተግባራቶቹ የሚከተሉት ናቸው።
ማሰሮውን ያስተካክሉ እና ይጠብቁ
በዲዲንግ ኦፕሬሽን ወቅት ቫውቸር በትክክል መቁረጥ ያስፈልጋል.ዋፈርስብዙውን ጊዜ ቀጭን እና ተሰባሪ ናቸው. የአልትራቫዮሌት ቴፕ በቆርቆሮው ወቅት ቫፈርን ከመቀያየር እና ከመንቀጥቀጥ ለመከላከል ቫፈርን በፍሬም ወይም በቫፈር ደረጃ ላይ በጥብቅ ሊጣበቅ ይችላል ፣ ይህም የመቁረጥን ትክክለኛነት እና ትክክለኛነት ያረጋግጣል ።
ለ wafer ጥሩ አካላዊ ጥበቃ ሊሰጥ ይችላል, በ ላይ ጉዳት እንዳይደርስበትዋፈርበውጫዊ የኃይል ተጽእኖ እና በመቁረጥ ሂደት ውስጥ ሊከሰቱ በሚችሉ ግጭቶች, እንደ ስንጥቆች, የጠርዝ ውድቀት እና ሌሎች ጉድለቶች, እና በቫፈር ላይ ያለውን ቺፕ መዋቅር እና ወረዳን ይከላከላሉ.
ምቹ የመቁረጥ አሠራር
የአልትራቫዮሌት ቴፕ ተስማሚ የመለጠጥ እና የመተጣጠፍ ችሎታ ያለው ሲሆን የመቁረጫው ምላጭ ሲቆረጥ በመጠኑ ሊበላሽ ይችላል ፣ የመቁረጥ ሂደቱን ለስላሳ ያደርገዋል ፣ በቆርቆሮው እና በቫፈር ላይ የመቋቋም ችሎታን በመቀነስ እና የመቁረጥን ጥራት እና የአገልግሎት ህይወት ለማሻሻል ይረዳል ። ስለት. የገጽታ ባህሪያቱ በመቁረጥ የሚፈጠረውን ፍርስራሾች ዙሪያውን ሳትረጭ በተሻለ ሁኔታ በቴፕ ላይ እንዲጣበቅ ያስችለዋል ፣ይህም ለቀጣይ የመቁረጫ ቦታን ለማፅዳት ፣የስራ አካባቢን በአንፃራዊነት ንፁህ ለማድረግ እና ፍርስራሹን በቫፈር እና በሌሎች መሳሪያዎች ውስጥ ጣልቃ እንዳይገባ ይከላከላል ። .
በኋላ ለመያዝ ቀላል
የ wafer ከተቆረጠ በኋላ የ UV ቴፕ በፍጥነት viscosity ውስጥ ሊቀነስ ወይም የተወሰነ የሞገድ ርዝመት እና ጥንካሬ ያለውን አልትራቫዮሌት ብርሃን ጋር irradiating በማድረግ ሙሉ በሙሉ ሊጠፋ ይችላል, ስለዚህ የተቆረጠ ቺፕ በቀላሉ በቀጣይነት ምቹ ነው, ይህም ቴፕ, ከ ሊለያይ ይችላል. ቺፕ ማሸጊያ, ሙከራ እና ሌሎች የሂደት ፍሰቶች, እና ይህ የመለየት ሂደት ቺፑን የመጉዳት እድሉ በጣም ዝቅተኛ ነው.
የልጥፍ ጊዜ፡- ዲሴ-16-2024