ግራፋይት ተሸካሚ ለPECVD ሂደት

ለPECVD ሂደት ግራፋይት ተሸካሚዎች የሚከተሉት ባህሪዎች አሏቸው።

▪ ከፍተኛ ንጽህና፡- እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሆነ የርኩሰት ይዘት፣የፊልሙን መበከል እና የፊልም ጥራት ማረጋገጥ።

▪ ከፍተኛ ጥግግት፡ ከፍተኛ እፍጋት፣ ከፍተኛ የሜካኒካል ጥንካሬ፣ ከፍተኛ ሙቀት እና ከፍተኛ ግፊት የPECVD አካባቢን መቋቋም የሚችል።

▪ ጥሩ የልኬት መረጋጋት፡ በትንሽ መጠን ለውጥ በከፍተኛ ሙቀት፣ የሂደቱን መረጋጋት ማረጋገጥ።

▪ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂነት፡- የዋፈር ሙቀትን ለመከላከል ሙቀትን በብቃት ማስተላለፍ።

▪ ጠንካራ የዝገት መቋቋም፡- በተለያዩ የሚበላሹ ጋዞች እና ፕላዝማ መሸርሸርን መቋቋም ይችላል።

▪ ብጁ አገልግሎት፡ የተለያየ መጠንና ቅርጽ ያላቸው ግራፋይት ተሸካሚዎች እንደ ደንበኛ ፍላጎት ሊበጁ ይችላሉ።