SiC-bedekking kan voorberei word deur chemiese dampneerslag (CVD), voorlopertransformasie, plasmabespuiting, ens. Die bedekking wat deur CHEMIESE dampneerlegging voorberei word, is eenvormig en kompak, en het goeie ontwerpbaarheid. Gebruik metieltrichlosilaan. (CHzSiCl3, MTS) as silikonbron, SiC-bedekking voorberei ...
Lees meer