Wanneer dit semen aanbesigheid nuus, om die omvang van die vervaardiging van halfgeleiers te verstaan, is noodsaaklik. halfgeleierwafels is 'n belangrike komponent in hierdie bedryf, maar hulle word dikwels deur besoedeling deur verskillende onsuiwerhede ondervind. Hierdie kontaminant, insluitend atoom, organiese materiaal, metaalelementioon en oksied, kan die vervaardigingsprosedure beïnvloed.
Deeltjiessoos polimeer en ets-onreinheid vertrou op intermolekulêre krag om op die wafer se oppervlak te adsorbeer, beïnvloed toestelfotolitografie.organiese onsuiwerhedesoos homovelolie en masjienolie vorm fliek op die wafer, belemmer skoonmaak.metaalelement ionesoos yster en aluminium word dikwels verwyder deur die vorming van metaalelementioonkompleks.Oksiedebelemmer vervaardigingsprosedure en word tipies verwyder deur in verdunde fluoresuur te week.
chemiese metodesword algemeen gebruik om halfgeleierwafel skoon te maak en te ruk. vog chemiese skoonmaak tegniek soos oplossing onderdompeling en meganiese skrop is oorheersend. supersoniese en megasoniese skoonmaakmetodes bied doeltreffende maniere om onreinheid te verwyder. droë chemiese skoonmaak, insluitend plasma- en gasfase-tegnologie, speel ook 'n funksie in halfgeleierwafel skoonmaakprosesse.
Postyd: 29 Okt-2024