የላቀ SiC Cantilever መቅዘፊያ ለዋፈር ማቀነባበሪያ

አጭር መግለጫ፡-

በቬት-ቻይና የጀመረው የላቀ የSIC Cantilever Paddle for Wafer Processing የዋፈር ማቀነባበሪያን ቅልጥፍና እና ትክክለኛነት ለማሻሻል ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ሲሲ ቁሳቁሶችን ይጠቀማል። የቬት-ቻይና የካንቴለር መቅዘፊያ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቋቋም እና የዝገት መቋቋም ባህሪ አለው፣ ይህም በጠንካራ የአምራች አካባቢዎች ውስጥ የተረጋጋ የዋፈር አያያዝ አፈጻጸምን በማረጋገጥ የምርት ምርትን ለማሻሻል ተመራጭ ያደርገዋል።


የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

የላቀSiC Cantilever መቅዘፊያበቬት-ቻይና የተፈጠረው ለ Wafer Processing ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጥሩ መፍትሄ ይሰጣል። ይህ የካንቴሌቨር መቅዘፊያ ከሲሲ (ሲሊኮን ካርቦይድ) ቁሳቁስ የተሠራ ነው፣ እና ከፍተኛ ጥንካሬው እና የሙቀት መከላከያው በከፍተኛ ሙቀት እና በቆሻሻ አካባቢዎች ውስጥ ጥሩ አፈፃፀም እንዲኖር ያስችለዋል። የ Cantilever Paddle ንድፍ በሚቀነባበርበት ጊዜ ቫውሱን በአስተማማኝ ሁኔታ እንዲደገፍ ያስችለዋል, ይህም የመከፋፈል እና የመጎዳትን አደጋ ይቀንሳል.

SiC Cantilever መቅዘፊያበሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ እንደ ኦክሳይድ እቶን ፣ ማከፋፈያ እቶን እና ማቃጠያ ምድጃ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውል ልዩ አካል ነው ፣ ዋናው ጥቅም ለዋፈር ጭነት እና ማራገፊያ ፣ ከፍተኛ ሙቀት ባለው ሂደቶች ውስጥ ዋፍሎችን ይደግፋል እና ያጓጉዛል።

የተለመዱ መዋቅሮችሲሲcአንቲሊቨርpመደመር: በአንደኛው ጫፍ ተስተካክሎ በሌላኛው በኩል ደግሞ ነፃ የሆነ የካንቴለር መዋቅር በተለምዶ ጠፍጣፋ እና መቅዘፊያ መሰል ንድፍ አለው።

ቪኢቲ ኢነርጂ ለጥራት ዋስትና ከፍተኛ ንፅህና የተቀዳ የሲሊኮን ካርቦይድ ቁሶችን ይጠቀማል።

የ Recrystalized ሲሊኮን ካርቦይድ አካላዊ ባህሪያት

ንብረት

የተለመደ እሴት

የሥራ ሙቀት (° ሴ)

1600°ሴ (ከኦክሲጅን ጋር)፣ 1700°C (አካባቢን የሚቀንስ)

የሲሲ ይዘት

> 99.96%

ነፃ የሲ ይዘት

<0.1%

የጅምላ እፍጋት

2.60-2.70 ግ / ሴ.ሜ3

ግልጽ porosity

< 16%

የመጨመቂያ ጥንካሬ

> 600MPa

ቀዝቃዛ መታጠፍ ጥንካሬ

80-90 MPa (20°ሴ)

ትኩስ መታጠፍ ጥንካሬ

90-100 MPa (1400°ሴ)

የሙቀት መስፋፋት @1500°C

4.70 10-6/° ሴ

Thermal conductivity @1200°C

23ወ/ም•ኬ

የመለጠጥ ሞጁሎች

240 ጂፒኤ

የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም

እጅግ በጣም ጥሩ

የVET ኢነርጂ የላቀ የሲሲ ካንቲለር ፓድል ለዋፈር ማቀነባበሪያ ጥቅሞቹ፡-

- ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት: ከ 1600 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በላይ በሆኑ አካባቢዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል;

ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት: የመጠን መረጋጋትን ይጠብቃል, የ wafer warpage አደጋን ይቀንሳል;

- ከፍተኛ ንፅህና: ዝቅተኛ የብረት ብክለት አደጋ;

- ኬሚካዊ አለመታዘዝ: ዝገት-ተከላካይ, ለተለያዩ የጋዝ አካባቢዎች ተስማሚ;

- ከፍተኛ ጥንካሬ እና ጥንካሬ: መልበስ-የሚቋቋም, ረጅም የአገልግሎት ሕይወት;

- ጥሩ የሙቀት አማቂ conductivity: ወጥ wafer ማሞቂያ ውስጥ ይረዳል.

Cantilever መቅዘፊያ10
Cantilever መቅዘፊያ16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • ቀዳሚ፡
  • ቀጣይ፡-

  • WhatsApp የመስመር ላይ ውይይት!