የሌዘር ቴክኖሎጂ የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ ማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂን መለወጥ ይመራል።

 

1. አጠቃላይ እይታየሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍየማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂ

የአሁኑየሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ የማቀነባበሪያ ደረጃዎች የሚከተሉትን ያጠቃልላሉ፡- የውጪውን ክብ መፍጨት፣ መቆራረጥ፣ መቆራረጥ፣ መፍጨት፣ መቦረሽ፣ ጽዳት እና የመሳሰሉት። በአሁኑ ጊዜ, መቁረጥየሲሊኮን ካርቦይድ ንጥረ ነገሮችበዋናነት የሽቦ መቁረጥ ነው. ባለብዙ ሽቦ ዝቃጭ መቁረጥ በአሁኑ ጊዜ በጣም ጥሩው የሽቦ መቁረጫ ዘዴ ነው, ነገር ግን አሁንም የመቁረጥ ጥራት እና ትልቅ የመቁረጥ ችግር ችግሮች አሉ. የሽቦ መቁረጡ መጥፋት የንጥረትን መጠን በመጨመር ይጨምራል, ይህም ለ ተስማሚ አይደለምየሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍአምራቾች የዋጋ ቅነሳን እና ውጤታማነትን ለማሻሻል። በመቁረጥ ሂደት ውስጥ8-ኢንች ሲሊከን ካርቦይድ substrates, በሽቦ መቁረጥ የተገኘው የንጣፉ ወለል ቅርጽ ደካማ ነው, እና እንደ WARP እና BOW ያሉ የቁጥር ባህሪያት ጥሩ አይደሉም.

ሴሚኮንዳክተር substrate በማምረት ውስጥ መቆራረጥ ቁልፍ እርምጃ ነው። ኢንዱስትሪው እንደ የአልማዝ ሽቦ መቁረጥ እና ሌዘር ማንጠልጠያ ያሉ አዳዲስ የመቁረጥ ዘዴዎችን በየጊዜው እየሞከረ ነው። የሌዘር ማስወገጃ ቴክኖሎጂ በቅርብ ጊዜ በጣም ተፈላጊ ሆኗል. የዚህ ቴክኖሎጂ መግቢያ የመቁረጥን ኪሳራ ይቀንሳል እና ከቴክኒካዊ መርህ የመቁረጥን ውጤታማነት ያሻሽላል. የሌዘር ማስወገጃ መፍትሄ ለአውቶሜሽን ደረጃ ከፍተኛ መስፈርቶች አሉት እና ከእሱ ጋር ለመተባበር ቀጭን ቴክኖሎጂን ይፈልጋል ፣ ይህም ከሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ ማቀነባበሪያ የወደፊት የእድገት አቅጣጫ ጋር የሚስማማ ነው። የባህላዊ የሞርታር ሽቦ መቆራረጥ የተቆረጠ ምርት በአጠቃላይ 1.5-1.6 ነው። የሌዘር ማስወገጃ ቴክኖሎጂን ማስተዋወቅ የቁራጩን ምርት ወደ 2.0 ገደማ ያሳድጋል (የዲስኮ መሳሪያዎችን ይመልከቱ)። ለወደፊቱ ፣ የሌዘር ማስወገጃ ቴክኖሎጂ ብስለት እየጨመረ ሲሄድ ፣ የተቆረጠው ምርት የበለጠ ሊሻሻል ይችላል ። በተመሳሳይ ጊዜ ሌዘር ማራገፍ የመቁረጥን ውጤታማነት በእጅጉ ያሻሽላል። የገበያ ጥናት እንደሚያሳየው፣ የኢንዱስትሪ መሪው ዲስኮ ከ10-15 ደቂቃ ውስጥ ቁርጥራጭን ይቆርጣል፣ ይህም አሁን ካለው የሞርታር ሽቦ መቆራረጥ በእያንዳንዱ ቁራጭ 60 ደቂቃ የበለጠ ውጤታማ ነው።

የሲሊኮን ካርቦይድ substrates ባህላዊ ሽቦ የመቁረጥ ሂደት ደረጃዎች-የሽቦ መቁረጫ-ሸካራ መፍጨት-ጥሩ መፍጨት-ሸካራ ፖሊሺንግ እና ጥሩ መወልወል። የሌዘር ማስወገጃ ሂደት የሽቦ መቁረጥን ከተተካ በኋላ የማቅለጫው ሂደት የመፍጨት ሂደቱን ለመተካት ጥቅም ላይ ይውላል, ይህም የንጥቆችን መጥፋት ይቀንሳል እና የማቀነባበሪያውን ውጤታማነት ያሻሽላል. የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፎችን የመቁረጥ ፣ የመፍጨት እና የማጥራት የሌዘር ማስወገጃ ሂደት በሦስት ደረጃዎች የተከፈለ ነው-ሌዘር ላዩን ስካን-substrate stripping-ingot flattening: ሌዘር ላዩን ቅኝት የተሻሻለው እንዲፈጠር ultrafast laser pulses በመጠቀም የኢንጎትን ወለል ለማስኬድ ነው። በ ingot ውስጥ ንብርብር; substrate ስትራገፍ ከተሻሻለው ንብርብር በላይ ያለውን substrate ከ ingot በአካላዊ ዘዴዎች መለየት ነው ። ingot flattening የኢንጎት ወለል ላይ ያለውን ጠፍጣፋ ለማረጋገጥ የተሻሻለውን ንብርብር ማስወገድ ነው.
የሲሊኮን ካርቦይድ ሌዘር ማስወገጃ ሂደት

 

2. በሌዘር ማስወገጃ ቴክኖሎጂ እና በኢንዱስትሪ ተሳታፊ ኩባንያዎች ውስጥ ዓለም አቀፍ እድገት

የሌዘር ማንቆርቆሪያ ሂደት ለመጀመሪያ ጊዜ በባህር ማዶ ኩባንያዎች ተቀባይነት አግኝቷል፡ እ.ኤ.አ. በ2016 የጃፓኑ DISCO አዲስ የሌዘር መቆራረጥ ቴክኖሎጂ KABRA ፈጠረ። የ SiC ingots ዓይነቶች. እ.ኤ.አ. በኖቬምበር 2018፣ Infineon Technologies Silectra GmbH፣ የዋፈር መቁረጫ ጅምር በ124 ሚሊዮን ዩሮ አግኝቷል። የኋለኛው የ Cold Split ሂደትን አዳብሯል፣ ይህም የመከፋፈያ ክልልን ለመለየት የፈጠራ ባለቤትነት ያለው ሌዘር ቴክኖሎጂን ይጠቀማል፣ ልዩ ፖሊመር ቁሳቁሶችን ይለብሱ ፣ የቁጥጥር ስርዓቱን የሚቀዘቅዙ ውጥረትን ፣ ቁሳቁሶችን በትክክል የተከፋፈሉ እና የዋፈር መቁረጥን ለማግኘት ይፈጫሉ እና ያጸዳሉ።

በቅርብ ዓመታት ውስጥ አንዳንድ የአገር ውስጥ ኩባንያዎች ወደ ሌዘር ማስወገጃ መሳሪያዎች ኢንዱስትሪ ውስጥ ገብተዋል ዋና ዋና ኩባንያዎች የሃን ሌዘር ፣ ዴሎንግ ሌዘር ፣ ዌስት ሌክ ኢንስትሩመንት ፣ ዩኒቨርሳል ኢንተለጀንስ ፣ ቻይና ኤሌክትሮኒክስ ቴክኖሎጂ ግሩፕ ኮርፖሬሽን እና የቻይና የሳይንስ አካዳሚ ሴሚኮንዳክተሮች ተቋም ናቸው። ከነዚህም መካከል የተዘረዘሩት ኩባንያዎች ሃን ሌዘር እና ዴሎንግ ሌዘር ለረጅም ጊዜ አቀማመጥ ሲሰሩ የቆዩ ሲሆን ምርቶቻቸውም በደንበኞች እየተረጋገጡ ቢሆንም ኩባንያው ብዙ የምርት መስመሮች ያሉት ሲሆን ሌዘር ማንጠልጠያ መሳሪያዎች ከስራዎቻቸው ውስጥ አንዱ ብቻ ነው። እንደ ዌስት ሌክ መሣሪያ ያሉ እያደጉ ያሉ ኮከቦች ምርቶች መደበኛ የትእዛዝ ጭነት አግኝተዋል። ዩኒቨርሳል ኢንተለጀንስ፣ ቻይና ኤሌክትሮኒክስ ቴክኖሎጂ ግሩፕ ኮርፖሬሽን 2፣ የቻይና የሳይንስ አካዳሚ ሴሚኮንዳክተሮች ኢንስቲትዩት እና ሌሎች ኩባንያዎች የመሳሪያ ግስጋሴን ይፋ አድርገዋል።

 

3. የሌዘር ማስወገጃ ቴክኖሎጂ እድገት እና የገበያ መግቢያ ሪትም የመንዳት ምክንያቶች

የ 6 ኢንች የሲሊኮን ካርቦዳይድ ንጣፎች የዋጋ ቅነሳ የሌዘር ማስወገጃ ቴክኖሎጂ እድገትን ያነሳሳል-በአሁኑ ጊዜ የ 6 ኢንች የሲሊኮን ካርቦዳይድ ንጣፍ ዋጋ ከ 4,000 ዩዋን / ቁራጭ በታች ወድቋል ፣ ይህም የአንዳንድ አምራቾች ዋጋ እየቀረበ ነው። የሌዘር ማስወገጃ ሂደት ከፍተኛ የምርት መጠን እና ጠንካራ ትርፋማነት ያለው ሲሆን ይህም የሌዘር ማስወገጃ ቴክኖሎጂን የመግባት ፍጥነት ይጨምራል።

የ 8 ኢንች የሲሊኮን ካርቦዳይድ ንጣፎችን መቀነስ የሌዘር ማስወገጃ ቴክኖሎጂ እድገትን ያነሳሳል-የ 8 ኢንች የሲሊኮን ካርቦዳይድ ንጣፍ ውፍረት በአሁኑ ጊዜ 500um ነው ፣ እና ወደ 350um ውፍረት እያደገ ነው። ሽቦ የመቁረጥ ሂደት በ 8 ኢንች የሲሊኮን ካርቦይድ ማቀነባበሪያ ውስጥ ውጤታማ አይደለም (የታችኛው ወለል ጥሩ አይደለም), እና የ BOW እና WARP ዋጋዎች በከፍተኛ ሁኔታ ተበላሽተዋል. ሌዘር ማራገፍ ለ 350um የሲሊኮን ካርቦዳይድ ንኡስ ማቀነባበሪያ ሂደት እንደ አስፈላጊ የማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂ ተደርጎ ይወሰዳል፣ ይህም የሌዘር ማስወገጃ ቴክኖሎጂን የመግባት ፍጥነት ይጨምራል።

የገበያ ተስፋዎች፡- የሲሲ ንኡስ ንጣፍ ሌዘር ማንጠልጠያ መሳሪያዎች ከ8-ኢንች SiC መስፋፋት እና ከ6-ኢንች SiC ዋጋ መቀነስ ተጠቃሚ ይሆናሉ። አሁን ያለው የኢንዱስትሪ ወሳኝ ነጥብ እየቀረበ ነው, እና የኢንዱስትሪው እድገት በጣም የተፋጠነ ይሆናል.