የአንድ ክሪስታል እቶን ስድስት ስርዓቶች ምንድ ናቸው?

ነጠላ ክሪስታል እቶን ሀ የሚጠቀም መሳሪያ ነው።ግራፋይት ማሞቂያየ polycrystalline silicon ቁሳቁሶችን በማይነቃነቅ ጋዝ (አርጎን) አካባቢ ለማቅለጥ እና የ Czochralski ዘዴን በመጠቀም ያልተነጣጠሉ ነጠላ ክሪስታሎችን ለማምረት. እሱ በዋነኝነት ከሚከተሉት ስርዓቶች የተዋቀረ ነው-

የሜካኒካል ማስተላለፊያ ስርዓት

የሜካኒካል ማስተላለፊያ ስርዓት የነጠላ ክሪስታል እቶን መሰረታዊ ኦፕሬቲንግ ሲስተም ሲሆን ይህም በዋናነት የክሪስታል እንቅስቃሴን እና እንቅስቃሴን የመቆጣጠር ሃላፊነት አለበት።መስቀሎችየዘር ክሪስታሎች ማንሳት እና ማሽከርከር እና ማንሳት እና ማሽከርከርን ጨምሮመስቀሎች. የክሪስታል እድገት ሂደትን ለስላሳ እድገትን ለማረጋገጥ እንደ ክሪስታሎች እና ክሩክሎች አቀማመጥ ፣ ፍጥነት እና የማሽከርከር አንግል ያሉ መለኪያዎችን በትክክል ማስተካከል ይችላል። ለምሳሌ እንደ ዘር፣ አንገት፣ ትከሻ፣ የእኩል ዲያሜትር እድገትና ጅራት ባሉ የተለያዩ ክሪስታል የእድገት ደረጃዎች ውስጥ የክሪስታል እድገትን የሂደት መስፈርቶች ለማሟላት የዘር ክሪስታሎች እና ክሩክብልስ እንቅስቃሴ በዚህ ስርአት በትክክል መቆጣጠር ያስፈልጋል።

የማሞቂያ የሙቀት መቆጣጠሪያ ስርዓት

ይህ ሙቀትን ለማመንጨት እና በእቶኑ ውስጥ ያለውን የሙቀት መጠን በትክክል ለመቆጣጠር የሚያገለግለው ነጠላ ክሪስታል እቶን ዋና ዋና ስርዓቶች አንዱ ነው. እሱ በዋነኝነት እንደ ማሞቂያዎች ፣ የሙቀት ዳሳሾች እና የሙቀት መቆጣጠሪያዎች ያሉ አካላትን ያቀፈ ነው። ማሞቂያው ብዙውን ጊዜ እንደ ከፍተኛ-ንፅህና ግራፋይት ባሉ ቁሳቁሶች ነው. ተለዋጭ ጅረት ከተቀየረ እና አሁኑን ለመጨመር ከተቀነሰ በኋላ, ማሞቂያው በክርክሩ ውስጥ እንደ ፖሊሲሊኮን ያሉ የ polycrystalline ቁሳቁሶችን ለማቅለጥ ሙቀትን ያመነጫል. የሙቀት ዳሳሽ በእቶኑ ውስጥ ያለውን የሙቀት ለውጥ በእውነተኛ ጊዜ ይከታተላል እና የሙቀት ምልክቱን ወደ የሙቀት መቆጣጠሪያ ያስተላልፋል። የሙቀት መቆጣጠሪያው በተቀመጡት የሙቀት መመዘኛዎች እና በአስተያየት የሙቀት መጠን ምልክት መሰረት የሙቀት ኃይልን በትክክል ይቆጣጠራል, በዚህም በእቶኑ ውስጥ ያለውን የሙቀት መጠን መረጋጋት እና ለክሪስታል እድገት ተስማሚ የሆነ የሙቀት አካባቢን ያቀርባል.

የቫኩም ሲስተም

የቫኩም ሲስተም ዋና ተግባር በክሪስታል እድገት ሂደት ውስጥ በምድጃ ውስጥ የቫኩም አከባቢን መፍጠር እና ማቆየት ነው። በምድጃው ውስጥ ያለው አየር እና ቆሻሻ ጋዞች በቫኩም ፓምፖች እና ሌሎች መሳሪያዎች የሚወጡት በምድጃው ውስጥ ያለው የጋዝ ግፊት እጅግ በጣም ዝቅተኛ ደረጃ ላይ ለመድረስ በአጠቃላይ ከ 5TOR (torr) በታች ነው። ይህ የሲሊኮን ቁሳቁስ በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ኦክሳይድ እንዳይፈጠር እና ክሪስታል እድገትን ንፅህና እና ጥራትን ማረጋገጥ ይችላል. በተመሳሳይ ጊዜ የቫኩም አከባቢ በክሪስታል እድገት ሂደት ውስጥ የሚፈጠሩትን ተለዋዋጭ ቆሻሻዎችን ለማስወገድ እና የክሪስታልን ጥራት ለማሻሻል ምቹ ነው.

የአርጎን ስርዓት

የአርጎን ስርዓት በነጠላ ክሪስታል እቶን ውስጥ ባለው ምድጃ ውስጥ ያለውን ግፊት በመጠበቅ እና በመቆጣጠር ረገድ ሚና ይጫወታል። ከቫኩም በኋላ, ከፍተኛ-ንፅህና ያለው የአርጎን ጋዝ (ንፅህናው ከ 6 9 በላይ መሆን አለበት) ወደ ምድጃው ውስጥ ይሞላል. በአንድ በኩል, የውጭ አየር ወደ እቶን ውስጥ እንዳይገባ እና የሲሊኮን ቁሳቁሶችን ከኦክሳይድ ይከላከላል; በሌላ በኩል, የአርጎን ጋዝ መሙላት በእቶኑ ውስጥ ያለውን ግፊት ጠብቆ ማቆየት እና ለክሪስታል እድገት ተስማሚ የሆነ የግፊት አካባቢን ያቀርባል. በተጨማሪም, የአርጎን ጋዝ ፍሰት በክሪስታል እድገት ሂደት ውስጥ የሚፈጠረውን ሙቀት ሊወስድ ይችላል, የተወሰነ የማቀዝቀዝ ሚና ይጫወታል.

የውሃ ማቀዝቀዣ ዘዴ

የውኃ ማቀዝቀዣ ዘዴው ተግባር የመሳሪያውን መደበኛ አሠራር እና የአገልግሎት ህይወት ለማረጋገጥ ነጠላ ክሪስታል እቶን የተለያዩ ከፍተኛ ሙቀት ያላቸውን ክፍሎች ማቀዝቀዝ ነው. ነጠላ ክሪስታል እቶን በሚሠራበት ጊዜ ማሞቂያው,ክሩክብል, ኤሌክትሮ እና ሌሎች አካላት ብዙ ሙቀትን ያመነጫሉ. በጊዜ ውስጥ ካልቀዘቀዙ, መሳሪያዎቹ ከመጠን በላይ ይሞቃሉ, ይበላሻሉ ወይም ይጎዳሉ. የውሃ ማቀዝቀዣ ስርዓቱ የመሳሪያውን ሙቀት በአስተማማኝ ክልል ውስጥ ለማቆየት የማቀዝቀዣ ውሃን በማሰራጨት የእነዚህን ክፍሎች ሙቀትን ያስወግዳል. በተመሳሳይ ጊዜ የውሃ ማቀዝቀዣ ዘዴ የሙቀት መቆጣጠሪያውን ትክክለኛነት ለማሻሻል በሙቀት ውስጥ ያለውን የሙቀት መጠን ለማስተካከል ይረዳል.

የኤሌክትሪክ መቆጣጠሪያ ስርዓት

የኤሌክትሪክ መቆጣጠሪያ ስርዓቱ የጠቅላላውን መሳሪያዎች አሠራር የመቆጣጠር እና የመቆጣጠር ሃላፊነት ያለው ነጠላ ክሪስታል እቶን "አንጎል" ነው. ከተለያዩ ሴንሰሮች እንደ የሙቀት ዳሳሾች፣ የግፊት ዳሳሾች፣ የአቀማመጥ ዳሳሾች፣ ወዘተ የመሳሰሉ ምልክቶችን መቀበል እና በእነዚህ ምልክቶች ላይ በመመስረት የሜካኒካል ማስተላለፊያ ስርዓትን፣ የሙቀት መቆጣጠሪያ ስርዓትን፣ የቫኩም ሲስተም፣ የአርጎን ሲስተም እና የውሃ ማቀዝቀዣ ዘዴን ማስተባበር እና መቆጣጠር ይችላል። ለምሳሌ, በክሪስታል እድገት ሂደት ውስጥ, የኤሌክትሪክ መቆጣጠሪያ ስርዓቱ በሙቀት ዳሳሽ ተመልሶ በሚሰጠው የሙቀት ምልክት መሰረት የሙቀት ኃይልን በራስ-ሰር ማስተካከል ይችላል; እንደ ክሪስታል እድገት ፣ የዘር ክሪስታል እና ክሩብል የእንቅስቃሴ ፍጥነት እና የማሽከርከር አንግል መቆጣጠር ይችላል። በተመሳሳይ ጊዜ የኤሌክትሪክ መቆጣጠሪያ ስርዓቱ የተሳሳተ ምርመራ እና የማንቂያ ተግባራት አሉት, ይህም የመሳሪያውን ያልተለመዱ ሁኔታዎች በጊዜ ውስጥ መለየት እና የመሳሪያውን አስተማማኝ አሠራር ማረጋገጥ ይችላል.