ኤፒታክሲያል ኤፒ ግራፋይት በርሜል ሱስሴፕተር

ኤፒታክሲያል ኤፒ ግራፋይት በርሜል ሱስሴፕተር

ኤፒታክሲያል ኤፒ ግራፋይት በርሜል ሱስሴፕተርእንደ ዲፖዚሽን ወይም ኤፒታክሲ ሂደቶች ባሉ የምርት ሂደቶች ውስጥ ሴሚኮንዳክተር ንኡስ ንጣፎችን ለመያዝ እና ለማሞቅ በልዩ ሁኔታ የተነደፈ ድጋፍ እና ማሞቂያ መሳሪያ ነው።

አወቃቀሩ በተለምዶ የሲሊንደሪክ ወይም ትንሽ በርሜል ቅርጽ ያለው፣ የገጽታ ገፅታዎች በርካታ ኪሶችን ወይም ዋፍሮችን ለማስቀመጥ መድረኮችን ያካትታል፣ እንደ ማሞቂያ ዘዴው ጠንካራ ወይም ባዶ ንድፍ ሊሆን ይችላል።

የ epitaxial barrel susceptor ዋና ተግባራት-

- Substrate ድጋፍ: ደህንነቱ በተጠበቀ ሁኔታ በርካታ ሴሚኮንዳክተር wafers ይይዛል;
-የሙቀት ምንጭ: በማሞቂያ በኩል ለማደግ የሚያስፈልገውን ከፍተኛ ሙቀት ያቀርባል;
-የሙቀት ተመሳሳይነት: የንዑስ ንጣፎችን አንድ ዓይነት ማሞቂያ ያረጋግጣል;
- ማሽከርከር፡- የሙቀት መጠንን እና የጋዝ ስርጭትን ተመሳሳይነት ለማሻሻል ብዙውን ጊዜ በእድገት ወቅት ይሽከረከራል።

የኤፒአይ ግራፋይት በርሜል ሱስሴፕተር የስራ መርህ፡-
- በኤፒታክሲያል ሬአክተር ውስጥ የበርሜል ሱስሴተር በሚፈለገው የሙቀት መጠን ይሞቃል (በተለይ 1000 ℃-1200 ℃ ለሲሊኮን ኤፒታክሲ);
- የበርሜሉ ተንሳፋፊው ተመሳሳይ የሆነ የሙቀት ስርጭት እና የጋዝ ፍሰትን ለማረጋገጥ ይሽከረከራል;
- ምላሽ ጋዞች በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ይበሰብሳሉ, በ substrate ወለል ላይ epitaxial ንብርብሮችን ይፈጥራሉ.

መተግበሪያዎች፡-
-በዋነኛነት ለሲሊኮን ኤፒታክሲያል እድገት ጥቅም ላይ ይውላል
-እንዲሁም ለሌሎች ሴሚኮንዳክተር ቁሶች እንደ GaAs፣ InP፣ ወዘተ ኤፒታክሲ ተፈጻሚ ይሆናል።

የኬሚካል መረጋጋትን ለማሻሻል VET ኢነርጂ ከፍተኛ ንፅህና ግራፋይት ከሲቪዲ-ሲሲ ሽፋን ጋር ይጠቀማል፡-

የ VET ኢነርጂ Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor ጥቅሞች፡-

- ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት;
- ጥሩ የሙቀት ዩኒፎርም;
- ብዙ ንጣፎችን በአንድ ጊዜ ማካሄድ, የምርት ውጤታማነትን ማሻሻል;
- በኬሚካላዊ መልኩ የማይንቀሳቀስ፣ ከፍተኛ ንፅህና ያለው የእድገት አካባቢን በመጠበቅ።