ሴሚኮንዳክተር ዋፈር ብክለትን እና የጽዳት ሂደቱን መረዳት

የዘር ፈሳሽ ሲፈስየንግድ ዜናሴሚኮንዳክተር ማምረቻውን ቅልጥፍና መረዳት የግድ ነው። ሴሚኮንዳክተር ዋፈር በዚህ ኢንዱስትሪ ውስጥ ወሳኝ አካል ናቸው፣ ነገር ግን ብዙውን ጊዜ ከተለያዩ ንፅህናዎች የሚመጡ ብክለት ያጋጥማቸዋል። እነዚህ ብክለት፣ አቶም፣ ኦርጋኒክ ቁስ፣ ሜታሊካል ኤለመንት ion እና ኦክሳይድን የሚያካትቱት በፋብሪካው ሂደት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል።

ቅንጣቶችእንደ ፖሊመር እና ኢቲች ኢፒዩቲቲቲ እምነት በ intermolecular ኃይል ላይ በ wafer's ወለል ላይ ለመገጣጠም በመሣሪያው ፎቶላይትግራፊ ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል።ኦርጋኒክ ቆሻሻዎችልክ እንደ ሆሞ የቆዳ ዘይት እና የማሽን ዘይት ቅርጽ ፊልም በዋፈር ላይ፣ ጽዳትን ይከለክላል።የብረት ንጥረ ነገር ionsእንደ ብረት እና አሉሚኒየም ብዙውን ጊዜ የሚወገዱት በብረታ ብረት ion ውስብስብነት ምክንያት ነው።ኦክሳይዶችየማምረት ሂደቱን ያደናቅፋሉ እና በተለምዶ በ dilute hydrofluoric አሲድ ውስጥ ይወገዳሉ.

የኬሚካል ዘዴዎችሴሚኮንዳክተር ቫፈርን ለማጽዳት እና ለመንገር በብዛት ጥቅም ላይ ይውላሉ። የእርጥበት ኬሚካላዊ ማጽጃ ቴክኒኮች እንደ የመፍትሄው የውሃ መጥለቅለቅ እና ሜካኒካል ማጽጃ በብዛት ይገኛሉ። ሱፐርሶኒክ እና ሜጋሶኒክ ማጽጃ ዘዴ ንጽህናን ለማስወገድ ውጤታማ መንገዶችን ያቀርባል. ደረቅ ኬሚካላዊ ጽዳት ፣ የፕላዝማ እና የጋዝ ደረጃ ቴክኖሎጂን ያጠቃልላል ፣ እንዲሁም በሴሚኮንዳክተር ዋፈር የጽዳት ሂደቶች ውስጥ አንድ ተግባር ይጫወታሉ።