የሴሚኮንዳክተር ዋፈር ብክለት እና የጽዳት ምንጮች

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ለመሳተፍ አንዳንድ ኦርጋኒክ እና ኦርጋኒክ ያልሆኑ ንጥረ ነገሮች ያስፈልጋሉ። በተጨማሪም, ሂደቱ ሁል ጊዜ በሰዎች ተሳትፎ, ሴሚኮንዳክተር ባለው ንጹህ ክፍል ውስጥ ስለሚካሄድዋፈርስበተለያዩ ቆሻሻዎች መበከላቸው የማይቀር ነው።

እንደ የብክለት ምንጭ እና ተፈጥሮ, እነሱ በግምት በአራት ምድቦች ሊከፈሉ ይችላሉ: ቅንጣቶች, ኦርጋኒክ ቁስ, የብረት ion እና ኦክሳይድ.

 

1. ቅንጣቶች፡-

ቅንጣቶች በዋነኛነት አንዳንድ ፖሊመሮች፣ ፎተሪስቲስቶች እና የማሳከክ ቆሻሻዎች ናቸው።

እንዲህ ያሉ ብከላዎች አብዛኛውን ጊዜ በ wafer ወለል ላይ ለመድፈን በ intermolecular ኃይሎች ላይ ይተማመናሉ ፣ ይህም የጂኦሜትሪ ምስሎችን እና የመሳሪያውን የፎቶሊተግራፊ ሂደት የኤሌክትሪክ መለኪያዎችን ይነካል።

እንደነዚህ ያሉ ብክለቶች በዋነኝነት የሚወገዱት ቀስ በቀስ ከሽፋኑ ጋር ያለውን የግንኙነት ቦታ በመቀነስ ነውዋፈርበአካላዊ ወይም ኬሚካላዊ ዘዴዎች.

 

2. ኦርጋኒክ ጉዳይ፡-

የኦርጋኒክ ብክለት ምንጮች እንደ የሰው ቆዳ ዘይት, ባክቴሪያ, የማሽን ዘይት, የቫኩም ቅባት, ፎቶሪሲስት, የጽዳት መሟሟት, ወዘተ የመሳሰሉት በአንጻራዊነት ሰፊ ናቸው.

እንዲህ ያሉ ብከላዎች አብዛኛውን ጊዜ የንጽሕና ፈሳሹን ወደ ሽፋኑ ላይ እንዳይደርሱ ለመከላከል በቫፈር ላይ የኦርጋኒክ ፊልም ይሠራሉ, በዚህም ምክንያት የቫፈርን ወለል ያልተሟላ ጽዳት ያስከትላሉ.

እንደነዚህ ያሉ ብክለቶችን ማስወገድ ብዙውን ጊዜ በንጽህና ሂደት የመጀመሪያ ደረጃ ላይ ይካሄዳል, በዋናነት እንደ ሰልፈሪክ አሲድ እና ሃይድሮጂን ፓርሞክሳይድ ያሉ ኬሚካዊ ዘዴዎችን በመጠቀም.

 

3. የብረት ions;

የተለመዱ የብረታ ብረት ብክሎች ብረት፣ መዳብ፣ አልሙኒየም፣ ክሮሚየም፣ ብረት፣ ቲታኒየም፣ ሶዲየም፣ ፖታሲየም፣ ሊቲየም ወዘተ ይገኙበታል።ዋና ዋናዎቹ የተለያዩ እቃዎች፣ ቱቦዎች፣ ኬሚካላዊ ሪጀንቶች እና የብረት መበከል በሚቀነባበርበት ጊዜ የሚፈጠሩ የብረት ብክለት ናቸው።

ይህ ዓይነቱ ቆሻሻ ብዙውን ጊዜ በኬሚካላዊ ዘዴዎች በብረት ion ውስብስቦች መፈጠር ይወገዳል.

 

4. ኦክሳይድ:

መቼ ሴሚኮንዳክተርዋፈርስኦክሲጅን እና ውሃ ላለው አካባቢ ተጋልጠዋል, የተፈጥሮ ኦክሳይድ ንብርብር በላዩ ላይ ይፈጠራል. ይህ ኦክሳይድ ፊልም በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ብዙ ሂደቶችን ያደናቅፋል እንዲሁም የተወሰኑ የብረት ብክሎችን ይይዛል። በአንዳንድ ሁኔታዎች የኤሌክትሪክ ጉድለቶች ይፈጥራሉ.

የዚህ ኦክሳይድ ፊልም መወገድ ብዙውን ጊዜ የሚጠናቀቀው በዲዊት ሃይድሮ ፍሎራይክ አሲድ ውስጥ ነው.

 

አጠቃላይ የጽዳት ቅደም ተከተል

በሴሚኮንዳክተር ወለል ላይ የሚጣበቁ ቆሻሻዎችዋፈርስበሶስት ዓይነቶች ሊከፈል ይችላል: ሞለኪውላዊ, ionኒክ እና አቶሚክ.

ከነሱ መካከል በሞለኪውላዊ ቆሻሻዎች እና በቫፈር ወለል መካከል ያለው የ adsorption ኃይል ደካማ ነው, እና የዚህ ዓይነቱ ቆሻሻ ቅንጣቶች በቀላሉ ለማስወገድ ቀላል ናቸው. እነዚህ ሁለት አይነት ቆሻሻዎችን ለማስወገድ የማይጠቅም የሴሚኮንዳክተር ዋፍሮችን ገጽታ የሚበክሉ ionክ እና የአቶሚክ ቆሻሻዎች መሸፈኛን ሊያቀርቡ የሚችሉ የሃይድሮፎቢክ ባህሪያት ያላቸው የቅባት ቆሻሻዎች በአብዛኛው ናቸው። ስለዚህ ሴሚኮንዳክተር ዋፍሎችን በኬሚካል ሲያጸዱ, ሞለኪውላዊ ቆሻሻዎች በመጀመሪያ መወገድ አለባቸው.

ስለዚህ, ሴሚኮንዳክተር አጠቃላይ ሂደትዋፈርየጽዳት ሂደቱ እንደሚከተለው ነው

De-molecularization-deionization-de-atomization-deionized ውሃ ያለቅልቁ።

በተጨማሪም, በቫፈር ላይ ያለውን የተፈጥሮ ኦክሳይድ ሽፋን ለማስወገድ, የተዳከመ አሚኖ አሲድ የመጥለቅ ደረጃን መጨመር ያስፈልጋል. ስለዚህ, የጽዳት ሐሳብ በመጀመሪያ ላዩን ላይ ኦርጋኒክ ብክለት ማስወገድ ነው; ከዚያም የኦክሳይድ ንብርብርን ይፍቱ; በመጨረሻም ቅንጣቶችን እና የብረት ብክለትን ያስወግዱ እና በተመሳሳይ ጊዜ ንጣፉን ይለፉ.

 

የተለመዱ የጽዳት ዘዴዎች

ሴሚኮንዳክተር ዋፍሮችን ለማጽዳት የኬሚካል ዘዴዎች ብዙውን ጊዜ ጥቅም ላይ ይውላሉ.

የኬሚካል ጽዳት የተለያዩ ኬሚካላዊ reagents እና ኦርጋኒክ መሟሟት ምላሽ ወይም ሟምቶ ከቆሻሻ እና ዘይት እድፍ ወደ ዋፈር ላይ ላዩን ላይ ቆሻሻ ወደ desorb, እና ከዚያም ለማግኘት ከፍተኛ-ንጽህና ሙቅ እና ቀዝቃዛ deionized ውሃ ጋር ያለቅልቁ ሂደት ያመለክታል. ንጹህ ወለል.

የኬሚካል ጽዳት ወደ እርጥብ ኬሚካል ማጽዳት እና ደረቅ ኬሚካል ማጽዳት ሊከፋፈል ይችላል, ከእነዚህም መካከል እርጥብ ኬሚካል ማጽዳት አሁንም የበላይ ነው.

 

እርጥብ ኬሚካል ማጽዳት

 

1. እርጥብ ኬሚካል ማጽዳት;

እርጥብ ኬሚካላዊ ጽዳት በዋናነት የመፍትሄ መጥለቅን፣ ሜካኒካል መፋቅ፣ አልትራሳውንድ ማፅዳትን፣ ሜጋሶኒክ ማፅዳትን፣ ሮታሪ መርጨትን ወዘተ ያጠቃልላል።

 

2. የመፍትሄው መጥለቅ;

የመፍትሄው ጥምቀት ቫፈርን በኬሚካላዊ መፍትሄ ውስጥ በማጥለቅ የገጽታ ብክለትን የማስወገድ ዘዴ ነው። በእርጥብ ኬሚካላዊ ጽዳት ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውለው ዘዴ ነው. በቫፈር ላይ የተለያዩ አይነት ብከላዎችን ለማስወገድ የተለያዩ መፍትሄዎችን መጠቀም ይቻላል.

ብዙውን ጊዜ ይህ ዘዴ በቫፈር ላይ ያሉትን ቆሻሻዎች ሙሉ በሙሉ ማስወገድ ስለማይችል እንደ ማሞቂያ, አልትራሳውንድ እና ማነቃነቅ ያሉ አካላዊ እርምጃዎች በሚጠመቁበት ጊዜ ብዙውን ጊዜ ጥቅም ላይ ይውላሉ.

 

3. ሜካኒካል ማሸት;

የሜካኒካል ማጽጃ ብዙውን ጊዜ በቫፈር ላይ ያሉትን ቅንጣቶች ወይም ኦርጋኒክ ቅሪቶች ለማስወገድ ያገለግላል. በአጠቃላይ በሁለት ዘዴዎች ሊከፈል ይችላል.በእጅ መፋቅ እና መጥረጊያ በዋይፐር.

በእጅ መፋቅበጣም ቀላሉ የጽዳት ዘዴ ነው. ከማይዝግ ብረት የተሰራ ብሩሽ በኤታኖል ወይም በሌላ ኦርጋኒክ መሟሟት የረጨውን ኳስ በመያዝ የቫፈርን ፊት በቀስታ ወደ ተመሳሳይ አቅጣጫ በመቀባት የሰም ፊልም፣ አቧራ፣ ቀሪ ሙጫ ወይም ሌላ ጠንካራ ቅንጣቶችን ለማስወገድ ይጠቅማል። ይህ ዘዴ ጭረቶችን እና ከባድ ብክለትን ለመፍጠር ቀላል ነው.

መጥረጊያው የቫፈርን ገጽታ ለስላሳ የሱፍ ብሩሽ ወይም ድብልቅ ብሩሽ ለማሸት ሜካኒካል ሽክርክሪት ይጠቀማል. ይህ ዘዴ በቫፈር ላይ ያለውን ጭረት በእጅጉ ይቀንሳል. ከፍተኛ-ግፊት መጥረጊያው በሜካኒካል ግጭት እጥረት ምክንያት ቫውሱን አይቧጨርም, እና በግሮው ውስጥ ያለውን ብክለት ማስወገድ ይችላል.

 

4. አልትራሳውንድ ማጽዳት;

አልትራሳውንድ ማጽዳት በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ የዋለ የጽዳት ዘዴ ነው. የእሱ ጥቅሞች ጥሩ የማጽዳት ውጤት, ቀላል ቀዶ ጥገና እና ውስብስብ መሳሪያዎችን እና መያዣዎችን ማጽዳት ይችላሉ.

ይህ የጽዳት ዘዴ በጠንካራ የአልትራሳውንድ ሞገዶች (በተለምዶ ጥቅም ላይ የሚውለው የአልትራሳውንድ ድግግሞሹ 20s40kHz ነው) እና በፈሳሽ መካከለኛ ውስጥ ትንሽ እና ጥቅጥቅ ያሉ ክፍሎች ይፈጠራሉ። ቆጣቢው ክፍል ከሞላ ጎደል የቫኩም ክፍተት አረፋ ይፈጥራል። የአረፋው አረፋ በሚጠፋበት ጊዜ በአቅራቢያው ኃይለኛ የአካባቢ ግፊት ይፈጠራል, በሞለኪውሎች ውስጥ ያለውን የኬሚካል ትስስር በቫፈር ወለል ላይ ያለውን ቆሻሻ ይቀልጣል. አልትራሳውንድ ማጽዳት የማይሟሟ ወይም የማይሟሟ የፍሰት ቀሪዎችን ለማስወገድ በጣም ውጤታማ ነው.

 

5. ሜጋሶኒክ ማጽጃ;

Megasonic ጽዳት ለአልትራሳውንድ ማጽዳት ጥቅሞች ብቻ ሳይሆን ድክመቶቹንም ያሸንፋል.

ሜጋሶኒክ ማጽጃ ከፍተኛ-ኃይል (850kHz) ድግግሞሽ የንዝረት ተጽእኖን ከኬሚካል ማጽጃ ወኪሎች ኬሚካላዊ ምላሽ ጋር በማጣመር ቫፈርን የማጽዳት ዘዴ ነው. በማጽዳት ጊዜ የመፍትሄው ሞለኪውሎች በሜጋሶኒክ ሞገድ (ከፍተኛው የፈጣን ፍጥነት 30 ሴ.ሜ ሊደርስ ይችላል) እና ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ፈሳሽ ሞገድ በቫፈር ላይ ያለማቋረጥ ተጽእኖ ያሳድራል, በዚህም ምክንያት በንፅፅር ላይ የተጣበቁ ብክሎች እና ጥቃቅን ቅንጣቶች. ቫፈር በግዳጅ ይወገዳሉ እና ወደ ጽዳት መፍትሄ ይግቡ. አሲዳማ surfactants ወደ የጽዳት መፍትሔ ማከል, በአንድ በኩል, surfactants ያለውን adsorption በኩል ቅንጣቶች እና ኦርጋኒክ ንጥረ በማስወገድ ላይ ያለውን polishing ወለል ላይ ያለውን ዓላማ ማሳካት ይችላል; በሌላ በኩል, surfactants እና አሲዳማ አካባቢ በማዋሃድ በኩል, በፖላንድኛ ሉህ ላይ ብረት ብክለት ለማስወገድ ዓላማ ማሳካት ይችላል. ይህ ዘዴ የሜካኒካል ማጽዳት እና የኬሚካል ማጽዳትን ሚና በአንድ ጊዜ መጫወት ይችላል.

በአሁኑ ጊዜ የሜጋሶኒክ ማጽጃ ዘዴው የተጣራ ወረቀቶችን ለማጽዳት ውጤታማ ዘዴ ሆኗል.

 

6. ሮታሪ የሚረጭ ዘዴ፡-

የ rotary spray method ሜካኒካል ዘዴዎችን በመጠቀም ቫፈርን በከፍተኛ ፍጥነት ለማሽከርከር እና በማሽከርከር ሂደት ውስጥ ፈሳሽ (ከፍተኛ ንፅህና ያለው ውሃ ወይም ሌላ የጽዳት ፈሳሽ) በማጠፊያው ላይ ያለማቋረጥ በመርጨት ላይ ያለውን ቆሻሻ ያስወግዳል። የቫፈር ወለል.

ይህ ዘዴ በተረጨው ፈሳሽ ውስጥ ለመሟሟት (ወይንም ለመሟሟት በኬሚካላዊ ምላሽ) በቫፈር ላይ ያለውን ብክለት ይጠቀማል እና ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ሽክርክሪት ሴንትሪፉጋል ተጽእኖን በመጠቀም ቆሻሻዎችን የያዘው ፈሳሽ ከዋፋው ወለል ላይ እንዲለይ ያደርጋል. በጊዜ.

የማሽከርከር ዘዴው በኬሚካል ማጽዳት, በፈሳሽ ሜካኒክስ ማጽዳት እና በከፍተኛ ግፊት መፋቅ ጥቅሞች አሉት. በተመሳሳይ ጊዜ ይህ ዘዴ ከማድረቅ ሂደት ጋር ሊጣመር ይችላል. የዲዮኒዝድ ውሃ የሚረጭ ጽዳት ከተወሰነ ጊዜ በኋላ, የውሃ ርጭቱ ይቆማል እና የሚረጭ ጋዝ ጥቅም ላይ ይውላል. በተመሳሳይ ጊዜ የቫፈርን ወለል በፍጥነት ለማድረቅ የሴንትሪፉጋል ኃይልን ለመጨመር የማዞሪያው ፍጥነት መጨመር ይቻላል.

 

7.ደረቅ ኬሚካል ማጽዳት

ደረቅ ማጽዳት መፍትሄዎችን የማይጠቀም የጽዳት ቴክኖሎጂን ያመለክታል.

በአሁኑ ጊዜ ጥቅም ላይ የሚውሉት የደረቅ ጽዳት ቴክኖሎጂዎች፡- የፕላዝማ ማጽጃ ቴክኖሎጂ፣ የጋዝ ደረጃ ማጽጃ ቴክኖሎጂ፣ የጨረር ማጽጃ ቴክኖሎጂ፣ ወዘተ.

የደረቅ ማጽዳት ጥቅሞች ቀላል ሂደት እና የአካባቢ ብክለት የለም, ነገር ግን ዋጋው ከፍተኛ ነው እና የአጠቃቀም ወሰን ለጊዜው ትልቅ አይደለም.

 

1. የፕላዝማ ማጽጃ ቴክኖሎጂ;

የፕላዝማ ማጽዳት ብዙውን ጊዜ በፎቶሪሲስት የማስወገጃ ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል. በፕላዝማ ምላሽ ስርዓት ውስጥ አነስተኛ መጠን ያለው ኦክሲጅን እንዲገባ ይደረጋል. በጠንካራ የኤሌትሪክ መስክ እንቅስቃሴ ውስጥ ኦክሲጅን ፕላዝማን ያመነጫል, ይህም የፎቶሪሲስትን በፍጥነት ወደ ተለዋዋጭ ጋዝ ሁኔታ ኦክሳይድ ያደርገዋል እና ይወጣል.

ይህ የጽዳት ቴክኖሎጂ ቀላል አሰራር ፣ ከፍተኛ ቅልጥፍና ፣ ንፁህ ወለል ፣ ምንም ጭረት የለውም ፣ እና በመበስበስ ሂደት ውስጥ የምርት ጥራትን ለማረጋገጥ ምቹ ነው። ከዚህም በላይ አሲድ, አልካላይስ እና ኦርጋኒክ መሟሟት አይጠቀምም, እንደ ቆሻሻ አወጋገድ እና የአካባቢ ብክለት የመሳሰሉ ችግሮች የሉም. ስለዚህ, በሰዎች ዘንድ እየጨመረ ይሄዳል. ይሁን እንጂ የካርቦን እና ሌሎች የማይለዋወጥ የብረት ወይም የብረት ኦክሳይድ ቆሻሻዎችን ማስወገድ አይችልም.

 

2. የጋዝ ደረጃ ማጽጃ ቴክኖሎጂ;

የጋዝ ደረጃ ማፅዳት በፈሳሽ ሂደት ውስጥ ካለው ተጓዳኝ ንጥረ ነገር ጋር የሚመጣጠን የጋዝ ደረጃን በመጠቀም በቫፈር ላይ ካለው የተበከለ ንጥረ ነገር ጋር በመገናኘት ቆሻሻዎችን የማስወገድ ዓላማን የሚጠቀም የጽዳት ዘዴን ያመለክታል።

ለምሳሌ፣ በCMOS ሂደት፣ የዋፈር ማጽዳቱ ኦክሳይድን ለማስወገድ በጋዝ ደረጃ ኤችኤፍ እና በውሃ ትነት መካከል ያለውን መስተጋብር ይጠቀማል። አብዛኛውን ጊዜ ውሃን የያዘው የኤችኤፍ ሂደት ከቅንጣት ማስወገጃ ሂደት ጋር አብሮ መሆን አለበት, የጋዝ ደረጃ ኤችኤፍ የጽዳት ቴክኖሎጂን መጠቀም ግን ቀጣይ ቅንጣትን የማስወገድ ሂደት አያስፈልገውም.

ከውሃው ኤችኤፍ ሂደት ጋር ሲነፃፀሩ በጣም አስፈላጊዎቹ ጥቅሞች በጣም ትንሽ የ HF ኬሚካላዊ ፍጆታ እና ከፍተኛ የጽዳት ውጤታማነት ናቸው.

 

ለተጨማሪ ውይይት እኛን እንዲጎበኙን ከመላው አለም የመጡ ማንኛውም ደንበኞች እንኳን ደህና መጣችሁ!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j