የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ: ለሴሚኮንዳክተር ሂደቶች አስፈላጊ ትክክለኛ ክፍሎች

የፎቶሊተግራፊ ቴክኖሎጂ በዋናነት የሚያተኩረው በሲሊኮን ዋይፈር ላይ የወረዳ ንድፎችን ለማጋለጥ የኦፕቲካል ሲስተሞችን በመጠቀም ላይ ነው። የዚህ ሂደት ትክክለኛነት የተቀናጁ ወረዳዎችን አፈፃፀም እና ምርትን በቀጥታ ይነካል ። ለቺፕ ማምረቻ ዋና መሳሪያዎች አንዱ እንደመሆኑ ፣ የሊቶግራፊ ማሽን እስከ መቶ ሺዎች የሚቆጠሩ ክፍሎችን ይይዛል። በሊቶግራፊ ስርዓት ውስጥ ያሉት ሁለቱም የኦፕቲካል ክፍሎች እና አካላት የወረዳውን አፈፃፀም እና ትክክለኛነት ለማረጋገጥ እጅግ በጣም ከፍተኛ ትክክለኛነት ያስፈልጋቸዋል።የሲሲ ሴራሚክስውስጥ ጥቅም ላይ ውለዋልwafer chucksእና የሴራሚክ ካሬ መስተዋቶች.

ዋፈር ቸክበሊቶግራፊ ማሽኑ ውስጥ ያለው ዋፈር ቻክ በመጋለጥ ሂደት ውስጥ ቫውሱን ተሸክሞ ያንቀሳቅሰዋል። በቫፈር እና በቺክ መካከል በትክክል መገጣጠም በቫፈር ላይ ያለውን ንድፍ በትክክል ለመድገም አስፈላጊ ነው.ሲሲ ዋፈርቹኮች በቀላል ክብደታቸው፣ ከፍተኛ መጠን ያለው መረጋጋት እና ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ይታወቃሉ፣ ይህም የማይንቀሳቀሱ ሸክሞችን ሊቀንስ እና የእንቅስቃሴ ቅልጥፍናን ሊያሻሽል የሚችል፣ የቦታ አቀማመጥ ትክክለኛነት እና መረጋጋት።

የሴራሚክ ካሬ መስታወት በሊቶግራፊ ማሽን ውስጥ በዋፈር ቹክ እና በጭንብል ደረጃ መካከል ያለው የእንቅስቃሴ ማመሳሰል ወሳኝ ነው ፣ ይህም የሊቶግራፊ ትክክለኛነት እና ምርትን በቀጥታ ይነካል። የካሬው አንጸባራቂ የዋፈር ቹክ ቅኝት አቀማመጥ የግብረመልስ መለኪያ ስርዓት ቁልፍ አካል ነው፣ እና የቁሳቁስ ፍላጎቶቹ ቀላል እና ጥብቅ ናቸው። ምንም እንኳን የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ ቀላል ክብደት ያላቸው ባህሪያት ቢኖራቸውም, እንደነዚህ ያሉ ክፍሎችን ማምረት ፈታኝ ነው. በአሁኑ ጊዜ ግንባር ቀደም አለምአቀፍ የተቀናጁ ሰርኪት መሳሪያዎች አምራቾች በዋናነት እንደ ፊውዝድ ሲሊካ እና ኮርዲሬትት ያሉ ቁሳቁሶችን ይጠቀማሉ። ይሁን እንጂ በቴክኖሎጂ እድገት የቻይናውያን ባለሙያዎች ትልቅ መጠን ያላቸው ውስብስብ ቅርጽ ያላቸው, በጣም ቀላል ክብደት ያላቸው, ሙሉ በሙሉ የተዘጉ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ካሬ መስተዋቶች እና ሌሎች ተግባራዊ የኦፕቲካል ክፍሎችን ለፎቶሊቶግራፊ ማሽኖች ማምረት ችለዋል. የፎቶማስክ (Aperture) በመባልም የሚታወቀው፣ በፎቶ ሴንሲቲቭ ማቴሪያል ላይ ስርዓተ-ጥለት ለመመስረት በጭምብሉ በኩል ብርሃንን ያስተላልፋል። ነገር ግን የኢዩቪ መብራት ጭምብሉን ሲያበራ ሙቀትን ያመነጫል፣ የሙቀት መጠኑን ከ600 እስከ 1000 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ያደርሰዋል፣ ይህም የሙቀት ጉዳትን ያስከትላል። ስለዚህ, የሲሲ ፊልም ንብርብር ብዙውን ጊዜ በፎቶ ጭምብል ላይ ይቀመጣል. እንደ ASML ያሉ ብዙ የውጭ ኩባንያዎች በፎቶማስክ አጠቃቀም ወቅት ጽዳት እና ቁጥጥርን ለመቀነስ እና የ EUV ፎቶሊቶግራፊ ማሽኖችን ውጤታማነት እና የምርት ምርትን ለማሻሻል አሁን ከ 90% በላይ የሚተላለፉ ፊልሞችን ያቀርባሉ።

የፕላዝማ ማሳከክእና Deposition Photomasks፣ እንዲሁም crosshairs በመባልም የሚታወቁት፣ ብርሃንን በጭምብሉ የማስተላለፍ እና በፎቶ ሰሚ ቁስ ላይ ንድፍ የመፍጠር ዋና ተግባር አላቸው። ነገር ግን የኢዩቪ (እጅግ ጽንፍ አልትራቫዮሌት) ብርሃን የፎቶ ጭምብል ሲያበራ ሙቀትን ያመነጫል, የሙቀት መጠኑን ወደ 600 እና 1000 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ያሳድጋል, ይህም የሙቀት ጉዳት ሊያስከትል ይችላል. ስለዚህ, ይህንን ችግር ለማቃለል የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ፊልም ብዙውን ጊዜ በፎቶማስክ ላይ ይቀመጣል. በአሁኑ ጊዜ እንደ ASML ያሉ ብዙ የውጭ ኩባንያዎች በፎቶማስክ አጠቃቀም ወቅት የጽዳት እና የፍተሻ ፍላጎትን ለመቀነስ ከ 90% በላይ ግልጽነት ያላቸው ፊልሞችን ማቅረብ ጀምረዋል, በዚህም የ EUV ሊቶግራፊ ማሽኖችን ውጤታማነት እና የምርት ምርትን ያሻሽላል. . የፕላዝማ ማሳከክ እናየማስቀመጫ ትኩረት ቀለበትእና ሌሎች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ፣ የማሳከክ ሂደቱ ፈሳሽ ወይም ጋዝ ኢተቻት (እንደ ፍሎራይን የያዙ ጋዞች) ወደ ፕላዝማ ion የተቀላቀለ ቫፈርን ለመደብደብ እና የሚፈለገው የወረዳ ንድፍ እስከሚቆይ ድረስ የማይፈለጉ ቁሳቁሶችን በመምረጥ ያስወግዳል።ዋፈርላዩን። በአንፃሩ፣ ቀጭን ፊልም ማስቀመጥ ከኤክሽን የተገላቢጦሽ ጎን ጋር ይመሳሰላል፣ የማስቀመጫ ዘዴን በመጠቀም መከላከያ ቁሳቁሶችን በብረት ንብርብሮች መካከል በመደርደር ቀጭን ፊልም ይፈጥራል። ሁለቱም ሂደቶች የፕላዝማ ቴክኖሎጂን ስለሚጠቀሙ በክፍሎች እና ክፍሎች ላይ ለመበስበስ የተጋለጡ ናቸው. ስለዚህ, በመሳሪያው ውስጥ ያሉት ክፍሎች ጥሩ የፕላዝማ መከላከያ, የፍሎራይን ኢቲክ ጋዞች ዝቅተኛ ምላሽ እና ዝቅተኛ የመተላለፊያ ይዘት ሊኖራቸው ይገባል. እንደ የትኩረት ቀለበቶች ያሉ ባህላዊ የማስመሰል እና የማስቀመጫ መሳሪያዎች ክፍሎች ብዙውን ጊዜ እንደ ሲሊከን ወይም ኳርትዝ ካሉ ቁሳቁሶች የተሠሩ ናቸው። ነገር ግን የተቀናጀ የወረዳ ዝቅተኛነት እድገት ጋር በተቀናጀ የወረዳ ምርት ውስጥ የማስመሰል ሂደቶች ፍላጎት እና አስፈላጊነት እየጨመረ ነው። በአጉሊ መነጽር ደረጃ፣ ትክክለኛ የሲሊኮን ዋፈር ኢቲንግ አነስ ያሉ የመስመሮች ስፋቶችን እና ውስብስብ የመሳሪያ አወቃቀሮችን ለማግኘት ከፍተኛ ኃይል ያለው ፕላዝማ ያስፈልገዋል። ስለዚህ የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (ሲቪዲ) ሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ) ቀስ በቀስ ለኤክሳይድ እና ለቆሻሻ ማጠራቀሚያ መሳሪያዎች በጣም ጥሩ የሆነ አካላዊ እና ኬሚካዊ ባህሪያት, ከፍተኛ ንፅህና እና ተመሳሳይነት ያለው የመለኪያ ቁሳቁስ ሆኗል. በአሁኑ ጊዜ የሲቪዲ የሲሊኮን ካርቦዳይድ ክፍሎች በኤክቲንግ መሳሪያዎች ውስጥ የትኩረት ቀለበቶችን, የጋዝ ሻወር ራሶችን, ትሪዎችን እና የጠርዝ ቀለበቶችን ያካትታሉ. በተቀማጭ መሳሪያዎች ውስጥ, የካሜራ ሽፋኖች, የካሜራ ሽፋኖች እናSIC-የተሸፈኑ ግራፋይት substrates.

ለክሎሪን እና ፍሎራይን የሚወክሉ ጋዞች ዝቅተኛ ምላሽ ሰጪነት እና የመተላለፊያ ይዘት ምክንያት።ሲቪዲ ሲሊኮን ካርቦይድበፕላዝማ ኢቲንግ መሳሪያዎች ውስጥ እንደ የትኩረት ቀለበቶች ላሉ አካላት ተስማሚ ቁሳቁስ ሆኗል ።ሲቪዲ ሲሊኮን ካርቦይድበኤtching መሳሪያዎች ውስጥ ያሉ ክፍሎች ትኩረት ቀለበቶችን ፣ የጋዝ ሻወር ራሶችን ፣ ትሪዎችን ፣ የጠርዝ ቀለበቶችን ፣ ወዘተ ያካትታሉ ። የትኩረት ቀለበቶችን እንደ ምሳሌ ይውሰዱ ፣ እነሱ ከዋፋው ውጭ የተቀመጡ እና ከዋፋው ጋር ቀጥተኛ ግንኙነት ያላቸው ቁልፍ አካላት ናቸው። ቀለበቱ ላይ ቮልቴጅን በመተግበር, ፕላዝማው ቀለበቱ በቫፈር ላይ በማተኮር የሂደቱን ተመሳሳይነት ያሻሽላል. በተለምዶ, የትኩረት ቀለበቶች በሲሊኮን ወይም በኳርትዝ ​​የተሰሩ ናቸው. ነገር ግን፣ የተቀናጀ የወረዳ ዝቅተኛነት እየገፋ ሲሄድ፣ በተቀናጀ የወረዳ ማምረቻ ውስጥ የማሳከክ ሂደቶች ፍላጎት እና አስፈላጊነት እየጨመረ ይሄዳል። የፕላዝማ ኢቲንግ ሃይል እና የኢነርጂ ፍላጎቶች መጨመር ይቀጥላሉ፣ በተለይም በ capacitively በተጣመሩ ፕላዝማ (ሲሲፒ) ኢተክሽን መሳሪያዎች ውስጥ ከፍተኛ የፕላዝማ ሃይል ይፈልጋል። በውጤቱም, ከሲሊኮን ካርቦይድ ቁሳቁሶች የተሠሩ የትኩረት ቀለበቶች አጠቃቀም እየጨመረ ነው.