ነጠላ ክሪስታል ሲሊኮን የሙቀት ኦክሳይድ

በሲሊኮን ላይ የሲሊኮን ዳይኦክሳይድ መፈጠር ኦክሳይድ ተብሎ የሚጠራ ሲሆን የተረጋጋ እና ጠንካራ ሲሊኮን ዳይኦክሳይድ መፈጠር የሲሊኮን የተቀናጀ የወረዳ እቅድ ቴክኖሎጂ መወለድ ምክንያት ሆኗል። ምንም እንኳን ሲሊኮን ዳይኦክሳይድን በሲሊኮን ላይ በቀጥታ ለማደግ ብዙ መንገዶች ቢኖሩም, ብዙውን ጊዜ የሚከናወነው በሙቀት ኦክሳይድ ነው, ይህም ሲሊኮን ለከፍተኛ ሙቀት ኦክሳይድ አከባቢ (ኦክስጅን, ውሃ) ማጋለጥ ነው. የሙቀት ኦክሳይድ ዘዴዎች የሲሊኮን ዳይኦክሳይድ ፊልሞችን በሚዘጋጁበት ጊዜ የፊልም ውፍረት እና የሲሊኮን / የሲሊኮን ዳይኦክሳይድ በይነገጽ ባህሪያትን መቆጣጠር ይችላሉ. ሲሊኮን ዳይኦክሳይድን ለማሳደግ ሌሎች ቴክኒኮች የፕላዝማ አኖዳይዜሽን እና እርጥብ አኖዳይዜሽን ናቸው ፣ ግን ከእነዚህ ዘዴዎች ውስጥ አንዳቸውም በ VLSI ሂደቶች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ አልዋሉም።

ሲሊኮን የተረጋጋ የሲሊኮን ዳይኦክሳይድ የመፍጠር አዝማሚያ ያሳያል. አዲስ የተሰነጠቀ ሲሊከን ለኦክሳይድ አከባቢ (እንደ ኦክሲጅን, ውሃ) ከተጋለጠ, በክፍል ሙቀት ውስጥ እንኳን በጣም ቀጭን የኦክሳይድ ንብርብር (<20Å) ይፈጥራል. ሲሊኮን በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ለኦክሳይድ አከባቢ ሲጋለጥ, ወፍራም የኦክሳይድ ንብርብር በፍጥነት ይፈጠራል. ከሲሊኮን የሲሊኮን ዳይኦክሳይድ የመፍጠር መሰረታዊ ዘዴ በደንብ ተረድቷል. ዴል እና ግሮቭ ከ 300Å በላይ ውፍረት ያላቸውን የኦክሳይድ ፊልሞች የእድገት ተለዋዋጭነት በትክክል የሚገልጽ የሂሳብ ሞዴል ሠሩ። ኦክሳይድን በሚከተለው መንገድ ማለትም ኦክሳይድን (የውሃ ሞለኪውሎች እና የኦክስጂን ሞለኪውሎች) አሁን ባለው የኦክሳይድ ንብርብር በኩል ወደ ሲ/ሲኦ2 በይነገጽ ይሰራጫሉ፣ በዚያም ኦክሳይድን ከሲሊኮን ጋር ምላሽ በመስጠት ሲሊኮን ዳይኦክሳይድ ይፈጥራል። የሲሊኮን ዳይኦክሳይድን ለመፍጠር ዋናው ምላሽ እንደሚከተለው ተገልጿል.

የኦክሳይድ ምላሽ በሲ / SiO2 በይነገጽ ላይ ይከሰታል, ስለዚህ የኦክሳይድ ንብርብር ሲያድግ, ሲሊኮን ያለማቋረጥ ይበላል እና በይነገጽ ቀስ በቀስ ሲሊኮን ይወርዳል. እንደ ሲሊኮን እና ሲሊኮን ዳይኦክሳይድ መጠን እና ሞለኪውላዊ ክብደት ለመጨረሻው የኦክሳይድ ንብርብር ውፍረት የሚውለው ሲሊኮን 44% መሆኑን ማወቅ ይቻላል ። በዚህ መንገድ, የኦክሳይድ ንብርብር 10,000Å ቢያድግ, 4400Å ሲሊከን ይበላል. ይህ ግንኙነት በ ላይ የተፈጠሩትን የእርምጃዎች ቁመት ለማስላት አስፈላጊ ነውየሲሊኮን ዋፈር. ደረጃዎቹ በሲሊኮን ዋፈር ወለል ላይ በተለያየ ቦታ ላይ የተለያየ የኦክሳይድ መጠን ውጤቶች ናቸው.

እንደ ኦክሳይድ፣ ስርጭት እና ማደንዘዣ ባሉ የዋፈር ማቀነባበሪያዎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ የዋሉ ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው ግራፋይት እና የሲሊኮን ካርቦዳይድ ምርቶችን እናቀርባለን።

ለተጨማሪ ውይይት እኛን እንዲጎበኙን ከመላው አለም የመጡ ማንኛውም ደንበኞች እንኳን ደህና መጣችሁ!

https://www.vet-china.com/