Tydens die dampfase-epitaksie (VPE) proses is die rol van die voetstuk om die substraat te ondersteun en eenvormige verhitting tydens die groeiproses te verseker. Verskillende tipes voetstukke is geskik vir verskillende groeitoestande en materiaalstelsels. Die volgende is 'n paar van die algemeen gebruikte voetstuktipes in dampfaseepitaksie:
Vat voetstuk
Vatvoetstukke word algemeen gebruik in horisontale of gekantelde dampfase-epitaksisteme. Hulle kan die substraat hou en die gas toelaat om oor die substraat te vloei, wat help om eenvormige epitaksiale groei te verkry.
Skyfvormige voetstuk (vertikale voetstuk)
Skyfvormige voetstukke is geskik vir vertikale dampfase-epitaksisteme, waarin die substraat vertikaal geplaas word. Hierdie ontwerp help om die kontakarea tussen die substraat en die susceptor te verminder en sodoende hitteverlies en potensiële kontaminasie te verminder.
Horisontale susceptor
Horisontale susceptors is minder algemeen in dampfase epitaksie, maar kan in sekere spesifieke groeistelsels gebruik word om epitaksiale groei in 'n horisontale rigting moontlik te maak.
Monolitiese epitaksiale reaksie susceptor
Die monolitiese epitaksiale reaksie susceptor is ontwerp vir 'n enkele substraat, wat meer akkurate temperatuurbeheer en beter termiese isolasie kan bied, geskik vir die groei van hoë kwaliteit epitaksiale lae.
Welkom by ons webwerf vir produkinligting en konsultasie.
Ons webwerf: https://www.vet-china.com/
Pos tyd: Jul-30-2024