Wat is sic coating?

Silikonkarbiedis 'n harde verbinding wat silikon en koolstof bevat, en word in die natuur aangetref as die uiters skaars mineraal moissaniet. Silikonkarbieddeeltjies kan saamgebind word deur sintering om baie harde keramiek te vorm, wat wyd gebruik word in toepassings wat hoë duursaamheid vereis, veral in halfgeleieroptogte.

Fisiese struktuur van SiC

SiC-bedekking is 'n digte, slytvaste silikonkarbiedbedekking met hoë korrosie- en hittebestandheid en uitstekende termiese geleidingsvermoë. Hierdie hoë-suiwer SiC-bedekking word hoofsaaklik in die halfgeleier- en elektroniese industrieë gebruik om wafeldraers, basisse en verwarmingselemente teen korrosiewe en reaktiewe omgewings te beskerm. SiC-bedekking is ook geskik vir vakuumoonde en monsterverhitting in hoë vakuum, reaktiewe en suurstofomgewings.

Hoë suiwer SiC coating oppervlak

Wat is die SiC-bedekkingsproses?

'n Dun laag silikonkarbied word op die oppervlak van die substraat deur gebruik te maakCVD (Chemical Vapor Deposition). Afsetting word gewoonlik by temperature van 1200-1300°C uitgevoer en die termiese uitsettingsgedrag van die substraatmateriaal moet versoenbaar wees met die SiC-bedekking om termiese spanning te verminder.

CVD SIC FILM KRISTAL STRUKTUUR

CVD SIC Coating FILM KRISTAL STRUKTUUR

Die fisiese eienskappe van SiC-bedekking word hoofsaaklik weerspieël in die hoë temperatuurweerstand, hardheid, korrosiebestandheid en termiese geleidingsvermoë.

Tipiese fisiese parameters is gewoonlik soos volg:

Hardheid: SiC-bedekking het tipies 'n Vickers-hardheid in die reeks van 2000-2500 HV, wat hulle uiters hoë slytasie- en impakweerstand in industriële toepassings gee.

Digtheid: SiC-bedekkings het tipies 'n digtheid van 3,1-3,2 g/cm³. Die hoë digtheid dra by tot die meganiese sterkte en duursaamheid van die laag.

Termiese geleidingsvermoë: SiC-bedekkings het 'n hoë termiese geleidingsvermoë, tipies in die reeks van 120-200 W/mK (by 20°C). Dit gee dit goeie termiese geleidingsvermoë in hoë temperatuur omgewings en maak dit besonder geskik vir hittebehandelingstoerusting in die halfgeleierbedryf.

Smeltpunt: silikonkarbied het 'n smeltpunt van ongeveer 2730°C en het uitstekende termiese stabiliteit by uiterste temperature.

Koëffisiënt van termiese uitbreiding: SiC-bedekkings het 'n lae lineêre termiese uitsettingskoëffisiënt (CTE), tipies in die reeks van 4.0-4.5 µm/mK (in die 25-1000℃). Dit beteken dat sy dimensionele stabiliteit uitstekend is oor groot temperatuurverskille.

Korrosie weerstand: SiC-bedekkings is uiters bestand teen korrosie in sterk suur-, alkali- en oksiderende omgewings, veral wanneer sterk sure (soos HF of HCl) gebruik word, oorskry hul korrosiebestandheid verreweg dié van konvensionele metaalmateriale.

SiC-bedekkings kan op die volgende materiale aangebring word:

Hoë suiwer isostatiese grafiet (lae CTE)
Wolfram
Molibdeen
Silikonkarbied
Silikon Nitride
Koolstof-koolstof-samestellings (CFC)

SiC-bedekte produkte word algemeen in die volgende gebiede gebruik:

LED chip produksie
Polisilikonproduksie
Halfgeleierkristalgroei
Silikon enSiC epitaksie
Wafel hitte behandeling en ets

Waarom VET Energy kies?

VET Energy is 'n toonaangewende vervaardiger, innoveerder en leier van SiC coating produkte in China, die belangrikste SiC coating produkte sluit inwafeldraer met SiC-bedekking, SiC bedekepitaksiale susceptor, SiC-bedekte grafietring, Halfmaandele met SiC-bedekking, SiC-bedekte koolstof-koolstof saamgestelde, SiC-bedekte waferboot, SiC-bedekte verwarmer, ens. VET Energy is daartoe verbind om die halfgeleierbedryf van die beste tegnologie en produkoplossings te voorsien, en ondersteun pasmaakdienste. Ons sien opreg daarna uit om u langtermynvennoot in China te wees.