በሴሚኮንዳክተር የተዋሃዱ ወረዳዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉት የመተጣጠፍ ዒላማዎች

የሚረጩ ኢላማዎችበዋናነት በኤሌክትሮኒክስ እና በኢንፎርሜሽን ኢንዱስትሪዎች ውስጥ እንደ የተቀናጁ ወረዳዎች ፣ የመረጃ ማከማቻ ፣ የፈሳሽ ክሪስታል ማሳያዎች ፣ ሌዘር ትውስታዎች ፣ የኤሌክትሮኒክስ መቆጣጠሪያ መሳሪያዎች ፣ ወዘተ. ቁሳቁሶች, ከፍተኛ ሙቀት ያለው ዝገት መቋቋም , ከፍተኛ-ደረጃ ጌጣጌጥ ምርቶች እና ሌሎች ኢንዱስትሪዎች.

ቀጭን የፊልም ቁሳቁሶችን ለማዘጋጀት ከዋና ዋና ዘዴዎች ውስጥ ስፕቲንግ (ስፕሬቲንግ) ነው.ከፍተኛ ፍጥነት ያለው የኢነርጂ ion ጨረሮችን ለመመስረት፣ ጠንካራውን ወለል ላይ በቦምብ ለማፈን እና በ ion እና በደረቅ ወለል አቶሞች መካከል የእንቅስቃሴ ሀይልን ለመለዋወጥ በቫኩም ውስጥ ለማፋጠን እና ለማዋሃድ በአዮን ምንጮች የሚፈጠሩ ionዎችን ይጠቀማል። በጠንካራው ገጽ ላይ ያሉት አተሞች ጠንካራውን ይተዋል እና በንጣፉ ላይ ይቀመጣሉ. በቦምብ የተሸፈነው ጠጣር ቀጭን ፊልሞችን በመርጨት ለማስቀመጥ ጥሬ እቃ ነው, እሱም የመርጨት ዒላማ ይባላል. በሴሚኮንዳክተር የተቀናጁ ዑደቶች ፣ ቀረጻ ሚዲያ ፣ ጠፍጣፋ ፓነል እና የ workpiece ወለል ቅቦች ውስጥ የተለያዩ ዓይነት sputtered ስስ ፊልም ቁሳቁሶች በሰፊው ጥቅም ላይ ውለዋል ።

ከሁሉም አፕሊኬሽን ኢንዱስትሪዎች መካከል ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ለታላሚ ስፕቲንግ ፊልሞች በጣም ጥብቅ የጥራት መስፈርቶች አሉት ከፍተኛ-ንፅህና የብረት ማነጣጠሪያ ዒላማዎች በዋናነት በዋፈር ማምረቻ እና የላቀ የማሸጊያ ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ። የቺፕ ማምረቻን እንደ ምሳሌ ብንወስድ ከሲሊኮን ዋፈር እስከ ቺፑ ድረስ 7 ዋና ዋና የምርት ሂደቶችን ማለትም ስርጭት (thermal Process)፣ ፎቶ-ሊቶግራፊ (ፎቶ-ሊቶግራፊ)፣ ኢች (ኢች)፣ Ion Implantation (IonImplant)፣ ቀጭን ፊልም እድገት (ዲኤሌክትሪክ ማስቀመጫ)፣ የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ (ሲኤምፒ)፣ ሜታላይዜሽን (ሜታላይዜሽን) ሂደቶቹ አንድ በአንድ ይዛመዳሉ። የመርጨት ዒላማው በ "ብረታ ብረት" ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል. ዒላማው በቀጭኑ የፊልም ማስቀመጫ መሳሪያዎች ከፍተኛ ኃይል ባላቸው ቅንጣቶች ይደበድባል እና ከዚያም በሲሊኮን ዋፈር ላይ ልዩ ተግባራት ያለው የብረት ንብርብር እንደ ኮንዳክቲቭ ንብርብር፣ ማገጃ ንብርብር ይፈጠራል። ቆይ የሙሉ ሴሚኮንዳክተሮች ሂደቶች የተለያዩ ስለሆኑ ስርዓቱ በትክክል መኖሩን ለማረጋገጥ አንዳንድ ጊዜ ሁኔታዎች ያስፈልጋሉ ስለዚህ ውጤቱን ለማረጋገጥ በተወሰኑ የምርት ደረጃዎች ላይ አንዳንድ ዓይነት ዱሚ ቁሳቁሶችን እንፈልጋለን።