በደረቁ ማሳከክ ወቅት የጎን ግድግዳዎች ለምን ይታጠፉ?

የ ion bombardment አለመመጣጠን

ደረቅማሳከክአብዛኛውን ጊዜ አካላዊ እና ኬሚካላዊ ተጽእኖዎችን የሚያጣምር ሂደት ነው, በዚህ ውስጥ ion bombarding አስፈላጊ የአካል ማሳከክ ዘዴ ነው. ወቅትየማሳከክ ሂደት, የክስተቱ አንግል እና የኢነርጂ ስርጭት ionዎች ያልተስተካከሉ ሊሆኑ ይችላሉ.

የ ion ክስተት አንግል በጎን ግድግዳው ላይ በተለያየ ቦታ ላይ የተለያየ ከሆነ በጎን ግድግዳው ላይ የ ions የማሳከክ ውጤትም የተለየ ይሆናል. ትላልቅ ion የክስተቶች ማዕዘኖች ባለባቸው ቦታዎች በጎን በኩል ionዎች የሚያሳድሩት ተጽእኖ የበለጠ ጠንካራ ነው, ይህም በዚህ ቦታ ላይ ያለው የጎን ግድግዳ የበለጠ እንዲቀረጽ ያደርገዋል, ይህም የጎን ግድግዳው እንዲታጠፍ ያደርገዋል. በተጨማሪም የ ion ኢነርጂ እኩል ያልሆነ ስርጭትም ተመሳሳይ ውጤት ያስገኛል. ከፍተኛ ኃይል ያላቸው ionዎች ቁሶችን በብቃት ማስወገድ ይችላሉ, በዚህም ምክንያት ወጥነት የለውምማሳከክየጎን ግድግዳዎች በተለያየ አቀማመጥ ላይ ያሉ ዲግሪዎች, ይህ ደግሞ የጎን ግድግዳው እንዲታጠፍ ያደርገዋል.

የ photoresist ተጽእኖ

Photoresist በደረቁ ማሳከክ ውስጥ የማስክን ሚና ይጫወታል, መቅረጽ የማያስፈልጋቸው ቦታዎችን ይከላከላል. ይሁን እንጂ ፎቶሪሲስቱ በፕላዝማ ቦምብ እና በኬሚካላዊ ምላሾች በፅንሱ ሂደት ውስጥ ተፅዕኖ አለው, እና አፈፃፀሙ ሊለወጥ ይችላል.

የ photoresist ውፍረት ያልተስተካከለ ከሆነ, የፍጆታ ሂደት ውስጥ ያለውን የፍጆታ መጠን ወጥነት የጎደለው ነው, ወይም photoresist እና substrate መካከል ያለውን ታደራለች በተለያዩ ቦታዎች ላይ የተለየ ከሆነ, ይህ ንደሚላላጥ ሂደት ወቅት የጎን ግድግዳዎች መካከል ያልተስተካከለ ጥበቃ ሊያስከትል ይችላል. ለምሳሌ፣ ቀጫጭን የፎቶሪሲስት ወይም የተዳከመ ማጣበቂያ ያላቸው ቦታዎች የታችኛውን ቁሳቁስ በቀላሉ እንዲቀረጹ ሊያደርግ ይችላል፣ ይህም የጎን ግድግዳዎች በእነዚህ ቦታዎች ላይ እንዲታጠፉ ያደርጋል።

በንጥረ ነገሮች ባህሪያት ውስጥ ያሉ ልዩነቶች

የተቀረጸው የከርሰ ምድር ቁሳቁስ ራሱ እንደ የተለያዩ የክሪስታል አቅጣጫዎች እና በተለያዩ ክልሎች ውስጥ ያሉ የዶፒንግ ውህዶች ያሉ የተለያዩ ባህሪያት ሊኖራቸው ይችላል። እነዚህ ልዩነቶች የማሳከክ ፍጥነት እና የመተጣጠፍ ምርጫ ላይ ተጽእኖ ያሳድራሉ.
ለምሳሌ ፣በክሪስታል ሲሊኮን ውስጥ ፣የሲሊኮን አተሞች በተለያዩ ክሪስታሎች አቅጣጫዎች ውስጥ ያሉ ዝግጅቶች የተለያዩ ናቸው ፣ እና የእነሱ ምላሽ እና የማስለቀቅ ጋዝ ከኤክሳይድ ጋዝ ጋር እንዲሁ የተለየ ይሆናል። በማሳለጥ ሂደት ውስጥ, በቁሳዊ ባህሪያት ልዩነት ምክንያት የሚፈጠሩት የተለያዩ የማሳከክ መጠኖች በተለያዩ ቦታዎች ላይ የሚገኙትን የጎን ግድግዳዎች ጥልቀት የማይጣጣሙ ሲሆን በመጨረሻም ወደ ጎን ግድግዳ ማጠፍ.

ከመሳሪያዎች ጋር የተያያዙ ምክንያቶች

የማስተካከያ መሳሪያዎች አፈፃፀም እና ሁኔታም በችግኝት ውጤቶች ላይ ጠቃሚ ተጽእኖ ይኖራቸዋል. ለምሳሌ፣ እንደ ምላሽ ክፍል ውስጥ ያልተስተካከለ የፕላዝማ ስርጭት እና ያልተስተካከለ የኤሌክትሮድ ማልበስ ያሉ ችግሮች እንደ ion density እና ጉልበት ባሉበት ወቅት በዋፈር ወለል ላይ ያሉ መለኪያዎችን ወደ ያልተስተካከለ ስርጭት ሊመሩ ይችላሉ።

በተጨማሪም የመሳሪያው ያልተስተካከለ የሙቀት ቁጥጥር እና የጋዝ ፍሰት መጠነኛ መለዋወጥ የኢንፌክሽን ወጥነት ላይ ተጽእኖ ሊያሳድር ይችላል ይህም ወደ የጎን ግድግዳ መታጠፍ ያስከትላል።