በሴሚኮንዳክተር መስክ ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ አተገባበር

ለፎቶሊቶግራፊ ማሽኖች ትክክለኛ ክፍሎች ተመራጭ ቁሳቁስ

በሴሚኮንዳክተር መስክ ፣የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክቁሳቁሶች በዋናነት ለተቀናጀ የወረዳ ማምረቻ በቁልፍ መሳሪያዎች ውስጥ ያገለግላሉ ፣ ለምሳሌ ፣ እንደ ሲሊኮን ካርቦይድ የስራ ጠረጴዛ ፣ የመመሪያ ሀዲዶች ፣አንጸባራቂዎች, የሴራሚክ መምጠጥ ቻክለሊቶግራፊ ማሽኖች፣ ክንዶች፣ መፍጨት ዲስኮች፣ የቤት እቃዎች፣ ወዘተ.

የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ክፍሎችለሴሚኮንዳክተር እና ለኦፕቲካል መሳሪያዎች

● የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ መፍጨት ዲስክ. የመፍጨት ዲስክ ከብረት ወይም ከካርቦን ብረት የተሰራ ከሆነ የአገልግሎት ህይወቱ አጭር እና የሙቀት ማስፋፊያ መጠኑ ትልቅ ነው። የሲሊኮን ዋይፈር በሚሰራበት ጊዜ በተለይም በከፍተኛ ፍጥነት በሚፈጭበት ወይም በሚጸዳበት ጊዜ የዲስክ መፍጨት እና የሙቀት መበላሸት የሲሊኮን ዋፈር ጠፍጣፋነት እና ትይዩነት ለማረጋገጥ አስቸጋሪ ያደርገዋል። ከሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ የተሰራው የመፍጨት ዲስክ ከፍተኛ ጥንካሬ እና ዝቅተኛ ድካም ያለው ሲሆን የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅቱ በመሠረቱ ከሲሊኮን ዋይፈር ጋር ተመሳሳይ ነው, ስለዚህም በከፍተኛ ፍጥነት ሊፈጭ እና ሊጸዳ ይችላል.
● የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ እቃ. በተጨማሪም የሲሊኮን ቫውቸር በሚመረቱበት ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት ያለው የሙቀት ሕክምናን ማለፍ አለባቸው እና ብዙውን ጊዜ የሲሊኮን ካርቦይድ ማቀነባበሪያዎችን በመጠቀም ይጓጓዛሉ. ሙቀትን የሚከላከሉ እና የማይበላሹ ናቸው. ዳይመንድ የመሰለ ካርቦን (ዲኤልሲ) እና ሌሎች ሽፋንዎች አፈፃፀሙን ለማሻሻል፣ የዋፈር ጉዳትን ለማቃለል እና ብክለት እንዳይስፋፋ ለመከላከል በላዩ ላይ ሊተገበር ይችላል።
● የሲሊኮን ካርቦይድ የሥራ ጠረጴዛ. በሊቶግራፊ ማሽን ውስጥ ያለውን የስራ ጠረጴዛ እንደ ምሳሌ ብንወስድ የስራ ጠረጴዛው በዋናነት የተጋላጭነት እንቅስቃሴን የማጠናቀቅ ሃላፊነት አለበት፣ ይህም ከፍተኛ ፍጥነት፣ ትልቅ-ስትሮክ፣ ስድስት-ዲግሪ-የነጻነት ናኖ-ደረጃ እጅግ በጣም ትክክለኛ እንቅስቃሴን ይፈልጋል። ለምሳሌ ለሊቶግራፊ ማሽን 100nm ጥራት ያለው፣ የ 33nm ተደራቢ ትክክለኛነት እና 10nm የመስመሪያ ስፋት 10nm ለመድረስ የስራ ሰንጠረዥ አቀማመጥ ትክክለኛነት ያስፈልጋል፣የጭንብል-ሲሊኮን ዋፈር በአንድ ጊዜ የእርምጃ እና የፍተሻ ፍጥነት 150nm/s ነው። እና 120nm/s በቅደም ተከተል፣ እና ጭንብል የመቃኘት ፍጥነት ወደ 500nm/s ቅርብ ነው፣ እና የሥራው ጠረጴዛ በጣም ከፍተኛ የእንቅስቃሴ ትክክለኛነት እና መረጋጋት እንዲኖረው ያስፈልጋል.

የሥራው ጠረጴዛ እና የማይክሮ-እንቅስቃሴ ሰንጠረዥ ንድፍ (ከፊል ክፍል)

● የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ካሬ መስታወት. እንደ ሊቶግራፊ ማሽኖች ያሉ በቁልፍ የተቀናጁ የወረዳ መሳሪያዎች ውስጥ ያሉ ቁልፍ አካላት ውስብስብ ቅርጾች፣ ውስብስብ ልኬቶች እና ባዶ ቀላል ክብደት ያላቸው መዋቅሮች አሏቸው፣ ይህም የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ክፍሎችን ለማዘጋጀት አስቸጋሪ ያደርገዋል። በአሁኑ ጊዜ እንደ ኔዘርላንድስ ASML ፣ NIKON እና CANON በጃፓን ያሉ ዋና ዋና ዓለም አቀፍ የተቀናጁ የወረዳ መሣሪያዎች አምራቾች እንደ ማይክሮ ክሪስታል መስታወት እና ኮርዲሬትት ያሉ ከፍተኛ መጠን ያላቸውን ቁሳቁሶች በመጠቀም የካሬ መስተዋቶችን ፣ የሊቶግራፊ ማሽኖችን ዋና አካላትን ለማዘጋጀት እና የሲሊኮን ካርቦይድ ይጠቀማሉ። ሴራሚክስ ቀላል ቅርጾች ያላቸው ሌሎች ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን መዋቅራዊ ክፍሎች ለማዘጋጀት. ይሁን እንጂ የቻይና የግንባታ እቃዎች ምርምር ኢንስቲትዩት ባለሙያዎች ትልቅ መጠን ያለው ውስብስብ ቅርጽ ያለው, በጣም ቀላል ክብደት ያለው, ሙሉ በሙሉ የታሸገ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ካሬ መስተዋቶች እና ሌሎች መዋቅራዊ እና ተግባራዊ የኦፕቲካል ክፍሎችን ለሊቶግራፊ ማሽኖች ለማዘጋጀት የባለቤትነት ዝግጅት ቴክኖሎጂን ተጠቅመዋል.