በሴሚኮንዳክተር ሴራሚክስ ማምረቻ ውስጥ የግራፋይት ጀልባዎች ዋና ዋና ባህሪያትን ይፋ ማድረግ

ግራፋይት ጀልባዎችእንዲሁም ግራፋይት ጀልባዎች በመባልም የሚታወቁት ሴሚኮንዳክተር ሴራሚክስ በማምረት ውስብስብ ሂደቶች ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ። እነዚህ ልዩ መርከቦች ለሴሚኮንዳክተር ዋፍሎች ከፍተኛ ሙቀት ባለው ሕክምና ወቅት እንደ አስተማማኝ ተሸካሚዎች ሆነው ያገለግላሉ, ይህም ትክክለኛ እና ቁጥጥር የሚደረግበት ሂደትን ያረጋግጣል. በልዩ ባህሪያቸው እና ሁለገብ አፕሊኬሽኖቻቸው ፣ግራፋይት ጀልባዎችበሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ አስፈላጊ መሣሪያዎች ሆነዋል። የሚሠሩትን ቁልፍ ባህሪያት እንመርምርግራፋይት ጀልባዎችበሴሚኮንዳክተር ሴራሚክስ ማምረቻ ውስጥ አስፈላጊ ክፍሎች.

1. ከፍተኛ ሙቀት መቻቻል;

ግራፋይት ጀልባዎችልዩ በሆነ የሙቀት መቋቋም ከሚታወቁ ከፍተኛ ጥራት ካለው ግራፋይት ቁሳቁሶች የተሠሩ ናቸው። ይህ አይነታ የግራፋይት ጀልባዎች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ወቅት የሚያጋጥሟቸውን እንደ ኬሚካል የእንፋሎት ክምችት (ሲቪዲ) እና የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ያሉ ከፍተኛ ሙቀትን እንዲቋቋሙ ያስችላቸዋል። በኃይለኛ ሙቀት ሁኔታዎች ውስጥ መዋቅራዊ ታማኝነትን እና የመጠን መረጋጋትን የመጠበቅ ችሎታ ተከታታይ እና አስተማማኝ ሴሚኮንዳክተር ምርትን ለማረጋገጥ ወሳኝ ነው።

2. ኬሚካላዊ አለመመጣጠን;

ግራፋይት፣ በ ውስጥ ጥቅም ላይ የዋለው ዋና ቁሳቁስግራፋይት ጀልባዎች, አስደናቂ ኬሚካላዊ አለመመጣጠን ያሳያል, ይህም ዝገት እና ኬሚካላዊ ምላሽ የመቋቋም ያደርገዋል. ይህ ባህሪ በተለይ በሴሚኮንዳክተር ሴራሚክስ ማምረቻ ውስጥ በጣም ጠቃሚ ነው፣ ብዙ ጊዜ ኃይለኛ ኬሚካሎች እና ምላሽ ሰጪ ጋዞች ጥቅም ላይ ይውላሉ። የግራፋይት ጀልባዎች ለሴሚኮንዳክተር ዋፍሮች መከላከያ አካባቢን ይሰጣሉ, ብክለትን ይከላከላሉ እና የመጨረሻውን ምርት ንፅህና ያረጋግጣሉ.

3. ትክክለኛ የልኬት ቁጥጥር፡-

ግራፋይት ጀልባዎችየተለያየ መጠንና ቅርጽ ያላቸው ሴሚኮንዳክተር ዋፈርዎችን ለማስተናገድ በትክክለኛነት የተፈጠሩ ናቸው። ሊበጁ የሚችሉ ዲዛይኖቻቸው ትክክለኛ የልኬት ቁጥጥርን ይፈቅዳሉ ፣ ለዋፋዎቹ ምቹ ሁኔታን ማረጋገጥ እና በአያያዝ እና በሂደት ጊዜ የመጉዳት አደጋን ይቀንሳል። ይህ የትክክለኛነት ደረጃ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ ወጥ የሆነ የሽፋን ውፍረት እና የማስቀመጫ ትክክለኛነትን ለማግኘት አስፈላጊ ነው።

4. በመተግበሪያዎች ውስጥ ሁለገብነት፡-

ግራፋይት ጀልባዎችበተለያዩ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች፣ ኤፒታክሲ፣ ስርጭት፣ ማደንዘዣ እና ስስ-ፊልም ማስቀመጥን ጨምሮ ሰፊ ጥቅም ማግኘት። በሙቀት ሂደት ወቅት የሲሊኮን ዋይፎችን መደገፍ ወይም የኤፒታክሲያል ንብርብሮችን እድገት ማመቻቸት፣ የግራፋይት ጀልባዎች በተለያዩ አፕሊኬሽኖች ላይ ሁለገብነት እና አስተማማኝነት ይሰጣሉ። ለከፍተኛ ሙቀቶች እና ለቆሸሸ አከባቢዎች ለረጅም ጊዜ መጋለጥን የመቋቋም ችሎታ በሴሚኮንዳክተር ሴራሚክስ ማምረቻ ውስጥ አስፈላጊ መሣሪያዎች ያደርጋቸዋል።

5. የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ተኳሃኝነት;

የግራፋይት ጀልባዎች በከፍተኛ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ ወሳኝ አካል የሆነውን የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሽፋንን ለሚመለከቱ መተግበሪያዎች በጣም ተስማሚ ናቸው። የግራፋይት ከሲሊኮን ካርቦዳይድ ጋር ያለው ተኳሃኝነት የሲሲ ንብርብሩን በሴሚኮንዳክተር ንኡስ ክፍሎች ላይ ቀልጣፋ እና ወጥ በሆነ መልኩ ማስቀመጥ ያስችላል፣ ይህም የመሣሪያውን አፈጻጸም እና አስተማማኝነት ያሳድጋል። የግራፋይት ጀልባዎች የማስቀመጫ ሂደቱን በማመቻቸት፣ ወጥ የሆነ ሽፋንን እና የሽፋኑን ውፍረት በትክክል ለመቆጣጠር ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ።

በማጠቃለያው ፣ የግራፋይት ጀልባዎች በሴሚኮንዳክተር ሴራሚክስ ማምረቻ ውስጥ እንደ አስፈላጊ አካል ሆነው ያገለግላሉ ፣ ይህም ልዩ የሆነ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቻቻል ፣ የኬሚካል ኢንቬስትመንት ፣ ትክክለኛ የመጠን ቁጥጥር እና ከሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ጋር ተኳሃኝነትን ያቀርባል። የእነሱ ሁለገብነት እና አስተማማኝነት ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች አስፈላጊ መሣሪያዎች ያደርጋቸዋል ፣ ይህም ከፍተኛ ጥራት ያለው እና ከፍተኛ አፈፃፀም ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን ለማምረት ያስችላል። ሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂ ወደፊት እየገሰገሰ ሲሄድ፣ የግራፋይት ጀልባዎች በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ፈጠራን እና መሻሻልን በመምራት አስፈላጊ ንብረቶች ሆነው ይቆያሉ።