2022 ከፍተኛ ጥራት ያለው MOCVD Susceptor በቻይና በመስመር ላይ ይግዙ ፣ ሲክ ግራፋይት ኤፒታክሲስ ሱስሴፕተሮች ፣
ግራፋይት ድጋፍ substrates, ግራፋይት ሱስሴፕተሮች, ግራፋይት ሱስሴፕተሮች ለሲሲ ኤፒታክሲ, ለሲሊኮን ግራፋይት ሱስሴፕተሮች, ከሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ጋር ግራፋይት ተንጠልጣይ, የግራፊት መሳሪያዎች በሴሚኮንዳክተር ግራፋይት ትሪዎች ግራፋይት ዋፈር ሱስሴፕተሮች ከፍተኛ ንፅህና ግራፋይት መሳሪያዎች ኦፕቶ ኤሌክትሮኒክስ, የሳተላይት መድረኮች ለMOCVD, ለMOCVD በሲሲ የተሸፈኑ ግራፋይት ሳተላይት መድረኮች,
የእኛ በሲሲ-የተሸፈኑ ግራፋይት ጥርጣሬዎች ልዩ ጥቅሞች እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ፣ ተመሳሳይ ሽፋን እና በጣም ጥሩ የአገልግሎት ሕይወት ያካትታሉ። በተጨማሪም ከፍተኛ የኬሚካል መከላከያ እና የሙቀት መረጋጋት ባህሪያት አላቸው.
ለሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች የግራፋይት ንጣፍ የሲሲ ሽፋን የላቀ ንፅህና ያለው እና ከባቢ አየርን ኦክሳይድ የመቋቋም ችሎታ ያለው ክፍል ይፈጥራል።
CVD SiC ወይም CVI SiC በቀላል ወይም ውስብስብ የንድፍ ክፍሎች ግራፋይት ላይ ይተገበራል። ሽፋን በተለያየ ውፍረት እና በጣም ትልቅ በሆኑ ክፍሎች ላይ ሊተገበር ይችላል.
ባህሪያት፡
· እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም
· እጅግ በጣም ጥሩ የአካል ድንጋጤ መቋቋም
· እጅግ በጣም ጥሩ የኬሚካል መቋቋም
· ልዕለ ከፍተኛ ንጽሕና
· በተወሳሰበ ቅርጽ መገኘት
· በኦክሳይዲንግ ከባቢ አየር ስር ጥቅም ላይ ሊውል የሚችል
የመሠረት ግራፋይት ቁሳቁስ የተለመዱ ባህሪዎች
ግልጽ ጥግግት፡ | 1.85 ግ / ሴሜ 3 |
የኤሌክትሪክ መቋቋም; | 11 μΩm |
ተለዋዋጭ ጥንካሬ; | 49 MPa (500kgf/ሴሜ 2) |
የባህር ዳርቻ ጥንካሬ; | 58 |
አመድ፡ | <5 ፒፒኤም |
የሙቀት መቆጣጠሪያ; | 116 ዋ/ኤምኬ (100 kcal/mhr-℃) |
ካርቦን ለሁሉም የአሁኑ ኤፒታክሲ ሬአክተሮች ተንጠልጣይ እና ግራፋይት ክፍሎችን ያቀርባል። የእኛ ፖርትፎሊዮ ለተግባራዊ እና ለኤልፒኢ ክፍሎች የበርሜል ተንጠልጣይ፣ የ LPE፣ CSD እና Gemini ክፍሎች የፓንኬክ ተንጠልጣይ፣ እና ነጠላ-ዋፈር ተንጠልጣይ ለተግባር እና ለኤኤስኤም ክፍሎች።ጠንካራ ሽርክናዎችን ከዋና የኦሪጂናል ዕቃ አምራቾች፣የቁሳቁስ እውቀት እና የማምረቻ ዕውቀት፣SGL ጋር በማጣመር ያካትታል። ለመተግበሪያዎ በጣም ጥሩውን ንድፍ ያቀርባል.