የሳይክ እድገት ቁልፍ ዋና ቁሳቁስ

የሲሊኮን ካርቦዳይድ ክሪስታል ሲያድግ, በክሪስታል እና በጠርዙ መካከል ባለው የአክሲል ማእከል መካከል ያለው የእድገት በይነገጽ "አካባቢ" የተለያየ ነው, ስለዚህም በጠርዙ ላይ ያለው ክሪስታል ጭንቀት ይጨምራል, እና ክሪስታል ጠርዝ "አጠቃላይ ጉድለቶችን" ለማምረት ቀላል ነው. ወደ ግራፋይት የማቆሚያ ቀለበት "ካርቦን" ተጽእኖ, የጠርዙን ችግር እንዴት እንደሚፈታ ወይም የማዕከሉን ውጤታማ ቦታ (ከ 95% በላይ) መጨመር አስፈላጊ የቴክኒክ ርዕስ ነው.

እንደ “ማይክሮቱቡልስ” እና “ማካተት” ያሉ ማክሮ ጉድለቶች ቀስ በቀስ በኢንዱስትሪው ቁጥጥር ስር ስለሚውሉ የሲሊኮን ካርቦይድ ክሪስታሎች “ፈጣን ፣ ረጅም እና ውፍረት እንዲያድጉ እና እንዲያድጉ” የሚፈታተኑ ናቸው ፣ ጫፉ “አጠቃላይ ጉድለቶች” ባልተለመደ ሁኔታ ጎልቶ ይታያል ፣ እና ከ የሲሊኮን ካርቦይድ ክሪስታሎች ዲያሜትር እና ውፍረት መጨመር, ጠርዝ "አጠቃላይ ጉድለቶች" በዲያሜትር ካሬ እና ውፍረት ይባዛሉ.

የታንታለም ካርቦዳይድ ታሲ ሽፋን አጠቃቀም የጠርዝ ችግርን ለመፍታት እና ክሪስታል እድገትን ጥራት ለማሻሻል ነው, ይህም "በፍጥነት በማደግ, በማደግ እና በማደግ ላይ" ከሚለው ዋና ቴክኒካዊ አቅጣጫዎች አንዱ ነው. የኢንደስትሪ ቴክኖሎጂ እድገትን ለማስተዋወቅ እና የቁልፍ ቁሶችን "ማስመጣት" ጥገኝነት ለመፍታት ሄንግፑ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ቴክኖሎጂን (ሲቪዲ) መፍታት እና ዓለም አቀፍ የላቀ ደረጃ ላይ ደርሷል ።

የታንታለም ካርቦዳይድ ታሲ ሽፋን, ከተጨባጭ እይታ አንጻር ሲታይ አስቸጋሪ አይደለም, በሲንዲንግ, ሲቪዲ እና ሌሎች ዘዴዎች ለመድረስ ቀላል ናቸው. የማቃጠያ ዘዴ, የታንታለም ካርበይድ ዱቄት ወይም ቀዳሚ አጠቃቀም, ንቁ ንጥረ ነገሮችን (በአጠቃላይ ብረት) እና ተያያዥ ኤጀንት (በአጠቃላይ ረዥም ሰንሰለት ፖሊመር) በመጨመር በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ በተሸፈነው የግራፍ ንጣፍ ንጣፍ ላይ የተሸፈነ ነው. በCVD ዘዴ፣ TaCl5+H2+CH4 በግራፋይት ማትሪክስ በ900-1500℃ ላይ ተቀምጧል።

ይሁን እንጂ እንደ የታንታለም ካርቦዳይድ ክምችት ክሪስታል አቀማመጥ፣ ወጥ የሆነ የፊልም ውፍረት፣ በሽፋን እና በግራፍ ማትሪክስ መካከል የጭንቀት መለቀቅ፣ የገጽታ ስንጥቆች፣ ወዘተ የመሳሰሉት መሰረታዊ መለኪያዎች እጅግ በጣም ፈታኝ ናቸው። በተለይም በሲክ ክሪስታል የእድገት አከባቢ ውስጥ, የተረጋጋ የአገልግሎት ህይወት ዋናው መለኪያ ነው, በጣም ከባድ ነው.