የኬሚካል ትነት ክምችት (ሲቪዲ) በሲሊኮን ሽፋን ላይ ጠንካራ ፊልም የማስቀመጥ ሂደትን ያመለክታልዋፈርበጋዝ ድብልቅ ኬሚካላዊ ምላሽ. እንደ የተለያዩ የምላሽ ሁኔታዎች (ግፊት, ቀዳሚ) ወደ ተለያዩ የመሳሪያዎች ሞዴሎች ሊከፋፈል ይችላል.
እነዚህ ሁለት መሳሪያዎች ምን ዓይነት ሂደቶች ጥቅም ላይ ይውላሉ?
ፒኢሲቪዲ(ፕላዝማ የተሻሻለ) መሳሪያዎች በ OX, Nitride, metal Gate, amorphous carbon, ወዘተ ጥቅም ላይ የሚውሉ በጣም ብዙ እና በብዛት ጥቅም ላይ ይውላሉ. LPCVD (ዝቅተኛ ኃይል) ብዙውን ጊዜ በ Nitride, poly, TEOS ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል.
መርህ ምንድን ነው?
PECVD - የፕላዝማ ኢነርጂን እና ሲቪዲን በትክክል የሚያጣምር ሂደት። የPECVD ቴክኖሎጂ ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ያለው ፕላዝማ በመጠቀም በዝቅተኛ ግፊት በሂደቱ ክፍል ውስጥ ባለው ካቶድ (ለምሳሌ ናሙና ትሪ) ላይ ፍካት እንዲፈጠር ያደርጋል። ይህ የሚያብረቀርቅ ፈሳሽ ወይም ሌላ ማሞቂያ መሳሪያ የናሙናውን የሙቀት መጠን ወደ ተወሰነ ደረጃ ከፍ ሊያደርግ ይችላል, ከዚያም ቁጥጥር የሚደረግበት የሂደት ጋዝ መጠን ያስተዋውቃል. ይህ ጋዝ ተከታታይ የኬሚካላዊ እና የፕላዝማ ግብረመልሶችን ያካሂዳል, እና በመጨረሻም በናሙናው ወለል ላይ ጠንካራ ፊልም ይፈጥራል.
LPCVD - ዝቅተኛ ግፊት ያለው የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (LPCVD) በሪአክተሩ ውስጥ ያለውን የምላሽ ጋዝ የስራ ጫና ወደ 133Pa ወይም ከዚያ በታች ለመቀነስ ታስቦ ነው።
የእያንዳንዳቸው ባህሪያት ምንድ ናቸው?
PECVD - የፕላዝማ ኢነርጂን እና ሲቪዲን በትክክል የሚያጣምር ሂደት: 1) ዝቅተኛ የሙቀት መጠን (በመሳሪያው ላይ ከፍተኛ የሙቀት መጠን እንዳይበላሽ ማድረግ); 2) ፈጣን የፊልም እድገት; 3) ስለ ቁሳቁሶች የማይመርጥ፣ ኦክስ፣ ናይትራይድ፣ የብረት በር፣ የማይመስል ካርቦን ሁሉም ሊያድግ ይችላል። 4) በቦታው ላይ የክትትል ስርዓት አለ, የምግብ አዘገጃጀቱን በ ion መለኪያዎች, በጋዝ ፍሰት መጠን, በሙቀት እና በፊልም ውፍረት ማስተካከል ይችላል.
LPCVD - በኤልፒሲቪዲ የተቀመጡ ስስ ፊልሞች የተሻለ የእርምጃ ሽፋን፣ ጥሩ ቅንብር እና መዋቅር ቁጥጥር፣ ከፍተኛ የማስቀመጫ መጠን እና ውፅዓት ይኖራቸዋል። በተጨማሪም LPCVD ተሸካሚ ጋዝ አይፈልግም, ስለዚህ የንጥረትን ብክለትን ምንጭ በእጅጉ ይቀንሳል እና በከፍተኛ ዋጋ በሚጨመሩ ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ለቀጭ ፊልም ማስቀመጫ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል.
ለተጨማሪ ውይይት እኛን እንዲጎበኙን ከመላው አለም የመጡ ማንኛውም ደንበኞች እንኳን ደህና መጣችሁ!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
የልጥፍ ሰዓት፡- ጁላይ-24-2024