ግራፋይት ቁሳዊ መስፈርቶች Semiconductor ኢንዱስትሪ መስፈርቶች በተለይ ከፍተኛ ናቸው, ግራፋይት ጥሩ ቅንጣት መጠን ከፍተኛ ትክክለኛነትን, ከፍተኛ ሙቀት የመቋቋም, ከፍተኛ ጥንካሬ, አነስተኛ ኪሳራ እና ሌሎች ጥቅሞች አሉት: sintered ግራፋይት ምርቶች ሻጋታው እንደ.በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉት የግራፍ መሳሪያዎች (ማሞቂያዎችን እና የሲኒየር ሞተሮቻቸውን ጨምሮ) ተደጋጋሚ የማሞቂያ እና የማቀዝቀዝ ሂደቶችን ለመቋቋም ስለሚፈልጉ, የግራፍ መሳሪያዎችን አገልግሎት ለማራዘም ብዙውን ጊዜ ጥቅም ላይ የሚውሉት የግራፍ እቃዎች የተረጋጋ አፈፃፀም እንዲኖራቸው ያስፈልጋል. እና ሙቀትን የሚቋቋም ተፅእኖ ተግባር.
01 ለሴሚኮንዳክተር ክሪስታል እድገት ግራፋይት መለዋወጫዎች
ሴሚኮንዳክተር ክሪስታሎችን ለማደግ የሚያገለግሉ ሁሉም ሂደቶች በከፍተኛ ሙቀት እና በቆሸሸ አካባቢ ውስጥ ይሰራሉ። የክሪስታል እድገት እቶን ሞቃት ዞን ብዙውን ጊዜ ሙቀትን የሚቋቋም እና ዝገትን የሚቋቋም ከፍተኛ-ንፅህና ግራፋይት ክፍሎች ያሉት እንደ ማሞቂያ ፣ ክሩብል ፣ የኢንሱሌሽን ሲሊንደር ፣ መመሪያ ሲሊንደር ፣ ኤሌክትሮድ ፣ ክሩብል መያዣ ፣ ኤሌክትሮድ ነት ፣ ወዘተ.
በተናጥል ወይም በስብስብ ሊቀርቡ የሚችሉ ሁሉንም የግራፋይት ክፍሎች ክሪስታል ማምረቻ መሣሪያዎችን ማምረት እንችላለን ወይም በደንበኞች ፍላጎት መሠረት የተለያየ መጠን ያላቸውን የግራፋይት ክፍሎች ብጁ ማድረግ እንችላለን ። የምርቶቹ መጠን በጣቢያው ላይ ሊለካ ይችላል, እና የተጠናቀቁ ምርቶች አመድ ይዘት ያነሰ ሊሆን ይችላልከ 5 ፒ.ኤም.
02 ግራፋይት መለዋወጫዎች ለሴሚኮንዳክተር ኤፒታክሲ
ኤፒታክሲያል ሂደት የሚያመለክተው በነጠላ ክሪስታል ንጣፍ ላይ ካለው ንጣፍ ጋር ተመሳሳይ በሆነ ጥልፍልፍ ዝግጅት የአንድ ክሪስታል ቁሳቁስ ንብርብር እድገትን ነው። በኤፒታክሲያል ሂደት ውስጥ ዋይፋው በግራፍ ዲስክ ላይ ይጫናል. የግራፋይት ዲስክ አፈፃፀም እና ጥራት በዋፈር ኤፒታክሲያል ንብርብር ጥራት ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ። በኤፒታክሲያል ምርት መስክ ብዙ እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ግራፋይት እና ከፍተኛ የንፅህና ግራፋይት መሠረት ከ SIC ሽፋን ጋር ያስፈልጋል።
የኩባንያችን የግራፋይት መሰረት ለሴሚኮንዳክተር ኤፒታክሲ ብዙ አይነት አፕሊኬሽኖች አሉት፣ በኢንዱስትሪው ውስጥ በብዛት ከሚጠቀሙት መሳሪያዎች ጋር ሊመሳሰል ይችላል፣ እና ከፍተኛ ንፅህና ፣ ወጥ ሽፋን ፣ በጣም ጥሩ የአገልግሎት ሕይወት እና ከፍተኛ የኬሚካል የመቋቋም እና የሙቀት መረጋጋት አለው።
03 ግራፋይት መለዋወጫዎች ለ ion መትከል
Ion implantation የቦሮን ፣ ፎስፈረስ እና አርሴኒክ የፕላዝማ ጨረር ወደ አንድ የተወሰነ ኃይል የማፋጠን ሂደትን ያሳያል ፣ እና ከዚያ ወደ ንጣፍ ንጣፍ ንጣፍ ውስጥ በማስገባት የወለል ንጣፍን የቁስ ባህሪዎችን መለወጥ። የ ion implantation መሳሪያ ክፍሎች በጣም ጥሩ ሙቀት መቋቋም, የሙቀት conductivity, ያነሰ ዝገት እና ion ጨረር እና ዝቅተኛ ንጽህና ይዘት ጋር ከፍተኛ-ንጽህና ቁሶች መደረግ አለበት. ከፍተኛ-ንፅህና ግራፋይት የመተግበሪያውን መስፈርቶች ያሟላል, እና ለበረራ ቱቦ, የተለያዩ ክፍተቶች, ኤሌክትሮዶች, ኤሌክትሮዶች ሽፋኖች, ቱቦዎች, የጨረር ማቀፊያዎች, ወዘተ ለ ion ተከላ መሳሪያዎች ሊያገለግል ይችላል.
ለተለያዩ የ ion implantation ማሽኖች የግራፍ መከላከያ ሽፋን ብቻ ሳይሆን ከፍተኛ-ንፅህና ግራፋይት ኤሌክትሮዶችን እና ion ምንጮችን ከተለያዩ ዝርዝሮች ከፍተኛ የዝገት መቋቋም ጋር ማቅረብ እንችላለን። የሚመለከታቸው ሞዴሎች፡- ኢቶን፣ አዝሴሊስ፣ ኳተም፣ ቫሪየን፣ ኒሲን፣ AMAT፣ LAM እና ሌሎች መሳሪያዎች። በተጨማሪም, የተጣጣሙ ሴራሚክ, ቱንግስተን, ሞሊብዲነም, የአሉሚኒየም ምርቶችን እና የተሸፈኑ ክፍሎችን ማቅረብ እንችላለን.
04 ግራፋይት መከላከያ ቁሳቁሶች እና ሌሎች
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉት የሙቀት መከላከያ ቁሶች ግራፋይት ጠንካራ ስሜት ፣ ለስላሳ ስሜት ፣ ግራፋይት ፎይል ፣ ግራፋይት ወረቀት እና ግራፋይት ገመድ ያካትታሉ።
ሁሉም የእኛ ጥሬ ዕቃዎች ግራፋይት ከውጭ የሚገቡ ናቸው, ይህም እንደ ደንበኛ ፍላጎት መጠን ሊቆረጥ ወይም በአጠቃላይ ሊሸጥ ይችላል.
የካርቦን-ካርቦን ትሪው የፀሐይ ሞኖክሪስታሊን ሲሊከን እና የ polycrystalline ሲሊከን ሴሎችን በማምረት ሂደት ውስጥ የፊልም ሽፋን እንደ ተሸካሚ ሆኖ ያገለግላል። የሥራው መርህ-የሲሊኮን ቺፕን በሲኤፍሲ ትሪ ውስጥ ያስገቡ እና የፊልም ሽፋኑን ለማስኬድ ወደ እቶን ቱቦ ውስጥ ይላኩት።
