በእንፋሎት ደረጃ ኤፒታክሲ (VPE) ሂደት ውስጥ የእግረኛው ሚና መሬቱን መደገፍ እና በእድገት ሂደት ውስጥ አንድ ወጥ የሆነ ሙቀትን ማረጋገጥ ነው. የተለያዩ የእግረኛ ዓይነቶች ለተለያዩ የእድገት ሁኔታዎች እና ለቁሳዊ ስርዓቶች ተስማሚ ናቸው. በ vapor phase ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ ከሚውሉት የእግረኛ ዓይነቶች መካከል የሚከተሉት ይገኙበታልኤፒታክሲያ:
በርሜል ፔዳል
በርሜል ፔዴስታሎች በተለምዶ አግድም ወይም ዘንበል ባለ የእንፋሎት ክፍል ኤፒታክሲ ሲስተም ውስጥ ያገለግላሉ። ንጣፉን ይይዛሉ እና ጋዝ በንጣፉ ላይ እንዲፈስ ያስችላሉ, ይህም ወጥ የሆነ የኤፒታክሲያ እድገትን ለማግኘት ይረዳል.
የዲስክ ቅርጽ ያለው መወጣጫ (አቀባዊ)
የዲስክ ቅርጽ ያላቸው ፔዴስሎች ለቋሚ የ vapor phase epitaxy ስርዓቶች ተስማሚ ናቸው, በውስጡም ንጣፉ በአቀባዊ ይቀመጣል. ይህ ንድፍ በንጥረቱ እና በሱሲስተር መካከል ያለውን ግንኙነት ለመቀነስ ይረዳል, በዚህም የሙቀት ብክነትን እና ሊከሰት የሚችለውን ብክለት ይቀንሳል.
አግድም ተጎጂ
አግድም ሱስሴፕተሮች በ vapor phase epitaxy ውስጥ ብዙም የተለመዱ አይደሉም፣ነገር ግን ኤፒታክሲየል እድገትን በአግድም አቅጣጫ ለመፍቀድ በአንዳንድ ልዩ የእድገት ስርዓቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል።
monolithic epitaxial ምላሽ susceptor
የ monolytic epitaxial ምላሽ susceptor ከፍተኛ-ጥራት epitaxial ንብርብሮች እድገት ተስማሚ ይበልጥ ትክክለኛ የሙቀት ቁጥጥር እና የተሻለ የሙቀት ማግለል ማቅረብ የሚችል ነጠላ substrate, የተዘጋጀ ነው.
ለምርት መረጃ እና ምክክር ወደ ድህረ ገጻችን እንኳን በደህና መጡ።
የእኛ ድር ጣቢያ https://www.vet-china.com/
የልጥፍ ሰዓት፡- ጁላይ-30-2024