የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን,በተለምዶ ሲሲ ሽፋን በመባል የሚታወቀው እንደ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (ሲቪዲ)፣ የአካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (PVD) ወይም የሙቀት ርጭት ባሉ ዘዴዎች የሲሊኮን ካርቦዳይድ ንጣፍን በንጣፎች ላይ የመተግበር ሂደትን ያመለክታል። ይህ የሲሊኮን ካርቦዳይድ ሴራሚክ ሽፋን ልዩ የመልበስ መቋቋምን፣ የሙቀት መረጋጋትን እና የዝገት መከላከያን በመስጠት የተለያዩ ንጣፎችን ገጽታ ያሻሽላል። ሲሲ ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ (በግምት 2700 ℃)፣ እጅግ ጠንካራነት (Mohs scale 9)፣ እጅግ በጣም ጥሩ የዝገት እና የኦክሳይድ መቋቋም እና ልዩ የሆነ የማስወገጃ አፈጻጸምን ጨምሮ በአካላዊ እና ኬሚካላዊ ባህሪያቱ ይታወቃል።
በኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ቁልፍ ጥቅሞች
በእነዚህ ባህሪያት ምክንያት የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን እንደ ኤሮስፔስ, የጦር መሳሪያዎች እና ሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ ባሉ መስኮች በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል. በጣም አስቸጋሪ በሆኑ አካባቢዎች፣ በተለይም በ1800-2000 ℃ ክልል ውስጥ፣ የሲሲ ሽፋን አስደናቂ የሙቀት መረጋጋት እና የመጥፋት መከላከያ ያሳያል፣ ይህም ለከፍተኛ ሙቀት አፕሊኬሽኖች ምቹ ያደርገዋል። ሆኖም የሲሊኮን ካርቦዳይድ ብቻ ለብዙ አፕሊኬሽኖች የሚያስፈልገው መዋቅራዊ ቅንጅት ስለጎደለው የመሸፈኛ ዘዴዎች የአካላትን ጥንካሬ ሳይጎዳ ልዩ ባህሪያቱን ለመጠቀም ጥቅም ላይ ይውላሉ። በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ያላቸው ንጥረ ነገሮች በMOCVD ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ በሚውሉ መሳሪያዎች ውስጥ አስተማማኝ ጥበቃ እና የአፈፃፀም መረጋጋት ይሰጣሉ።
ለሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ዝግጅት የተለመዱ ዘዴዎች
Ⅰ● የኬሚካል የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (ሲቪዲ) የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን
በዚህ ዘዴ የሲሲ ሽፋኖች የሚፈጠሩት ሜትልትሪክሎሮሲላን (MTS) እንደ ቅድመ ሁኔታ በሚሰራበት የምላሽ ክፍል ውስጥ substrates በማስቀመጥ ነው። በቁጥጥር ስር ባሉ ሁኔታዎች -በተለምዶ 950-1300 ° ሴ እና አሉታዊ ግፊት - MTS መበስበስን ያካሂዳል, እና የሲሊኮን ካርቦይድ ወለል ላይ ይቀመጣል. ይህ የሲቪዲ ሲሲ ሽፋን ሂደት በሴሚኮንዳክተር እና በኤሮስፔስ ዘርፎች ላሉ ከፍተኛ ትክክለኛነት አፕሊኬሽኖች ተስማሚ የሆነ ጥቅጥቅ ያለ ወጥ የሆነ ሽፋን እጅግ በጣም ጥሩ የሆነ ጥብቅነት ያለው መሆኑን ያረጋግጣል።
Ⅱ● ቀዳሚ ልወጣ ዘዴ (ፖሊመር ኢምፕሬግኒሽን እና ፒሮሊሲስ - ፒአይፒ)
ሌላው ውጤታማ የሲሊኮን ካርቦዳይድ የመርጨት ዘዴ የቅድመ-መቀየሪያ ዘዴ ነው, ይህም በቅድሚያ የተሰራውን ናሙና በሴራሚክ ቀዳሚ መፍትሄ ውስጥ ማስገባትን ያካትታል. የ impregnation ታንኩን ካጸዱ እና ሽፋኑን ከተጫኑ በኋላ ናሙናው እንዲሞቅ ይደረጋል, ይህም በሚቀዘቅዝበት ጊዜ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን እንዲፈጠር ያደርጋል. ይህ ዘዴ ወጥ የሆነ ሽፋን ውፍረት እና የተሻሻለ የመልበስ መቋቋም ለሚፈልጉ አካላት ተመራጭ ነው።
የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን አካላዊ ባህሪያት
የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ለኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች በጣም ተስማሚ የሆኑትን ባህሪያት ያሳያሉ. እነዚህ ንብረቶች የሚከተሉትን ያካትታሉ:
የሙቀት መጠን: 120-270 W / m · K
የሙቀት መስፋፋት Coefficient: 4.3 × 10^(-6)/ ኪ (በ20 ~ 800 ℃)
የኤሌክትሪክ መቋቋም: 10 ^5- 10 ^6Ω · ሴሜ
ጠንካራነት፡ Mohs ልኬት 9
የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን መተግበሪያዎች
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ለ MOCVD እና ሌሎች ከፍተኛ ሙቀት ሂደቶች እንደ ሬአክተሮች እና ተጠርጣሪዎች ያሉ ወሳኝ መሳሪያዎችን ይከላከላሉ, ይህም ሁለቱንም ከፍተኛ የሙቀት መከላከያ እና መረጋጋት ያቀርባል. በአይሮፕላን እና በመከላከያ ውስጥ, የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ማቅለሚያዎች ከፍተኛ ፍጥነት ያላቸውን ተፅእኖዎች እና ጎጂ አካባቢዎችን መቋቋም በሚገባቸው ክፍሎች ላይ ይተገበራሉ. በተጨማሪም ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ቀለም ወይም ሽፋኖች እንዲሁ በማምከን ሂደቶች ውስጥ ዘላቂነት በሚያስፈልጋቸው የህክምና መሳሪያዎች ላይ ሊጠቀሙበት ይችላሉ ።
የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ለምን ይምረጡ?
የአካል ክፍሎች ህይወትን በማራዘም የተረጋገጠ መዝገብ, የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋኖች የማይነፃፀር ጥንካሬ እና የሙቀት መረጋጋት ይሰጣሉ, ይህም ለረጅም ጊዜ አገልግሎት ወጪ ቆጣቢ ያደርጋቸዋል. የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋንን በመምረጥ ኢንዱስትሪዎች የጥገና ወጪዎችን በመቀነሱ, በተሻሻለ የመሳሪያዎች አስተማማኝነት እና የተሻሻለ የአሠራር ቅልጥፍናን ይጠቀማሉ.
ለምን VET ኢነርጂ ይምረጡ?
VET ENERGY በቻይና ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ምርቶች ፕሮፌሽናል አምራች እና ፋብሪካ ነው። ዋናው የሲሲ ሽፋን ምርቶች የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ሽፋን ማሞቂያ,ሲቪዲ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን MOCVD Susceptor, MOCVD ግራፋይት ተሸካሚ ከሲቪዲ ሲሲ ሽፋን ጋር, ሲሲ የተሸፈነ ግራፋይት ቤዝ ተሸካሚዎችለሴሚኮንዳክተር የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ግራፋይት ንጥረ ነገር ፣ለሴሚኮንዳክተር የሲሲ ሽፋን/የተሸፈነ የግራፋይት ንጣፍ/ትሪ, ሲቪዲ ሲሲ የተሸፈነ ካርቦን-ካርቦን የተቀናጀ የሲኤፍሲ ጀልባ ሻጋታ. VET ENERGY ለሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ የላቀ ቴክኖሎጂ እና የምርት መፍትሄዎችን ለማቅረብ ቁርጠኛ ነው። በቻይና የረጅም ጊዜ አጋርዎ ለመሆን በቅንነት ተስፋ እናደርጋለን።
የፖስታ ሰአት፡ ሴፕቴምበር-02-2023