የላቀSiC Cantilever መቅዘፊያበቬት-ቻይና የተፈጠረው ለ Wafer Processing ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጥሩ መፍትሄ ይሰጣል። ይህ የካንቴሌቨር መቅዘፊያ ከሲሲ (ሲሊኮን ካርቦይድ) ቁሳቁስ የተሠራ ነው፣ እና ከፍተኛ ጥንካሬው እና የሙቀት መከላከያው በከፍተኛ ሙቀት እና በቆሻሻ አካባቢዎች ውስጥ ጥሩ አፈፃፀም እንዲኖር ያስችለዋል። የ Cantilever Paddle ንድፍ በሚቀነባበርበት ጊዜ ቫውሱን በአስተማማኝ ሁኔታ እንዲደገፍ ያስችለዋል, ይህም የመከፋፈል እና የመጎዳትን አደጋ ይቀንሳል.
SiC Cantilever መቅዘፊያበሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ እንደ ኦክሳይድ እቶን ፣ ማከፋፈያ እቶን እና ማቃጠያ ምድጃ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውል ልዩ አካል ነው ፣ ዋናው ጥቅም ለዋፈር ጭነት እና ማራገፊያ ፣ ከፍተኛ ሙቀት ባለው ሂደቶች ውስጥ ዋፍሎችን ይደግፋል እና ያጓጉዛል።
የተለመዱ መዋቅሮችየሲሲcአንቲሊቨርpመደመር: በአንደኛው ጫፍ ተስተካክሎ በሌላኛው በኩል ደግሞ ነፃ የሆነ የካንቴለር መዋቅር በተለምዶ ጠፍጣፋ እና መቅዘፊያ መሰል ንድፍ አለው።
ቪኢቲ ኢነርጂ ለጥራት ዋስትና ከፍተኛ ንፅህና የተቀዳ የሲሊኮን ካርቦይድ ቁሶችን ይጠቀማል።
የ Recrystalized ሲሊኮን ካርቦይድ አካላዊ ባህሪያት | |
ንብረት | የተለመደ እሴት |
የሥራ ሙቀት (° ሴ) | 1600°ሴ (ከኦክሲጅን ጋር)፣ 1700°C (አካባቢን የሚቀንስ) |
የሲሲ ይዘት | > 99.96% |
ነፃ የሲ ይዘት | <0.1% |
የጅምላ እፍጋት | 2.60-2.70 ግ / ሴ.ሜ3 |
ግልጽ porosity | < 16% |
የመጨመቂያ ጥንካሬ | > 600MPa |
ቀዝቃዛ መታጠፍ ጥንካሬ | 80-90 MPa (20°ሴ) |
ትኩስ መታጠፍ ጥንካሬ | 90-100 MPa (1400°ሴ) |
የሙቀት መስፋፋት @1500°C | 4.70 10-6/° ሴ |
Thermal conductivity @1200°C | 23ወ/ም•ኬ |
የመለጠጥ ሞጁሎች | 240 ጂፒኤ |
የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም | እጅግ በጣም ጥሩ |
የVET ኢነርጂ የላቀ የሲሲ ካንቲለር ፓድል ለዋፈር ማቀነባበሪያ ጥቅሞቹ፡-
- ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት: ከ 1600 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በላይ በሆኑ አካባቢዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል;
ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት: የመጠን መረጋጋትን ይጠብቃል, የ wafer warpage አደጋን ይቀንሳል;
- ከፍተኛ ንፅህና: ዝቅተኛ የብረት ብክለት አደጋ;
- ኬሚካዊ አለመታዘዝ: ዝገት-ተከላካይ, ለተለያዩ የጋዝ አካባቢዎች ተስማሚ;
- ከፍተኛ ጥንካሬ እና ጥንካሬ: መልበስ-የሚቋቋም, ረጅም የአገልግሎት ሕይወት;
- ጥሩ የሙቀት አማቂ conductivity: ወጥ wafer ማሞቂያ ውስጥ ይረዳል.