Dual-Damascene is 'n prosestegnologie wat gebruik word om metaalverbindings in geïntegreerde stroombane te vervaardig. Dit is 'n verdere ontwikkeling van die Damaskus-proses. Deur gate en groewe terselfdertyd in dieselfde prosesstap te vorm en dit met metaal te vul, word die geïntegreerde vervaardiging van metaalverbindings gerealiseer.
Hoekom word dit Damaskus genoem?
Die stad Damaskus is die hoofstad van Sirië, en Damaskus-swaarde is bekend vir hul skerpte en pragtige tekstuur. 'n Soort inlegproses word vereis: eerstens word die vereiste patroon op die oppervlak van Damaskus-staal gegraveer, en die vooraf voorbereide materiaal word styf in die gegraveerde groewe ingelê. Nadat die inlegsel voltooi is, kan die oppervlak 'n bietjie ongelyk wees. Die vakman sal dit versigtig poets om die algehele gladheid te verseker. En hierdie proses is die prototipe van die dubbele Damaskus-proses van die skyfie. Eerstens word groewe of gate in die diëlektriese laag gegraveer, en dan word metaal daarin gevul. Nadat dit gevul is, sal die oortollige metaal met cmp verwyder word.
Die hoofstappe van die dubbele damascene-proses sluit in:
▪ Afsetting van diëlektriese laag:
Deponeer 'n laag diëlektriese materiaal, soos silikondioksied (SiO2), op die halfgeleierwafer.
▪ Fotolitografie om die patroon te definieer:
Gebruik fotolitografie om die patroon van vias en loopgrawe op die diëlektriese laag te definieer.
▪Ets:
Dra die patroon van vias en loopgrawe oor na die diëlektriese laag deur 'n droë of nat etsproses.
▪ Afsetting van metaal:
Deponeer metaal, soos koper (Cu) of aluminium (Al), in vias en loopgrawe om metaalverbindings te vorm.
▪ Chemiese meganiese polering:
Chemiese meganiese polering van die metaaloppervlak om oortollige metaal te verwyder en die oppervlak plat te maak.
In vergelyking met die tradisionele vervaardigingsproses van metaalverbindings, het die dubbele damascene-proses die volgende voordele:
▪Vereenvoudigde prosesstappe:deur deurgange en loopgrawe gelyktydig in dieselfde prosesstap te vorm, word die prosesstappe en vervaardigingstyd verminder.
▪Verbeterde vervaardigingsdoeltreffendheid:as gevolg van die vermindering van prosesstappe, kan die dubbele damascene proses vervaardigingsdoeltreffendheid verbeter en produksiekoste verminder.
▪Verbeter die werkverrigting van metaalverbindings:die dubbele damascene-proses kan nouer metaalverbindings bewerkstellig, en sodoende die integrasie en werkverrigting van stroombane verbeter.
▪Verminder parasitiese kapasitansie en weerstand:deur lae-k diëlektriese materiale te gebruik en die struktuur van metaalverbindings te optimaliseer, kan parasitiese kapasitansie en weerstand verminder word, wat die spoed en kragverbruikprestasie van stroombane verbeter.
Pos tyd: Nov-25-2024